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一種硅片清洗機(jī)及其洗槽的制作方法

文檔序號(hào):1338228閱讀:357來(lái)源:國(guó)知局
專利名稱:一種硅片清洗機(jī)及其洗槽的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域
本實(shí)用新型涉及太陽(yáng)能電池生產(chǎn)技術(shù)領(lǐng)域,特別涉及一種硅片清洗機(jī)及其洗槽。
背景技術(shù)
硅片生產(chǎn)環(huán)節(jié),通常分為破錠(破方)、滾圓(倒角)拋光、粘接、線鋸、清洗五個(gè)工序。其中,清洗工序的目的是對(duì)線鋸?fù)瓿傻陌氤善饭杵M(jìn)行清洗,該工序具體包括預(yù)清洗和深清洗。當(dāng)預(yù)清洗脫膠完成后,取出從托盤上脫離的硅片,并將硅片轉(zhuǎn)送至下一階段進(jìn)行深清洗,在這個(gè)過(guò)程中,要經(jīng)過(guò)一個(gè)人工參與的過(guò)程,即從預(yù)清洗機(jī)中的轉(zhuǎn)運(yùn)車中取出硅片放入洗槽中進(jìn)行插片。在取出硅片的過(guò)程中并不是一片一片的取出,而是一摞一摞的取出,然后放入洗槽。如圖1所示,現(xiàn)有技術(shù)的洗槽為不銹鋼材質(zhì)的長(zhǎng)方體的箱體01,在箱體01上方設(shè)有一個(gè)進(jìn)水管02,箱體01的一個(gè)側(cè)邊靠下有一個(gè)出水管03。工作人員在操作過(guò)程中,將預(yù)清洗機(jī)中的硅片通過(guò)小車運(yùn)輸?shù)角逑礄C(jī)水槽處,再將一摞一摞的硅片取出放入洗槽的箱體01中。放置后硅片的一組相對(duì)邊中的一邊接觸洗槽的箱體01的槽底,另一邊接觸箱體01的側(cè)面,硅片與側(cè)面的傾斜角度大約為15° -20°,以便于操作人員對(duì)硅片的取放過(guò)程。但是,從上述工作過(guò)程可知,傾斜放置后的硅片與洗槽通過(guò)側(cè)邊分別與箱體01的槽底和箱體01的側(cè)邊接觸,即接觸方式為線接觸,由于多個(gè)硅片疊放在一起,其之間具有很大的壓力,因此,很容易造成碎片和隱裂的現(xiàn)象。因此,如何提供一種硅片清洗機(jī)的洗槽,增大硅片與洗槽的接觸面積,以提高產(chǎn)品的合格率,是本領(lǐng)域技術(shù)人員目前需要解決的技術(shù)問(wèn)題。

實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型的目的是提供一種硅片清洗機(jī)的洗槽,增大硅片與洗槽的接觸面積,以提聞廣品的合格率。為解決上述技術(shù)問(wèn)題,本實(shí)用新型提供如下技術(shù)方案優(yōu)選地,上述的洗槽中,還包括設(shè)置在所述洗槽箱體內(nèi)的緩沖裝置,所述緩沖裝置相對(duì)于所述洗槽箱體的側(cè)壁傾斜預(yù)設(shè)角度布置。優(yōu)選地,上述的洗槽中,所述緩沖裝置為支撐板。優(yōu)選地,上述的洗槽中,所述支撐板的寬度小于硅片的寬度和/或其長(zhǎng)度小于硅片的長(zhǎng)度。優(yōu)選地,上述的洗槽中,所述支撐板包括兩個(gè)重疊布置的支撐分板,且兩個(gè)所述支撐分板之間設(shè)置有彈性件。優(yōu)選地,上述的洗槽中,所述彈性件為彈簧。優(yōu)選地,上述的洗槽中,所述支撐板的用于支撐硅片的表面還設(shè)置有彈性層。優(yōu)選地,上述的洗槽中,所述彈性層為硅膠層。優(yōu)選地,上述的洗槽中,所述預(yù)設(shè)角度為15° -20°。[0016]優(yōu)選地,上述的洗槽中,所述緩沖裝置的一組對(duì)邊中的一者與所述洗槽箱體的槽底相連,另一者與所述洗槽箱體的側(cè)邊相連。一種硅片清洗機(jī),包括洗槽,其中,所述洗槽為上述任一項(xiàng)所述的洗槽。從上述的技術(shù)方案可以看出,本實(shí)用新型提供了一種硅片清洗機(jī)的洗槽,包括洗槽箱體,還包括設(shè)置在洗槽箱體內(nèi)的緩沖裝置,且緩沖裝置相對(duì)于洗槽箱體的側(cè)壁傾斜預(yù)設(shè)角度布置。通過(guò)在洗槽箱體內(nèi)放置緩沖裝置,并將硅片放置在緩沖裝置上,使硅片的一個(gè)表面與緩沖裝置接觸,一個(gè)側(cè)邊與洗槽箱體的底面接觸,因此,增大了硅片與洗槽的接觸面積,從而降低了碎片和隱裂的現(xiàn)象,提高了產(chǎn)品的合格率。

圖1為現(xiàn)有技術(shù)提供的硅片清洗機(jī)的洗槽的結(jié)構(gòu)示意圖;圖2為本實(shí)用新型實(shí)施例提供的硅片清洗機(jī)的洗槽的結(jié)構(gòu)示意圖;圖3為圖2中A的局部放大圖。
具體實(shí)施方式
本實(shí)用新型核心是提供一種硅片清洗機(jī)的洗槽,增大硅片與洗槽的接觸面積,以提聞廣品的合格率。為了使本技術(shù)領(lǐng)域的人員更好地理解本實(shí)用新型方案,
以下結(jié)合附圖和實(shí)施方式對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步的詳細(xì)說(shuō)明。請(qǐng)參考圖2-圖3,本實(shí)用新型公開了一種硅片清洗機(jī)的洗槽,包括洗槽箱體1,還包括設(shè)置在洗槽箱體I內(nèi)的緩沖裝置2,該緩沖裝置2相對(duì)于洗槽箱體I的側(cè)壁傾斜預(yù)設(shè)角
度布置。通過(guò)在洗槽箱體I內(nèi)放置緩沖裝置2,并將硅片放置在緩沖裝置2上,使硅片的一個(gè)表面與緩沖裝置2接觸,一個(gè)側(cè)邊與洗槽箱體I的底面接觸,因此,增大了硅片與洗槽的接觸面積,從而降低了碎片和隱裂的現(xiàn)象,提高了產(chǎn)品的合格率。具體的實(shí)施例中將緩沖裝置2設(shè)置為支撐板,由于支撐板結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,且能實(shí)現(xiàn)增大硅片與洗槽的接觸面積的目的。由于本實(shí)施的核心的是增大硅片與洗槽的接觸面積,因此,在實(shí)際生產(chǎn)中其他可增大硅片與洗槽的接觸面積的結(jié)構(gòu)也在保護(hù)范圍內(nèi)。本實(shí)施例中提供的支撐板的形狀和材質(zhì)可根據(jù)不同的需要進(jìn)行設(shè)定,優(yōu)選地,緩沖裝置的材質(zhì)為PVC板,且為長(zhǎng)方型。為了便于操作者對(duì)硅片的取放,本實(shí)施例中提供的支撐板的寬度小于硅片的寬度或其長(zhǎng)度小于硅片的長(zhǎng)度,以保證支撐板與硅片之間預(yù)留有操作者著力的位置。在實(shí)際設(shè)置時(shí),還可將支撐板的寬度設(shè)置為小于硅片的寬度同時(shí)支撐板的長(zhǎng)度也設(shè)置為小于硅片的長(zhǎng)度。但是,本實(shí)施例不對(duì)硅片和支撐板的差值做限定。本實(shí)施例中將支撐板設(shè)置為兩個(gè)重疊布置的支撐分板201,且兩個(gè)支撐分板201之間設(shè)置有彈性件203。由于操作人員在放置硅片時(shí),硅片之間存在較大的擠壓力,為了緩沖在放置硅片過(guò)程中硅片對(duì)支撐分板203的擠壓力,本實(shí)施例中優(yōu)選的設(shè)置了彈性件203,以保證硅片的質(zhì)量,降低碎片率。優(yōu)選的實(shí)施例中,將彈性件203設(shè)置為彈簧。為了使硅片與支撐分板201的接觸面受力平衡,更優(yōu)選地,設(shè)置4個(gè)彈簧,且平均分布在支撐分板201的兩個(gè)對(duì)角線上,并保證在同一對(duì)角線上的兩個(gè)彈簧關(guān)于支撐分板201的中心對(duì)稱。在放置硅片時(shí),可保證硅片與支撐分板201之間為彈性接觸,有效降低了硅片與支撐分板201硬性接觸時(shí)造成的碎片問(wèn)題,提高了硅片的質(zhì)量。本領(lǐng)域技術(shù)人員可以理解的是,在實(shí)際生產(chǎn)中,還可將彈性件203設(shè)置為橡膠墊,即兩個(gè)支撐分板201之間通過(guò)彈性的橡膠墊連接。進(jìn)一步的實(shí)施中,為了保證硅片與支撐板之間的接觸為彈性接觸,還可在支撐板的用于支撐硅片的表面設(shè)置彈性層202。本實(shí)施例中將彈性層202設(shè)置為硅膠板。為了保證硅膠板表面的平整性,具體地,通過(guò)粘膠的方式使硅膠層粘接在支撐板上。更進(jìn)一步的實(shí)施例中,將緩沖裝置2與洗槽箱體I的側(cè)壁之間的預(yù)設(shè)角度設(shè)置為15° -20°,在實(shí)際操作中,若傾斜角度較大時(shí),會(huì)影響工作人員的操作,不便于取片;若傾斜角度較小時(shí),硅片放置的穩(wěn)定性會(huì)下降,因此,優(yōu)選的設(shè)置15° -20°。在上述方案的基礎(chǔ)上,本實(shí)施例中將緩沖裝置2的一組對(duì)邊中一者與洗槽箱體I的槽底相連,另一者與洗槽箱體I的側(cè)邊相連,從而實(shí)現(xiàn)對(duì)緩沖裝置2的固定。本實(shí)施例不對(duì)緩沖裝置2的固定方式進(jìn)行限定,可通過(guò)螺釘連接也可通過(guò)粘膠的方式連接,只要能實(shí)現(xiàn)緩沖裝置2的固定方式均在本實(shí)施例保護(hù)范圍內(nèi)。本實(shí)施例還公開了一種硅片清洗機(jī),包括洗槽,其中,該洗槽為上述實(shí)施例中所公開的洗槽,因此,具有該洗槽的硅片清洗機(jī)也具有上述所有技術(shù)效果,在此不再一一贅述。本說(shuō)明書中各個(gè)實(shí)施例采用遞進(jìn)的方式描述,每個(gè)實(shí)施例重點(diǎn)說(shuō)明的都是與其他實(shí)施例的不同之處,各個(gè)實(shí)施例之間相同相似部分互相參見即可。對(duì)所公開的實(shí)施例的上述說(shuō)明,使本領(lǐng)域?qū)I(yè)技術(shù)人員能夠?qū)崿F(xiàn)或使用本實(shí)用新型。對(duì)這些實(shí)施例的多種修改對(duì)本領(lǐng)域的專業(yè)技術(shù)人員來(lái)說(shuō)將是顯而易見的,本文中所定義的一般原理可以在不脫離本實(shí)用新型的精神或范圍的情況下,在其它實(shí)施例中實(shí)現(xiàn)。因此,本實(shí)用新型將不會(huì)被限制于本文所示的這些實(shí)施例,而是要符合與本文所公開的原理和新穎特點(diǎn)相一致的最寬的范圍。
權(quán)利要求1.一種硅片清洗機(jī)的洗槽,包括洗槽箱體,其特征在于,還包括設(shè)置在所述洗槽箱體內(nèi)的緩沖裝置,所述緩沖裝置相對(duì)于所述洗槽箱體的側(cè)壁傾斜預(yù)設(shè)角度布置。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的洗槽,其特征在于,所述緩沖裝置為支撐板。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的洗槽,其特征在于,所述支撐板的寬度小于硅片的寬度和/或其長(zhǎng)度小于娃片的長(zhǎng)度。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的洗槽,其特征在于,所述支撐板包括兩個(gè)重疊布置的支撐分板,且兩個(gè)所述支撐分板之間設(shè)置有彈性件。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的洗槽,其特征在于,所述彈性件為彈簧。
6.根據(jù)權(quán)利要求2所述的洗槽,其特征在于,所述支撐板的用于支撐硅片的表面還設(shè)置有彈性層。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的洗槽,其特征在于,所述彈性層為硅膠層。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的洗槽,其特征在于,所述預(yù)設(shè)角度為15°-20°。
9.根據(jù)權(quán)利要求1-8任一項(xiàng)所述的洗槽,其特征在于,所述緩沖裝置的一組對(duì)邊中的一者與所述洗槽箱體的槽底相連,另一者與所述洗槽箱體的側(cè)邊相連。
10.一種硅片清洗機(jī),包括洗槽,其特征在于,所述洗槽為權(quán)利要求1-9任一項(xiàng)所述的洗槽。
專利摘要本實(shí)用新型公開了一種硅片清洗機(jī)的洗槽,包括洗槽箱體,還包括設(shè)置在洗槽箱體內(nèi)的緩沖裝置,且緩沖裝置相對(duì)于洗槽箱體的側(cè)壁傾斜預(yù)設(shè)角度布置。通過(guò)在洗槽箱體內(nèi)放置緩沖裝置,并將硅片放置在緩沖裝置上,使硅片的一個(gè)表面與緩沖裝置接觸,一個(gè)側(cè)邊與洗槽箱體的底面接觸,因此,增大了硅片與洗槽的接觸面積,從而降低了碎片和隱裂的現(xiàn)象,提高了產(chǎn)品的合格率。
文檔編號(hào)B08B3/00GK202877206SQ20122057998
公開日2013年4月17日 申請(qǐng)日期2012年11月6日 優(yōu)先權(quán)日2012年11月6日
發(fā)明者李盼, 齊海洋, 邵國(guó)亮 申請(qǐng)人:英利能源(中國(guó))有限公司
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