一種薄膜襯底清洗裝置制造方法
【專利摘要】本實用新型涉及了一種薄膜襯底清洗裝置，包括基座和基座蓋，基座蓋布置若干篩孔，基座蓋由其上設置的提桿與基座可拆卸連接；基座下表面向上凹進形成底槽，所述底槽與基座上表面開有若干圓通孔，且在基座下邊緣設置有開口。本實用新型的薄膜襯底清洗裝置有如下的優點和積極效果：能使襯底在超聲清洗和沸煮過程中不會發生翻轉和漂浮脫離圓通孔，并且清洗液能在上蓋篩孔、圓通孔和基座底槽間形成有效流動，防止污漬的二次污染；圓通孔結構可使薄膜襯底與該裝置接觸面減小并在清洗結束時清洗液能快速的流出孔槽，提高了襯底的清潔度；基座蓋的提手能方便的將整個裝置從清洗液中取出。
【專利說明】一種薄膜襯底清洗裝置
【技術領域】
[0001]本實用新型涉及一種薄膜襯底的清洗、干燥裝置，特別涉及一種襯底在清洗液中防止發生翻轉和漂離槽孔的裝置。
【背景技術】
[0002]目前，實驗室中經常用到不同尺寸的薄膜襯底，如單晶硅襯底，ITO玻璃襯底，SrTiO3單晶襯底，MgO單晶襯底等等，在使用前往往需要進行清洗、沸煮等多道程序。在清洗、沸煮和吹干過程中，一些襯底由于表面積大，質量輕，容易發生翻轉、漂浮，從而損傷或者污染襯底表面，影響襯底清洗效果。因此，急需一種裝置能適合不同尺寸的薄膜襯底，并將其限定在一個相對狹小的空間中進行清洗和干燥，同時應盡量減小薄膜襯底與該裝置的接觸面，提高襯底的清潔度。
實用新型內容
[0003]本實用新型的目的在于:針對上述存在的問題，提供一種使薄膜襯底在清洗干燥中不發生翻轉和漂浮，并且清潔度更高的清洗裝置。
[0004]本實用新型的薄膜襯底清洗裝置，包括基座1、底槽2、圓通孔3、邊沿凸出圈4、基座蓋5、篩孔6、提桿7、提桿螺紋接頭8、基座螺紋孔9。
[0005]所述基座蓋5布置若干篩孔6，所述基座蓋5由其上設置的提桿7與基座I可拆卸連接；使其防止漂浮和便于整個裝置從清洗液中取出。所述提桿7貫穿基座蓋5中心在其下端形成提桿螺紋接頭8與基座I上設置的基座螺紋孔9形成螺紋連接。基座I下表面向上凹進形成底槽2，所述底槽2與基座上表面開有若干圓通孔3，且在基座下邊緣設置有開口 ；使圓通孔里沉積的污潰通過底槽與外圍流動，防止襯底的二次污染。所述圓通孔3的尺寸為上圓面與側邊的夾角在35° — 75°之間，圓臺下端開口直徑4-8mm，上端開口直徑10-20mm ;防止了襯底翻轉，減少了襯底與內壁的接觸面有助于提高清洗的潔凈度。所述基座I和基座蓋5的制備材料為耐腐蝕材料。
[0006]該裝置各部件均采用等耐腐蝕的材料制備(如聚四氟乙烯或有機玻璃)。
[0007]綜上所述，由于采用了上述技術方案，本實用新型的優點是:
[0008]1、薄膜襯底在清洗過程中因斜靠或平躺在圓通孔內壁，防止了襯底翻轉；
[0009]2、薄膜襯底與圓通孔內壁的接觸只有四個頂角，減少了與內壁的接觸面有助于提高清洗的潔凈度，同時，在清洗結束時，清洗液能快速的從圓通孔中流出；
[0010]3、基座底槽的設計使圓通孔里沉積的污潰通過底槽與外圍流動，防止襯底的二次污染；
[0011]4、基座蓋防止了薄膜襯底在清洗、沸煮過程中發生漂浮；
[0012]5、基座蓋所連接的提桿能方便地將整個夾具從清洗液中取出。
【專利附圖】

【附圖說明】[0013]本發明將通過例子并參照附圖的方式說明，其中:
[0014]圖1是本實用新型的立體圖；
[0015]圖2是本實用新型的主視圖；
[0016]圖3是圓通孔放置薄膜襯底的平躺內壁示意圖；
[0017]圖4是圓通孔放置薄膜襯底的斜靠內壁示意圖；
[0018]附圖標記:1-基座，2-底槽，3-圓通孔，4-邊沿凸出圈，5-基座蓋，6-篩孔，7_提桿，8-提桿螺紋接頭，9-基座螺紋孔，10-薄膜襯底。
【具體實施方式】
[0019]本說明書中公開的所有特征，或公開的所有方法或過程中的步驟，除了互相排斥的特征和/或步驟以外，均可以以任何方式組合。
[0020]本說明書(包括任何附加權利要求、摘要和附圖)中公開的任一特征，除非特別敘述，均可被其他等效或具有類似目的的替代特征加以替換。即，除非特別敘述，每個特征只是一系列等效或類似特征中的一個例子而已。
[0021 ] 薄膜襯底清洗裝置，參照圖1和圖2，包括基座1、底槽2、圓通孔3、邊沿凸出圈4、基座蓋5、篩孔6、提桿7、提桿螺紋接頭8、基座螺紋孔9。
[0022]本實用新型中的一個優選方案為:所述基座I圓柱體，所述提桿7與基座I為可拆卸方式連接，通過提桿螺紋接頭8和基座螺紋孔9以螺紋連接方式連接，所述裝置各組件均采用等耐腐蝕的材料制備(如聚四氟乙烯或有機玻璃)。
[0023]本實用新型在使用時，根據薄膜襯底大小選擇適合的圓通孔，以薄膜襯底上頂點離圓臺上表面2 - 4mm為宜，然后將上蓋中心的提桿螺紋接頭連接基座，并旋緊吻合蓋面，清洗完后，提桿可方便的將基座提起。
[0024]本實用新型在薄膜襯底的清洗、沸煮、干燥等過程中，有效的保證了襯底的不翻轉、漂浮，圓通孔和底槽的結構也更有效的提高了薄膜襯底清洗的潔凈度。
[0025]上述僅為本實用新型的具體實施方法，但本實用新型的設計構思并不局限于此，一切不脫離本實用新型的精神和范圍的技術方案及其修改，其均應涵蓋在本實用新型的權利要求范圍內。
[0026]本實用新型并不局限于前述的【具體實施方式】。本發明擴展到任何在本說明書中披露的新特征或任何新的組合，以及披露的任一新的方法或過程的步驟或任何新的組合。
【權利要求】
1.一種薄膜襯底清洗裝置，包括基座(I)和基座蓋(5)，所述基座蓋(5)布置若干篩孔(6)，所述基座蓋(5)由其上設置的提桿(7)與基座(I)可拆卸連接，其特征在于:基座(I)下表面向上凹進形成底槽(2)，所述底槽(2)與基座上表面開有若干圓通孔(3)，且在基座下邊緣設置有開口。
2.如權利要求1所述的薄膜襯底清洗裝置，其特征在于:所述圓通孔(3)的尺寸為上圓面與側邊的夾角在35° —75°之間，圓臺下端開口直徑4-8mm，上端開口直徑10-20mm。
3.如權利要求1所述的薄膜襯底清洗裝置，其特征在于:所述提桿(7)貫穿基座蓋(5)中心在其下端形成提桿螺紋接頭(8)與基座(I)上對應的基座螺紋孔(9)形成螺紋連接。
4.如權利要求1-3中任一權利要求所述的薄膜襯底清洗裝置，其特征在于:所述基座(I)和基座蓋(5)的制備材料為耐腐蝕材料。
【文檔編號】B08B3/04GK203400895SQ201320246813
【公開日】2014年1月22日 申請日期:2013年5月9日 優先權日:2013年5月9日
【發明者】何泓材, 羅斐斐, 王寧, 錢能, 楊奎, 朱家昆 申請人:電子科技大學