專利名稱：硅棒加熱器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種硅棒切割加工過程中加熱硅棒，加快膠水的硬化時間的硅棒加熱器。
背景技術(shù)：
硅棒、玻璃基板和晶托冶具粘結(jié)好后需要對膠水進(jìn)行加熱，加快膠水的硬化時間， 去除膠的應(yīng)力層。常規(guī)的加熱方法是將粘結(jié)好的硅棒、玻璃基板和晶托冶具搬運(yùn)至加熱箱內(nèi)，這樣容易造成硅棒表面的損傷。如果將粘結(jié)平臺整體進(jìn)行加熱，加熱器的尺寸和功率需要很大，成本較高。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明目的在于針對現(xiàn)有技術(shù)的缺陷提供一種節(jié)省空間，成本較低的硅棒加熱器。本發(fā)明為實現(xiàn)上述目的，采用如下技術(shù)方案
硅棒加熱器，包括加熱箱，其特征在于所述加熱箱加熱部件位于箱體周邊，底部懸空， 底部兩側(cè)設(shè)置有軌道，所述軌道內(nèi)設(shè)置有可以自由推動的粘棒推車，所述粘棒推車用于放置粘結(jié)好的硅棒、玻璃基板和晶托冶具；所述粘棒推車和所述加熱箱配合形成一個密閉的腔體。本發(fā)明結(jié)構(gòu)簡單，與粘棒推車相配合，體積小，成本較低。


圖I為本發(fā)明示意圖。
具體實施例方式如圖I所示一種硅棒加熱器，包括加熱箱I，所述加熱箱I加熱部件位于箱體周邊， 底部懸空，底部兩側(cè)設(shè)置有軌道3，所述軌道3內(nèi)設(shè)置有可以自由推動的粘棒推車2，所述粘棒推車2用于放置粘結(jié)好的硅棒、玻璃基板和晶托冶具；所述粘棒推車2和所述加熱箱I配合形成一個密閉的腔體。使用時將放置粘結(jié)好的硅棒、玻璃基板和晶托冶具的粘棒推車推入加熱箱的軌道，粘棒小車和加熱箱相配合形成一個較小的僅可容納結(jié)好的硅棒、玻璃基板和晶托冶具的密閉加熱空間，對粘結(jié)好的各個部件進(jìn)行加熱。加熱完畢后推出，這樣減少了硅棒的搬運(yùn)過程。方便更換推車。
權(quán)利要求
1.硅棒加熱器，包括加熱箱，其特征在于所述加熱箱加熱部件位于箱體周邊，底部懸空，底部兩側(cè)設(shè)置有軌道，所述軌道內(nèi)設(shè)置有可以自由推動的粘棒推車，所述粘棒推車用于放置粘結(jié)好的硅棒、玻璃基板和晶托冶具；所述粘棒推車和所述加熱箱配合形成一個密閉的腔體。
全文摘要
本發(fā)明公布了一種硅棒加熱器，包括加熱箱，其特征在于所述加熱箱加熱部件位于箱體周邊，底部懸空，底部兩側(cè)設(shè)置有軌道，所述軌道內(nèi)設(shè)置有可以自由推動的粘棒推車，所述粘棒推車用于放置粘結(jié)好的硅棒、玻璃基板和晶托冶具；所述粘棒推車和所述加熱箱配合形成一個密閉的腔體。本發(fā)明結(jié)構(gòu)簡單，與粘棒推車相配合，體積小，成本較低。
文檔編號B28D7/00GK102581973SQ20121008636
公開日2012年7月18日 申請日期2012年3月29日 優(yōu)先權(quán)日2012年3月29日
發(fā)明者何江濤, 劉愛軍, 李曉建, 胥大鵬, 陸建虎, 陳新軍 申請人:寧夏隆基硅材料有限公司, 無錫隆基硅材料有限公司, 西安隆基硅材料股份有限公司, 銀川隆基硅材料有限公司