專利名稱：一種石英坩堝浸酸清洗及噴淋清洗一體自動化設備的制作方法
技術領域：
本實用新型涉及一種石英坩堝清洗的自動化設備，尤其是一種石英坩堝浸酸清洗及噴淋清洗一體自動化設備。
背景技術：
目前石英坩堝生產工藝流程中，坩堝酸洗過程多為人工搬運，酸池浸泡方式；沖洗過程則是靠小型沖淋設備進行沖洗。主要缺點有以下幾點1、坩堝人工搬運，安全系數不高，工作效率不高。2、酸池浸泡清洗對人造成危險度較大。3、酸洗過程，酸濃度不好監測，易造成浪費。

實用新型內容發明目的針對現有技術的不足，申請人在施工中經過長期的實踐摸索，設計了一種石英坩堝浸酸清洗及噴淋清洗一體自動化設備。技術方案為了實現上述發明目的，本實用新型所采用的技術方案為一種石英坩堝浸酸清洗及噴淋清洗一體自動化設備，本設備通過PLC自動完成整個設備控制，同時通過人機畫面達到人對自動控制過程的監控。整體結構包括坩堝裝載單元、純水鼓泡槽、氫氟酸浸泡槽、超聲波清洗槽、噴水間、PLC控制系統、變頻控制系統、光電傳感器、傳送平臺、前隔離升降門、后隔離升降門和純水鼓泡槽隔離升降門及排風除霧系統組成，整個清洗工藝流程為自動控制，操作者通過監控畫面完成對過程的監控，所述傳送平臺、氫氟酸浸泡槽和噴水間均為耐酸材料制做的封閉隧道空間。所述PLC控制系統采用西門子S7-300系列PLC控制，人機畫面通過以太網通訊，完成人機監控和過程自動。所述坩堝在整個流程中位置的檢測通過光電傳感完成，并傳送給PLC控制系統。整個控制過程中，各個傳感器、電機、隔離門以及噴酸壓力、濃度等狀態和參數，均由人機畫面監控和顯示。所述傳動平臺由耐酸傳動輥道組成，進入純水鼓泡槽、氫氟酸浸泡槽、超聲波清洗槽過程中采用升降平臺將裝入夾具的石英坩堝沉入水槽中。所述排風除霧系統由風機通過隧道上部的管道吸除流程中產生的霧氣。所述純水鼓泡槽、氫氟酸浸泡槽、超聲波清洗槽、噴水間由耐酸PVC材料制做，噴水間采用上下噴淋方式,坩堝在清洗室中來回往復移動清洗。有益效果本實用新型與現有技術相比，其有益效果是1、全部傳動過程由變頻器控制變頻電機傳動運輸，傳送過程平穩，避免人為搬運造成坩堝損壞；2、浸酸、噴水過程在密封空間中完成，同時有霧氣回收系統，減少對人和環境的危害；3、整個控制過程中的信號可以通過PLC采集到監控畫面，方便操作控制和設備維護；4、酸濃度采用傳感器檢測，通過HMI畫面顯示，可有效監控容器中酸的濃度。

[0010]圖1為本實用新型的結構示意圖。
具體實施方式
以下結合附圖，通過一個最佳實施例，對本實用新型技術方案進行詳細說明，但是本實用新型的保護范圍不局限于所述實施例。為了敘述的方便和語言的簡練，省去清水噴淋間的描述，噴水間采用上下噴淋方式，坩堝在清洗室中來回往復移動清洗。如圖1所示，一種石英坩堝浸酸清洗及噴淋清洗一體自動化設備，包括坩堝裝載單元1、純水鼓泡槽9、氫氟酸浸泡槽8、超聲波清洗槽10、噴水間、PLC控制系統、變頻控制系統、光電傳感器、傳送平臺6、前隔離升降門2、后隔離升降門4和純水鼓泡槽隔離升降門5及排風除霧系統7，清洗工藝流程為自動控制，操作者通過監控畫面完成對過程的監控，所述傳送平臺6、氫氟酸浸泡槽8和噴水間均為耐酸材料制做的封閉隧道空間。PLC控制系統采用西門子S7-300系列PLC控制，人機畫面通過以太網通訊，完成人機監控和過程自動。所述坩堝在整個流程中位置的檢測通過光電傳感完成，并傳送給PLC。傳送平臺6由耐酸傳動輥道組成，進入純水鼓泡槽9、氫氟酸浸泡槽8、超聲波清洗槽10過程中采用升降平臺3將裝入夾具的石英坩堝沉入水槽中。排風除霧系統7由風機通過隧道上部的管道吸除流程中產生的霧氣。所述純水鼓泡槽9、氫氟酸浸泡槽8、超聲波清洗槽10、噴水間由耐酸PVC材料制做。實際工作時，將石英坩堝裝入坩堝裝載單元I后進入裝載緩沖區，等前隔離升降門2打開后，坩堝通過傳送平臺6送達指定位置，升降平臺3啟動將坩堝沉入氫氟酸浸泡槽8中浸泡，結束浸泡時間后，通過傳送平臺6到達純水鼓泡槽9，平臺啟動將坩堝沉入純水鼓泡槽9中浸泡預訂時間后，平臺提升回到原始位置，傳送平臺6轉動，將坩堝輸送到超聲波清洗槽10上執行上述相同步驟。最后坩堝被輸送至中間轉換平臺，操作員將坩堝從夾具中取出反扣平放在輸送平臺上，坩堝開始傳送進入噴淋清洗室，平放后的坩堝依次經過三道上下噴淋沖洗后被操作員取出，這樣坩堝就清洗完畢。
權利要求1.一種石英坩堝浸酸清洗及噴淋清洗一體自動化設備，包括坩堝裝載單元(I)、純水鼓泡槽(9)、氫氟酸浸泡槽(8)、超聲波清洗槽(10)、噴水間、PLC控制系統、變頻控制系統、光電傳感器、傳送平臺(6)、前隔離升降門(2)、后隔離升降門(4)和純水鼓泡槽隔離升降門(5)及排風除霧系統(7)，其特征在于清洗工藝流程為自動控制，操作者通過監控畫面完成對過程的監控，所述傳送平臺(6)、氫氟酸浸泡槽(8)和噴水間均為耐酸材料制做的封閉隧道空間。
2.根據權利要求1所述的一種石英坩堝浸酸清洗及噴淋清洗一體自動化設備，其特征在于所述PLC控制系統采用西門子S7-300系列PLC控制，人機畫面通過以太網通訊，完成人機監控和過程自動。
3.根據權利要求1所述的一種石英坩堝浸酸清洗及噴淋清洗一體自動化設備，其特征在于所述坩堝在整個流程中位置的檢測通過光電傳感完成，并傳送給PLC。
4.根據權利要求1所述的一種石英坩堝浸酸清洗及噴淋清洗一體自動化設備，其特征在于所述傳送平臺(6)由耐酸傳動輥道組成，進入純水鼓泡槽(9)、氫氟酸浸泡槽(8)、超聲波清洗槽(10)過程中采用升降平臺(3)將裝入夾具的石英坩堝沉入水槽中。
5.根據權利要求1所述的一種石英坩堝浸酸清洗及噴淋清洗一體自動化設備，其特征在于所述排風除霧系統(7)由風機通過隧道上部的管道吸除流程中產生的霧氣。
6.根據權利要求1所述的一種石英坩堝浸酸清洗及噴淋清洗一體自動化設備，其特征在于所述純水鼓泡槽(9 )、氫氟酸浸泡槽(8 )、超聲波清洗槽(10 )、噴水間由耐酸PVC材料制做，噴水間采用上下噴淋方式，坩堝在清洗室中來回往復移動清洗。
專利摘要本實用新型公開了一種石英坩堝浸酸清洗及噴淋清洗一體自動化設備，由浸酸間、過渡艙、鼓泡浸水槽間、超聲波浸泡清洗間、耐酸隔離門、PLC控制系統、變頻控制系統、光電傳感器、耐酸傳動輥道、除霧系統等組成。本設備在PLC控制下，通過光電傳感器檢測定位，石英坩堝在變頻電機帶動下，在傳動輥道上分別經過浸酸間通過絲杠升降臺將石英坩堝浸入酸槽，鼓泡槽，超聲波清洗槽、過渡艙、噴水間，完成對石英坩堝表面渣滓的清洗，除霧系統可以及時吸除此過程中產生的酸霧和水霧，在提高工作效率的同時也避免了對人身的傷害。
文檔編號B08B9/20GK202824030SQ20122015287
公開日2013年3月27日 申請日期2012年4月11日 優先權日2012年4月11日
發明者馮濤, 邵天聰 申請人:江蘇華爾光電材料股份有限公司