專利名稱：一種玻璃薄化設(shè)備及方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明屬于液晶顯示屏幕制造領(lǐng)域中的液晶基板玻璃的腐蝕薄化技術(shù)，具體涉及的是ー種玻璃薄化設(shè)備及方法。
背景技術(shù)：
隨著便攜式電子設(shè)備的發(fā)展，屏幕顯示越來越多地使用液晶面板，為了便于攜帯，設(shè)備越來越纖細(xì)化及薄型化，因此也需要制造較薄的基板，為了較薄地制造基板厚度，采用機(jī)械拉伸無法達(dá)到目標(biāo)厚度的，所以一般使用的技術(shù)是蝕刻技術(shù)和物理研磨技木。一般為了較薄地加工玻璃基板的厚度而使用的蝕刻技術(shù)分為直接浸泡和噴淋技術(shù)，現(xiàn)有的上述浸泡技術(shù)在減薄基板厚度方面存在極限，其會因?yàn)槿芤旱臐舛戎饾u地減低而影響薄化效果，而噴淋技術(shù)分為側(cè)噴和頂噴，側(cè)噴的加工片數(shù)比較少，只可以一次一片或者兩片，而頂噴會由于噴液從上往下流的線路不確定，容易在表面造成豎條狀的凹凸紋。根據(jù)隨著便攜式電子設(shè)備的發(fā)展的玻璃基板的超纖細(xì)化要求，研發(fā)有效、高效地減少玻璃基板厚度的方法是當(dāng)前需要解決的問題。

發(fā)明內(nèi)容
針對現(xiàn)有技術(shù)存在的缺陷，本發(fā)明的目的是提供一種可以提聞生廣效率及提聞玻璃表面光潔度，解決現(xiàn)有的低效率的基板玻璃薄化工藝的玻璃薄化設(shè)備。本發(fā)明更進(jìn)ー步的目的是提出ー種使用該上述設(shè)備的專用的玻璃薄化方法。本發(fā)明解決其技術(shù)問題所采取的技術(shù)方案是ー種玻璃薄化設(shè)備，關(guān)鍵在于所述的薄化設(shè)備包括一反應(yīng)容器、上蓋、支撐支架、循環(huán)池及循環(huán)水泵，所述的反應(yīng)容器的底部設(shè)置有多個進(jìn)液ロ，所述的反應(yīng)容器內(nèi)設(shè)置有支撐支架，所述的支撐支架底部設(shè)有支撐凸起，所述的支撐支架的下方設(shè)置網(wǎng)狀層，所述的反應(yīng)容器上方設(shè)置有ー上蓋，上蓋上設(shè)置有一通氣孔，所述的反應(yīng)容器的側(cè)邊設(shè)置有溢流管，所述的溢流管連接循環(huán)池，所述的循環(huán)水泵設(shè)置在循環(huán)池和反應(yīng)容器之間的管道上。所述的網(wǎng)狀層包括多層的濾網(wǎng)。所述的反應(yīng)容器底部還設(shè)置有多個的進(jìn)氣孔。所述的反應(yīng)容器的底部側(cè)邊設(shè)置有一反應(yīng)液補(bǔ)充入ロ。所述的支撐支架為ー架體，架體底部設(shè)有支撐凸起，架體側(cè)邊設(shè)置有多個的卡位凹槽，所述的卡位凹槽的間距為10-70mm。本發(fā)明的ー種玻璃薄化方法，所述的方法包括如下步驟
1)把玻璃垂直排列放置在反應(yīng)容器中支撐支架的卡位凹槽上；
2)從容器底部緩慢通入反應(yīng)液體；
3)當(dāng)反應(yīng)液覆蓋玻璃基片后用正常流速進(jìn)行循環(huán)，使反應(yīng)液從反應(yīng)容器頂端溢出；
4)往反應(yīng)容器內(nèi)通入氣體；
5)溢出的反應(yīng)液經(jīng)過循環(huán)池進(jìn)行過濾。優(yōu)選的，所述的的步驟還包括從反應(yīng)容器底部輸入氣體，氣體產(chǎn)生的氣泡經(jīng)過反應(yīng)容器I中設(shè)置的濾網(wǎng)51而被細(xì)化，細(xì)小的氣泡經(jīng)過玻璃表面的時候可將玻璃表面的銹蝕洛帶走。優(yōu)選的，所述的反應(yīng)液體的濃度通過反應(yīng)容器底部側(cè)邊設(shè)置有一反應(yīng)液補(bǔ)充入口進(jìn)行補(bǔ)充。優(yōu)選的，所述的反應(yīng)液體在反應(yīng)容器內(nèi)的流速O. 03-0. lm/s，在反應(yīng)初期將反應(yīng)容器灌滿的速度為O. 01-0. 03 m/s。本發(fā)明的玻璃薄化方法，采用反應(yīng)液從下往上井噴式流出反應(yīng)，同時在反應(yīng)容器的底部増加一氣體入ロ，使反應(yīng)液中混有氣體，可以使基片玻璃表面的反應(yīng)殘?jiān)斓帽粠ё撸涌炝瞬ＡУ谋』俣龋岣呱a(chǎn)效率。


圖I為本發(fā)明設(shè)備結(jié)構(gòu)示意圖。 圖2為本發(fā)明流程結(jié)構(gòu)示意圖。圖3為本發(fā)明支撐支架結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施例方式 如圖I至圖3所示，ー種玻璃薄化設(shè)備，所述的薄化設(shè)備包括一反應(yīng)容器I、上蓋4、支撐支架3、循環(huán)池10及循環(huán)水泵11，所述的反應(yīng)容器的底部設(shè)置有多個進(jìn)液ロ 2，所述的反應(yīng)容器內(nèi)設(shè)置有支撐支架3，所述的支撐支架3底部設(shè)有支撐凸起31，所述的支撐支架3的下方設(shè)置網(wǎng)狀層5，所述的反應(yīng)容器I上方設(shè)置有ー上蓋4，上蓋4上設(shè)置有一通氣孔6，所述的反應(yīng)容器I的側(cè)邊設(shè)置有溢流管7，所述的溢流管連接循環(huán)池10，所述的循環(huán)水泵11設(shè)置在循環(huán)池10和反應(yīng)容器I之間的管道上。所述的反應(yīng)容器I可為方形或者矩形體，所述的多個進(jìn)液ロ 2可為兩個或者三個或者四個，優(yōu)選地為三個。所述的網(wǎng)狀層5包括多層的濾網(wǎng)51。濾網(wǎng)51可以將通入反應(yīng)容器I內(nèi)的氣泡進(jìn)行細(xì)化，使氣泡變小而具有更大的表面積。所述的反應(yīng)容器I底部還設(shè)置有多個的進(jìn)氣孔12。進(jìn)氣孔12連接外部氣源。所述的反應(yīng)容器I的底部側(cè)邊設(shè)置有一反應(yīng)液補(bǔ)充入口 9。反應(yīng)液補(bǔ)充入口 9可以人工地或者自動地對反應(yīng)容器I內(nèi)反應(yīng)液濃度進(jìn)行補(bǔ)充和改正，保證蝕刻反應(yīng)的正常進(jìn)行。所述的支撐支架3為ー架體，架體底部設(shè)有支撐凸起31，架體側(cè)邊設(shè)置有多個的卡位凹槽32,所述的卡位凹槽32的間距為10_70mm。ー種玻璃薄化方法，所述的方法包括
O把玻璃垂直排列放置在反應(yīng)容器I中設(shè)置的卡位凹槽32上；
2)使反應(yīng)液體從容器底部進(jìn)入反應(yīng)容器，并從反應(yīng)容器頂端溢出；
3)溢出的反應(yīng)液經(jīng)過過濾池10;
4)往容器內(nèi)通入氣體及補(bǔ)充反應(yīng)液
5)反應(yīng)液從過濾池10流出，經(jīng)過循環(huán)水泵11后重新從底部進(jìn)入反應(yīng)容器I。所述的反應(yīng)容器I底部釋放出氣泡，所述的氣泡經(jīng)過濾網(wǎng)51而被細(xì)化，細(xì)小的氣泡經(jīng)過玻璃表面的時候會將玻璃表面的銹蝕渣帶走。所述的反應(yīng)液體的濃度通過反應(yīng)容器底部側(cè)邊設(shè)置有一反應(yīng)液補(bǔ)充入ロ 9進(jìn)行補(bǔ)充。所述的反應(yīng)液體在反應(yīng)容器內(nèi)的流速O. 03-0. lm/s，在反應(yīng)初期將反應(yīng)容器灌滿的速度為 O. 01-0. 03 m/s O所述的氣泡在反應(yīng)容器內(nèi)的流速為l_2m/s。所述的反應(yīng)容器為圓形的罐體，采用高分子材質(zhì)制作。所述的罐體的下端為喇叭ロ，其最低處設(shè)置有進(jìn)液ロ，進(jìn)液ロ連接循環(huán)水泵的出口，所述的反應(yīng)容器下端設(shè)置有一網(wǎng)狀層，其包括多層的濾網(wǎng)，濾網(wǎng)的網(wǎng)眼小于1_。所述的網(wǎng)狀層下端設(shè)置有一反應(yīng)液補(bǔ)充入ロ，用以補(bǔ)充反應(yīng)液的整體濃度，所述的補(bǔ)充濃度和補(bǔ)充速度根據(jù)實(shí)際情況實(shí)際確定。所述的網(wǎng)狀層上方為支撐支架，所述的支撐支架用于固定卡緊基片玻璃，所述的支撐支架側(cè)邊設(shè)置有多個并列排列的固定卡位凹槽32，所述的基片玻璃夾持在卡位凹槽32中，垂直排列在支撐支架內(nèi)部，數(shù)目可以為8片至48片。具體數(shù)目可根據(jù)具體需要和反應(yīng)容器大小具體確定。所述的反應(yīng)液體在反應(yīng)容器內(nèi)的流速為O. 03-0. lm/s，當(dāng)基片玻璃在反應(yīng)容器內(nèi)與反應(yīng)液體產(chǎn)生化學(xué)反應(yīng)而被侵蝕的時候，玻璃的厚度會產(chǎn)生一定的減低，同時，化學(xué)腐蝕會在基片玻璃表面產(chǎn)生雪糕狀的玻璃渣，玻璃渣被流動的反應(yīng)液體帶走，使蝕刻之后的基片玻璃不需要經(jīng)過研磨或者拋光程序就可以直接使用，該種方法可以同時對多片玻璃進(jìn)行薄 化，大大提聞了生廣效率。所述的反應(yīng)液為現(xiàn)有技術(shù)中的成分配比，所述的過濾系統(tǒng)及循環(huán)水泵為現(xiàn)有技木，此處不再詳述。
權(quán)利要求
1.ー種玻璃薄化設(shè)備,其特征在于所述的薄化設(shè)備包括一反應(yīng)容器(I)、上蓋(4)、支撐支架(3)、循環(huán)池(10)及循環(huán)水泵(11)，所述的反應(yīng)容器的底部設(shè)置有多個進(jìn)液ロ(2)，所述的反應(yīng)容器內(nèi)設(shè)置有支撐支架(3)，所述的支撐支架(3)底部設(shè)有支撐凸起(31)，所述的支撐支架(3)的下方設(shè)置網(wǎng)狀層(5)，所述的反應(yīng)容器(I)上方設(shè)置有ー上蓋(4)，上蓋(4)上設(shè)置有一通氣孔(6)，所述的反應(yīng)容器(I)的側(cè)邊設(shè)置有溢流管(7)，所述的溢流管連接循環(huán)池(10)，所述的循環(huán)水泵(11)設(shè)置在循環(huán)池(10)和反應(yīng)容器(I)之間的管道上。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的玻璃薄化設(shè)備，其特征在于所述的網(wǎng)狀層(5)包括多層的濾網(wǎng)(51)。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的玻璃薄化設(shè)備，其特征在于所述的反應(yīng)容器(I)底部還設(shè)置有多個的進(jìn)氣孔(12)。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的玻璃薄化設(shè)備，其特征在于所述的反應(yīng)容器(I)的底部側(cè)邊設(shè)置有一反應(yīng)液補(bǔ)充入口(9)。
5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的玻璃薄化設(shè)備，其特征在于所述的支撐支架(3)為ー架體，架體底部設(shè)有支撐凸起(31)，架體側(cè)邊設(shè)置有多個的卡位凹槽(32)，所述的卡位凹槽(32)的間距為10-70mm。
6.ー種玻璃薄化方法，所述的方法包括如下步驟 把玻璃垂直排列放置在反應(yīng)容器(I)中支撐支架的卡位凹槽(32)上； 從容器底部緩慢通入反應(yīng)液體； 當(dāng)反應(yīng)液覆蓋玻璃基片后用正常流速進(jìn)行循環(huán)，使反應(yīng)液從反應(yīng)容器頂端溢出； 往反應(yīng)容器(I)內(nèi)通入氣體； 溢出的反應(yīng)液經(jīng)過循環(huán)池(10)進(jìn)行過濾。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的玻璃薄化方法，其特征在于所述的的步驟還包括從反應(yīng)容器(I)底部輸入氣體，氣體產(chǎn)生的氣泡經(jīng)過反應(yīng)容器(I)中設(shè)置的濾網(wǎng)(51)而被細(xì)化，細(xì)小的氣泡經(jīng)過玻璃表面的時候可將玻璃表面的銹蝕渣帶走。
8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的玻璃薄化方法，其特征在于所述的反應(yīng)液體的濃度通過反應(yīng)容器底部側(cè)邊設(shè)置有一反應(yīng)液補(bǔ)充入口(9)進(jìn)行補(bǔ)充。
9.根據(jù)權(quán)利要求6所述的玻璃薄化方法，其特征在于所述的反應(yīng)液體在反應(yīng)容器內(nèi)的流速O. 03-0. lm/s，在反應(yīng)初期將反應(yīng)容器灌滿的速度為O. 01-0. 03 m/s。
全文摘要
本發(fā)明提出一種玻璃薄化設(shè)備，包括一反應(yīng)容器，所述的反應(yīng)容器的底部設(shè)置有多個進(jìn)液口，所述的反應(yīng)容器內(nèi)設(shè)置有支撐支架，所述的支撐支架底部設(shè)有支撐凸起，所述的支撐支架的下端設(shè)置網(wǎng)狀層，所述的反應(yīng)容器上設(shè)置有一上蓋，上蓋上設(shè)置有一通氣孔，所述的反應(yīng)容器的側(cè)邊設(shè)置有溢流管，所述的溢流管連接循環(huán)池。本發(fā)明還提出一種玻璃薄化方法，采用反應(yīng)液從下往上井噴式流出反應(yīng)，同時在反應(yīng)容器的底部增加一氣體入口，使反應(yīng)液中混有氣體，可以使基片玻璃表面的反應(yīng)殘?jiān)斓帽粠ё撸涌炝瞬ＡУ谋』俣龋岣呱a(chǎn)效率。
文檔編號C03C15/00GK102643028SQ20121014666
公開日2012年8月22日 申請日期2012年5月14日 優(yōu)先權(quán)日2012年5月14日
發(fā)明者朱邁, 羅清泉, 謝慶強(qiáng) 申請人:深圳市拓捷科技發(fā)展有限公司