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金剛石線多線切割機(jī)線管理裝置的制作方法

文檔序號(hào):1997339閱讀:288來(lái)源:國(guó)知局
專利名稱:金剛石線多線切割機(jī)線管理裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域
本實(shí)用新型涉及管理裝置,尤其是涉及金剛石線多線切割機(jī)線管理裝置。
背景技術(shù)
金剛石線多線切割機(jī)是通過(guò)電鍍、樹(shù)脂結(jié)合劑固結(jié)等方式將金剛石顆粒固定在基線上制成金剛石線,金剛石線 通過(guò)導(dǎo)輪的牽引高速往復(fù)運(yùn)動(dòng)形成切割作用。此種設(shè)備可實(shí)現(xiàn)硅片的快速切割,速度提高2-3倍;損耗小,硅粉可回收;硅片表面一致性好;不需使用碳化硅,無(wú)污染。目前金剛石線多線切割機(jī)的線管理(含走線方法及具體結(jié)構(gòu))裝置,通常是金剛石線從線管理區(qū)放出,經(jīng)過(guò)布線輪到張カ輪進(jìn)入線網(wǎng)切割區(qū),從線網(wǎng)切割區(qū)出來(lái)后回到線管理區(qū),經(jīng)過(guò)張カ輪和布線輪再回到收線輪。由于金剛石線切割機(jī)走線速度快,精度要求高,金剛石線走線過(guò)程中一旦扭曲變形,可能導(dǎo)致斷線,造成金剛石線和エ件報(bào)廢,損失較大。目前出現(xiàn)的金剛石線切割機(jī)所用過(guò)線輪在18只以上,且進(jìn)入槽輪前和從槽輪出來(lái)后用于走線換向的過(guò)線輪結(jié)構(gòu)設(shè)置不合理,走線換向時(shí)容易發(fā)現(xiàn)斷線,大大影響了切割效率和切片質(zhì)量。

實(shí)用新型內(nèi)容針對(duì)上述現(xiàn)有技術(shù)中金剛石線切割機(jī)線管理裝置中過(guò)線輪設(shè)置不合理,有可能導(dǎo)致金剛石線走線過(guò)程中扭曲變形,造成金剛石線斷線的問(wèn)題,本實(shí)用新型的提供了ー種布線規(guī)整合理,控制精度更高、金剛石線運(yùn)行平穩(wěn)、不易斷線的金剛石線多線切割機(jī)線管理裝置。本實(shí)用新型要解決的技術(shù)問(wèn)題所采取的技術(shù)方案是所述金剛石線多線切割機(jī)線管理裝置包括放線輪、收線輪和過(guò)線輪,所述過(guò)線輪不超過(guò)十七只,所述過(guò)線輪包括兩只排線輪、布線輪和兩只張カ輪,所述張カ輪上設(shè)置有金剛石線線弓大小可調(diào)節(jié)的調(diào)節(jié)裝置,所述布線輪包括立式布線輪、正面布線輪(3)和臥式布線輪,所述排線輪、張カ輪、放線輪和收線輪正面設(shè)置,所述立式布線輪分成三組,其中兩組每組兩只、ー組ー只,一組兩只上下對(duì)稱設(shè)置在放線輪ー側(cè),另ー組兩只上下對(duì)稱設(shè)置在收線輪ー側(cè),在立式布線輪與放線輪和收線輪之間分別設(shè)置有排線輪,所述金剛石線從放線輪輸出,經(jīng)排線輪和ー組兩只立式布線輪后,繞正面布線輪和張カ輪,再經(jīng)ー只立式布線輪和臥式布線輪以及正面布線輪進(jìn)入槽輪旋轉(zhuǎn);所述金剛石線從槽輪出來(lái),經(jīng)正面布線輪和臥式布線輪后,繞張カ輪和正面布線輪,再繞另ー組兩只立式布線輪和排線輪進(jìn)入收線輪。本實(shí)用新型由于減少了布線輪數(shù)量,改變了進(jìn)入槽輪前用于走線換向的布線輪位置,拉開(kāi)了布線輪之間的間距,減少了金剛石線拐彎角度和次數(shù),使金剛石線在走線換向時(shí)不會(huì)發(fā)生扭曲變形,金剛石線運(yùn)行更平穩(wěn)、大大降低了金剛石線斷線概率,從而提高了切割硅片質(zhì)量和切片效率,降低了切割成本。

[0006]圖I是本實(shí)用新型所述管理裝置的平面布置示意圖,圖2是圖I的A向結(jié)構(gòu)布置示意圖。在圖中,I、排線輪2、立式布線輪3、正面布線輪4、張カ輪5、調(diào)節(jié)裝置6、金剛石線7、槽輪8、放線輪9、收線輪10、壁板11、臥式布線輪。
具體實(shí)施方式
在圖I和圖2中,金剛石線多線切割機(jī)線管理裝置包括放線輪8、收線輪9和過(guò)線輪,本實(shí)施例所述過(guò)線輪為十七只, 所述過(guò)線輪包括兩只排線輪I、布線輪和兩只張カ輪4 (在其它實(shí)施例中,當(dāng)過(guò)線輪減少時(shí),其中排線輪和張カ輪數(shù)量不變,布線輪相應(yīng)減少),所述張カ輪上設(shè)置有可使金剛石線線弓大小調(diào)節(jié)的調(diào)節(jié)裝置5,所述布線輪包括五只立式布線輪2、六只正面布線輪3和ニ只臥式布線輪11,其中四只立式布線輪分成三組、其中兩組每組為兩只、ー組ー只,一組兩只上下對(duì)稱設(shè)置在放線輪ー側(cè),另ー組兩只上下對(duì)稱設(shè)置在收線輪ー側(cè)。所述立式布線輪是指輪子的軸中心線左右呈水平設(shè)置且側(cè)面為正面(主視面),所述正面布線輪是指輪子軸中心線里外呈水平設(shè)置且正面為圓面;所述臥式布線輪是指輪子軸中心線上下呈垂直設(shè)置且正面為側(cè)面;在立式布線輪與放線輪和收線輪之間分別設(shè)置有排線輪I,一組立式布線輪用于放線,另ー組立式布線輪用于收線,所述排線輪、放線輪和收線輪正面設(shè)置(是指輪子軸中心線里外呈水平設(shè)置且正面為圓面)在壁板10上并由伺服電機(jī)和傳動(dòng)裝置(圖中未畫出)驅(qū)動(dòng),所述伺服電機(jī)和傳動(dòng)裝置垂直設(shè)置在底座上,所述金剛石線6從放線輪8輸出,經(jīng)ー只排線輪I和一組兩只立式布線輪2繞兩只正面布線輪和張力輪旋轉(zhuǎn),張カ輪位于正面布線輪之間,再經(jīng)相嚙合一只臥式布線輪11和一只立式布線輪2換向后,在該臥式布線輪與其中一只正面布線輪之間金剛石線呈水平運(yùn)行放線,金剛石線再呈垂直繞ー只位于立式布線輪下方的正面布線輪放線進(jìn)入槽輪7并繞槽輪旋轉(zhuǎn)進(jìn)行硅棒切片;圖中所標(biāo)箭頭表示金剛石線運(yùn)行方向,所述金剛石線開(kāi)始從槽輪出來(lái),經(jīng)一只正面布線輪和臥式布線輪11換向后,繞張カ輪和兩只正面布線輪,在該臥式布線輪11與正面布線輪之間金剛石線呈水平運(yùn)行收線,再繞另ー組立式布線輪和排線輪最后進(jìn)入收線輪9收線,放線輪8、收線輪9和布線輪、張カ輪、調(diào)節(jié)裝置和傳動(dòng)裝置共同構(gòu)成金剛石線布線管理區(qū)。
權(quán)利要求1.金剛石線多線切割機(jī)線管理裝置,它包括放線輪(8)、收線輪(9)和過(guò)線輪,其特征是所述過(guò)線輪不超過(guò)十七只,所述過(guò)線輪包括兩只排線輪(I)、布線輪和兩只張力輪(4),所述張力輪上設(shè)置有金剛石線線弓大小可調(diào)節(jié)的調(diào)節(jié)裝置(5),所述布線輪包括立式布線輪(2)、正面布線輪(3)和臥式布線輪(11),所述排線輪、張力輪、放線輪和收線輪正面設(shè)置,所述立式布線輪分成三組,其中兩組每組兩只、一組一只,一組兩只上下對(duì)稱設(shè)置在放線輪一側(cè)、另一組兩只上下對(duì)稱設(shè)置在收線輪一側(cè),在立式布線輪與放線輪和收線輪之間分別設(shè)置有排線輪,所述金剛石線(6)從放線輪輸出,經(jīng)排線輪和一組兩只立式布線輪后,繞正面布線輪和張力輪,再經(jīng)一只立式布線輪和臥式布線輪以及正面布線輪進(jìn)入槽輪(7)旋轉(zhuǎn);所述金剛石線從槽輪出來(lái),經(jīng)正面布線輪和臥式布線輪,繞張力輪和正面布線輪后,再繞另一組兩只立式布線輪和排線輪進(jìn)入收線輪。
專利摘要本實(shí)用新型公開(kāi)了金剛石線多線切割機(jī)線管理裝置,它包括放線輪(8)、收線輪(9)和過(guò)線輪,所述過(guò)線輪不超過(guò)十七只,過(guò)線輪包括兩只排線輪(1)、布線輪和兩只張力輪(4),張力輪上設(shè)置有金剛石線線弓大小可調(diào)節(jié)的調(diào)節(jié)裝置(5),所述布線輪包括立式布線輪(2)、正面布線輪(3)和臥式布線輪(11),立式布線輪分成三組,其中兩組每組兩只、一組一只,一組上下對(duì)稱設(shè)置在放線輪一側(cè),另一組上下對(duì)稱設(shè)置在收線輪一側(cè),在立式布線輪與放線輪和收線輪之間分別設(shè)置有排線輪,本實(shí)用新型減少了金剛石線拐彎角度,使金剛石線在走線換向時(shí)不會(huì)發(fā)生扭曲變形,金剛石線運(yùn)行更平穩(wěn)、降低了金剛石線斷線概率,提高了切割硅片質(zhì)量和切片效率,降低了切割成本。
文檔編號(hào)B28D7/00GK202572672SQ20122019802
公開(kāi)日2012年12月5日 申請(qǐng)日期2012年5月6日 優(yōu)先權(quán)日2012年5月6日
發(fā)明者于景, 陳雷, 李畢武, 曾榮, 陳杰 申請(qǐng)人:江西金葵能源科技有限公司
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