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等離子體微束流發(fā)生器的制作方法

文檔序號:1139676閱讀:202來源:國知局
專利名稱:等離子體微束流發(fā)生器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域
等離子體微束流發(fā)生器
技術(shù)領(lǐng)域
本實用新型涉及一種新型的等離子體微束流發(fā)生器,尤其是涉及
一個用高頻或射頻電源激勵的,在一個或多個絕緣介質(zhì)管的內(nèi)外分別
設(shè)有金屬電極,惰性氣體在流經(jīng)絕緣介質(zhì)管內(nèi)外電極之間時被擊穿電
離形成等離子體微束流向殼體外噴出的設(shè)備。-背景技術(shù)
常壓等離子體技術(shù)是在近年才迅速發(fā)展起來的、并已得到廣泛應(yīng)用的新技術(shù),它可應(yīng)用于(1)表面清洗(例如清洗表面生化污染、表面有機污染)。(2)材料表面的改性。(3)表面消毒和滅菌等等。
在傳統(tǒng)上,常壓等離子體由于所需要的電源體積較大,價格較貴,所產(chǎn)生的等離子體溫度較高等,不適合對敏感物體表面進(jìn)行滅菌,尤其不適合對人的皮膚表面進(jìn)行消毒滅菌,從而限制了皮膚表面消毒和治療皮膚病中的應(yīng)用。

實用新型內(nèi)容
本實用新型的目的在于提供一種新型的等離子體微束流發(fā)生器,可用于對各種敏感表面,包括人的皮膚表面的滅菌和消毒。
為了達(dá)到上述目的,本實用新型提供一種新型等離子體微束流發(fā)生器,包括一個電源, 一個供氣源,等離子體微束流發(fā)生器主體,其特征在于等離子體微束流發(fā)生器主體包括一個或多個絕緣介質(zhì)管,在該絕緣介質(zhì)管內(nèi)外分別設(shè)有電極,該電極與一個射頻或高頻電源連接,該等離子體微束流外設(shè)有一個殼體,該殼體的一側(cè)設(shè)有一個或多個噴口,另外側(cè)設(shè)有進(jìn)氣連接口、氣體流量控制閥開關(guān),供氣源中的氣體在流經(jīng)絕緣介質(zhì)管內(nèi)外電極之間的間隙時,被擊穿電離形成等離子體向殼體外噴出。所述的一種等離子體微束流發(fā)生器,其特征在于該等離子體微束流發(fā)生器主體被個殼體包覆,在該殼體一側(cè)設(shè)有一個或多個噴口,另外側(cè)設(shè)有進(jìn)氣連接口、氣體流量控制閥開關(guān)和電源控制開關(guān)。
所述的一種等離于體微束流發(fā)生器,其特征在于電源工作頻率可以是在射頻范圍或是在高頻范圍,電源的功率取值范圍是在ioow以內(nèi),電源可以被安裝在殼體內(nèi),也可以置于殼體外通過導(dǎo)線電纜與等離子體微束發(fā)生器電極連接。
所述的一種等離子體微束流發(fā)生器,其特征在于當(dāng)?shù)入x子體微束流發(fā)生器采用高頻電源供電時,等離子體微束流主體是采用一個或多個絕緣介質(zhì)管,包覆在該絕緣介質(zhì)管外部設(shè)有一定間隔并分別與高頻電源連接的兩個金屬圓環(huán)外電極,以及一個被絕緣介質(zhì)管包覆的金屬管或金屬桿懸浮電極。
所述的一種等離子體微束流發(fā)生器,其特征在于當(dāng)?shù)入x子體微束流發(fā)生器采用射頻電源供電時,等離子體微束流主體是采用一個或多個絕緣介質(zhì)管,包覆在該絕緣介質(zhì)管外部的一個金屬圓環(huán)外電極,以及被絕緣介質(zhì)管包覆的金屬管或金屬桿內(nèi)電極,內(nèi)外電極分別與射頻電源的輸出端連接。
所述的一種等離子體微束流發(fā)生器,其特征在于被絕緣介質(zhì)管包覆的金屬內(nèi)電極和絕緣介質(zhì)管是采用絕緣材料連接件固定在一起,并使金屬內(nèi)電極處于介質(zhì)管的中心位置,當(dāng)金屬內(nèi)電極為直桿時,其外徑與介質(zhì)管的內(nèi)徑之間設(shè)有一定的間隙,工作氣體是從間隙穿過;當(dāng)金屬內(nèi)電極采用金屬管時,其金屬管外徑與絕緣介質(zhì)管的內(nèi)徑緊密配合,工作氣體是從金屬管中穿過,并通過介質(zhì)管的端部。
所述的等離子體微束流發(fā)生器,其特征在于供氣源的氣體通過氣體導(dǎo)管、氣體流量控制開關(guān)與等離子體微束流發(fā)生器主體貫通,在氣體流經(jīng)絕緣介質(zhì)管內(nèi)外電極之間的時,被擊穿電離形成等離子體并 向殼體外噴出。
所述的等離子體微束流發(fā)生器,其特征在于供氣源供給的氣體 是氬氣或是氦氣。
本實用等離子體微束流發(fā)生器,其優(yōu)點是1、等離子體束流溫 度低。2、該設(shè)備放電功率小。3、放電是采用氬氣或氦氣。4、該等
離子體束流不會燒傷皮膚。
本實用新型是在大氣壓下產(chǎn)生低溫冷等離子體微束流裝置,主要 用途是利用等離子體微束流中的電子、光子、活性粒子和自由基對 皮膚的表面進(jìn)行表面滅菌和消毒,并且不會帶來二次污染。
以下結(jié)合附圖對本實用新型進(jìn)行進(jìn)一步的描述,其中


圖1為本實用新型實施例等離子體微束流發(fā)生器結(jié)構(gòu)剖視示意圖。
圖2. 1和圖2. 2為本實用新型實施例等離子體微束流發(fā)生器噴 口端正面結(jié)構(gòu)示意圖。
圖3為本實用新型實施例1等離子體微束流發(fā)生器主體剖視結(jié)構(gòu) 示意圖。
圖4為本實用新型實施例2等離子體微束流發(fā)生器主體剖視結(jié)構(gòu) 示意圖。
圖5為本實用新型實施例3等離子體微束流發(fā)生器主體剖視結(jié)構(gòu) 示意圖。圖6為本實用新型實施例4等離子體微束流發(fā)生器主體剖視結(jié)構(gòu) 示意圖。
具體實施方式
下面參照附圖l、圖2、圖3、圖4、圖5和圖6,結(jié)合具體的實 施例對本實用新型進(jìn)行詳細(xì)的描述。
首先,參閱
圖1為本實用新型實施例的惻面結(jié)構(gòu)剖視示意圖, 等離子體微束流發(fā)生'器設(shè)有一個長方體的殼體101,在殼體101 —端 設(shè)有一個或多個圓形噴口 102,其形狀如圖2.1和圖2.2所示,每個 噴口的直徑范圍為l一8毫米。在該長方體殼體101上也可以設(shè)有一 個縮口過渡段111。在殼體101的另一端設(shè)有一個電源開關(guān)203,進(jìn) 氣開關(guān)109和電源線連接插頭202。
參閱
圖1本實用新型實施例,在該殼體101內(nèi)還設(shè)有固定件106 和108,固定件106是把絕緣介質(zhì)管104與殼體101固定;固定件 108是把內(nèi)電極105與絕緣介質(zhì)管104固定在一起,并使內(nèi)電極105 置于絕緣介質(zhì)管的中心位置,氣體導(dǎo)管107中的氣體可以穿過連接 件108并和介質(zhì)管104貫通。
圖3為本實用新型實施例1等離子微束流發(fā)生器主體剖視結(jié)構(gòu) 示意圖。其特征是當(dāng)電源采用射頻電源時,等離子微束流束流發(fā)生 器主體中被絕緣介質(zhì)管104包覆的內(nèi)電極為金屬直桿105,該金屬直 桿105被連接件108固定一端,其桿的大部分是置于絕緣介質(zhì)管104 的中心位置,金屬桿'105的另一端是處于外電極103的圓環(huán)以內(nèi), 在絕緣介質(zhì)管104和金屬內(nèi)電極桿105之間設(shè)有一定的圓環(huán)間隙200,氣體是通過連接件108進(jìn)入到介質(zhì)管!04和內(nèi)電極105之間的 間隙中,并在間隙200處被電離形成等離子體環(huán)向外噴出。
圖4為本實用新型實施例2微等離子束流主體剖視結(jié)構(gòu)示意圖。 其特征是當(dāng)電源采用射頻電源時,在微等離子束流發(fā)生器主體中, 被絕緣介質(zhì)管104包覆的金屬內(nèi)電極105為金屬管,該金屬管電極 105 —端被連接件108固定,其大部被絕緣介質(zhì)管104緊密包覆,其 另一端的端部是靠近外環(huán)電極103,氣體通過金屬管電極105,并在 通過與外電極103靠近的管電極105端部時被電離形成等離子體柱 向外噴出。
圖5為本實用新型實施例3等離子微束流發(fā)生器主體剖視結(jié)構(gòu) 示意圖。其特征是當(dāng)電源采用高頻電源時,等離子微束流束流發(fā)生 器主體中絕緣介質(zhì)管104外是包覆兩個金屬環(huán)電極103和300,高頻 電源201是分別與該兩個金屬環(huán)電極103和300連接,介質(zhì)管內(nèi)包 覆的電極105是一個懸浮電極不與電源連接。該金屬直桿105被連 接件108固定一端,其桿的大部分是置于絕緣介質(zhì)管104的中心位 置,金屬桿105的另一端是處于外電極103的圓環(huán)以內(nèi),在絕緣介 質(zhì)管104和金屬內(nèi)電極桿105之間設(shè)有一定的圓環(huán)間隙200,氣體是 通過連接件108進(jìn)入到介質(zhì)管104和內(nèi)電極105之間的間隙中,并 在間隙200處被電離形成等離子體環(huán)向外噴出。
圖6為本實用新型實施例4等離子微束流發(fā)生器主體剖視結(jié)構(gòu) 示意圖。其特征是當(dāng)電源采用高頻電源時,等離子微束流發(fā)生器主 體中絕緣介質(zhì)管104外是包覆兩個金屬環(huán)電極103和300,高頻電源201是分別與該兩個金屬環(huán)電極103和300連接,介質(zhì)管內(nèi)包覆的金 屬管電極105是一個懸浮電極,不與電源連接。該金屬管電極105 一端被連接件108固定,其大部被絕緣介質(zhì)管104緊密包覆,其另 一端的端部是靠近外電極103,氣體通過連接件108與金屬管電極 105貫通,并在通過與外電極103的靠近的管電極105端部時被電離 形成等離子體柱向外噴出。
本實用新型實施例中,電源201可以置于殼體的內(nèi)部,也可以 置于殼體的外部,并通過電纜導(dǎo)線與電極連接。外電極103是安裝 在靠近絕緣介質(zhì)管104的噴口端處,該介質(zhì)管104的噴口端是與殼 體的噴口 102平齊。'該金屬環(huán)電極103和300可以用金屬銅、鋁以 及其它金屬材料制成,該金屬環(huán)電極103和300緊密包覆在介質(zhì)管 104上。
絕緣介質(zhì)直管104是采用石英管或陶瓷管,殼體101是用金屬材 料或采用塑料材料制成,當(dāng)采用塑料材料時其內(nèi)部設(shè)有與地電極連接 的金屬屏蔽層;氣體導(dǎo)管是用塑料或橡膠氣管。
供氣源116所供的氣體是惰性氣體氬氣或氦氣,該氣體經(jīng)過減壓 閥110、氣體閥開關(guān)i09、氣體導(dǎo)管107、連接件108,介質(zhì)管104, 再經(jīng)過殼體噴口 102向外噴出,等離子體放電是在常壓下進(jìn)行的。
上面參考附圖結(jié)合具體的實施例對本實用新型進(jìn)行了描述,然 而,需要說明的是,對于本領(lǐng)域的技術(shù)人員而言,在不脫離本實用 新型的精神和范圍的情況下,可以對上述實施例作出許多改變和修 改,這些改變和修改都落在本實用新型的權(quán)利要求限定的范圍內(nèi)。
權(quán)利要求1、一種新型等離子體微束流發(fā)生器,包括一個電源,一個供氣源,等離子體微束流發(fā)生器主體,其特征在于等離子體微束流發(fā)生器主體包括一個或多個絕緣介質(zhì)管,在該絕緣介質(zhì)管內(nèi)外分別設(shè)有電極,該電極與一個射頻或一個高頻電源連接,該等離子體微束流外設(shè)有一個殼體,該殼體的一側(cè)設(shè)有一個或多個噴口,另外側(cè)設(shè)有進(jìn)氣連接口、氣體流量控制閥開關(guān),供氣源中的氣體在流經(jīng)絕緣介質(zhì)管內(nèi)外電極之間的間隙時,被擊穿電離形成等離子體向殼體外噴出。
2、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種等離子體微束流發(fā)生器,其特征在于該等 離子體微束流發(fā)生器主體被一個殼體包覆,在該殼體一側(cè)設(shè)有一個或多個噴口 , 另外側(cè)設(shè)有進(jìn)氣連接口 、氣體流量控制閥開關(guān)和電源控制開關(guān)。
3、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種等離子體微束流發(fā)生器,其特征在于電源 工作頻率可以是在射頻或是在高頻范圍,電源的功率取值是在100W以內(nèi),電源 可以被安裝在殼體內(nèi),也可以置于殼體外,電源是通過電纜導(dǎo)線與等離子體微 束發(fā)生器電極連接。
4、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種等離子體微束流發(fā)生器,其特征在于當(dāng)?shù)?離子體微束流發(fā)生器采用高頻電源供電時,該等離子體微束流主體是采用一個 或多個絕緣介質(zhì)管,包覆在該絕緣介質(zhì)管外部設(shè)有一定間隔并分別與高頻電源 連接的兩個金屬圓環(huán)外電極,以及一個被絕緣介質(zhì)管包覆的金屬管或金屬桿懸 浮電極。
5、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種等離子體微束流發(fā)生器,其特征在于當(dāng)?shù)?離子體微束流發(fā)生器采用射頻電源供電時,該等離子體微束流主體是采用一個 或多個絕緣介質(zhì)管,包覆在該絕緣介質(zhì)管外部的一個金屬圓環(huán)外電極,以及被 絕緣介質(zhì)管包覆的金屬管或金屬桿內(nèi)電極,內(nèi)外電極分別與射頻電源的輸出端 連接。
6、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種等離子體微束流發(fā)生器,其特征在于被絕緣介質(zhì)管包覆的金屬內(nèi)電極和絕緣介質(zhì)管是采用絕緣材料連接件固定在一起, 并使金屬內(nèi)電極處于介質(zhì)管的中心位置。
7、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種等離子體微束流發(fā)生器,其特征在于當(dāng)備 絕緣介質(zhì)管包覆的金屬電極為直桿時,其外徑與介質(zhì)管的內(nèi)徑之間設(shè)有一定的 間隙,工作氣體是從間隙穿過,并通過介質(zhì)管的端部。
8、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種等離子體微束流發(fā)生器,其特征在于當(dāng)備 絕緣介質(zhì)管包覆的金屬電極為金屬管時,其金屬管外徑與絕緣介質(zhì)管的內(nèi)徑緊 密配合,工作氣體是從金屬管中穿過,并通過介質(zhì)管的端部。
9、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種等離子體微束流發(fā)生器,其特征在于供氣 源所采用的氣體是惰性氣體氬氣或是氦氣,供氣源的氣體是通過氣體導(dǎo)管、氣 體流量控制開關(guān)和結(jié)緣介質(zhì)管,并在流經(jīng)絕緣介質(zhì)管內(nèi)外電極之間的間隙時, 被擊穿電離形成等離子體向殼體外噴出。
專利摘要本實用新型公開一種新型等離子體微束流發(fā)生器,包括一個電源,一個供氣源,等離子體微束流發(fā)生器主體,其特征在于等離子體微束流發(fā)生器主體包括一個或多個絕緣介質(zhì)管,在該絕緣介質(zhì)管內(nèi)外分別設(shè)有電極,該電極與一個射頻或一個高頻電源連接,該等離子體微束流外設(shè)有一個殼體,該殼體的一側(cè)設(shè)有一個或多個噴口,另外側(cè)設(shè)有進(jìn)氣連接口、氣體流量控制閥開關(guān)和電源開關(guān),供氣源中的氣體在流經(jīng)絕緣介質(zhì)管內(nèi)外電極之間的間隙時,被擊穿電離形成等離子體向殼體外噴出,該噴出的等離子體束流可以用于對各種表面的清洗、消毒和滅菌的目的。
文檔編號A61L2/14GK201399098SQ20082019909
公開日2010年2月10日 申請日期2008年12月30日 優(yōu)先權(quán)日2008年12月30日
發(fā)明者王龍哲 申請人:王龍哲
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