專利名稱：一種集成式特氣房的制作方法
技術領域：
本實用新型涉及特種氣體系統工程設備技術領域，特別涉及一種集成式特氣房。
背景技術：
特種氣體(以下簡稱特氣)是指用于各種電子產品生產的薄膜氣體、摻雜氣體、夕卜延氣體、離子注入氣體、刻蝕氣體以及工藝設備所使用的氣體，大部分的特氣泄漏后會對人員的生命健康造成威脅，也對環境造成污染，因此在實際生產中需要對特氣設置單獨的儲存空間，便于對其進行較為妥善的保存。現有技術中，通常根據生產廠房所使用的特氣的種類以及使用量決定是單獨的區域建造獨立的特氣間還是在生產廠房內布置特氣間。布置在生產廠房內的特氣間，一般采用氣瓶柜、氣瓶架和氣瓶集裝格等部件向生產線供應特種氣體，而當生產廠房內的氣體儲 量超過規定容量時，必須設計獨立的特種氣體房，一般采用氣瓶集裝格、臥式氣瓶、槽車、長管拖車等向生產線供應特種氣體。根據特種氣體的性質一般又需要分為可燃性氣體間、毒性/腐蝕性氣體間和惰性氣體間等。綜上可知，不論是在生產廠房內布置特氣間還是在單獨的區域建造獨立的特氣房，均為土建結構。而且建設完成后，操作人員需要在建設好的特氣房內對氣體控制柜、氣體監控裝置以及配套管路進行布置，即需要操作人員在施工現場進行工作，不利于對特氣房的集中生產。此外，由于土建結構的特氣間或特氣房的建設周期長，建造成本高，工程量大，且特氣房內各種氣體供應系統的安裝調試受用戶水、電、氣等配套條件的影響，不可避免的會對用戶的生產建設周期造成影響。因此，如何提供一種特氣房，以便集中生產同時降低建設周期，是本領域技術人員目前需要解決的技術問題。

實用新型內容本實用新型的目的是提供一種特氣房，以便集中生產同時降低建設周期。為解決上述技術問題，本實用新型提供如下技術方案—種集成式特氣房，包括特氣房主體和設置在所述特氣房主體內的氣體控制柜、氣體監控裝置以及配套管道系統，其中，所述特氣房主體為具有上蓋和下底且能夠被運輸的箱子。優選地，上述的集成式特氣房中，所述特氣房主體為金屬板構成的箱子。優選地，上述的集成式特氣房中，所述特氣房主體為集裝箱。優選地，上述的集成式特氣房中，還包括EHS安全系統。優選地，上述的集成式特氣房中，所述特氣房主體的下底板上鋪設有防靜電耐磨PVC地板。優選地，上述的集成式特氣房中，所述特氣房主體的側壁均鋪設有防火板。優選地，上述的集成式特氣房中，所述特氣房主體的側壁設置有門。優選地，上述的集成式特氣房中，所述門為推拉式伸縮門或快推式防火門。[0015]從上述的技術方案可以看出，本實用新型提供了一種集成式特氣房，包括特氣房主體和設置在特氣房主體內的氣體控制柜、氣體監控裝置以及配套管道系統，其中，特氣房主體為具有上蓋和下底且能夠被運輸的箱子。通過將特氣房主體設置為能夠被運輸的箱子的形式，使得特氣房主體內部的設備、裝置和管閥等的安裝和調試工作均可在制造工廠內完成。使用時，只需要將其運輸到用戶現場，通過管道的連通即可實現特種氣體的供應。通過上述描述可知，該集成式特氣房可集中進行建設，因此，與土建房相比建造成本低，生產周期短。

圖I為本實用新型實施例提供的集成式特氣房的結構示意圖。
具體實施方式
本實用新型核心是提供一種集成式特氣房，以便集中生產同時降低建設周期。為了使本技術領域的人員更好地理解本實用新型方案，
以下結合附圖和實施方式對本實用新型作進一步的詳細說明。請參考圖1，圖I為本實用新型實施例提供的集成式特氣房的結構示意圖。本實用新型實施例公開的集成式特氣房，包括特氣房主體I和設置在該特氣房主體I內的氣體控制柜、氣體監控裝置以及配套管道系統，其中，特氣房主體I為具有上蓋和下底且能夠被運輸的箱子。通過將特氣房主體I設置為能夠被運輸的箱子的形式，使得特氣房主體I內部的設備、裝置和管閥等的安裝和調試工作均可在制造工廠內完成，使用時，只需要將其運輸到用戶現場，通過管道的連通即可實現特種氣體的供應。通過上述描述可知，該集成式特氣房可集中進行建設，因此，與土建房相比建造成本低，生產周期短。實際生產中，可根據設置的特種氣體的種類和數量將該特氣房主體I內部設置為多個小模塊，即將該集成式特氣房內部隔成多個小空間，以便對多種氣體同時存放，還可將操作空間隔離出來，以保證操作人員的安全。具體的包括多個氣瓶間3、氣柜操作間4和配電間5，通過隔斷的設計使各個區域模塊化，便于管理；也可將多個特氣房主體I組成整套特氣系統，以便存放較大的特氣鋼瓶，同時，還可將氣柜操作間4，配電間5集中放置，便于管理。在具體實施例中，由于金屬板的機械強度大，生產成本低，可以將特氣房主體I設置為由金屬板構成的箱子。本領域技術人員還可以將其設置為金屬復合板，由于金屬復合板還具有防腐蝕性和防爆性，因此可進一步保證該特氣房的使用長久性和安全性。在上述方案的技術上，為了進一步節省生產成本，本實施例中將特氣房主體I設置為集裝箱或進行簡單改裝的集裝箱。由于同種型號的集裝箱尺寸相同，因此，便于對同種型號的集裝箱內的設備、裝置和管閥等統一設置，即實現了批量生產，即進一步縮短生產周期。同時在生產過程中使用的集裝箱可以為再次利用的集裝箱，即可進一步節省生產成本。為了進一步保證該集成式特氣房的安全性能，還包括EHS安全系統。EHS (環境Environment、健康Health、安全Safety的縮寫)管理體系是環境管理體系和職業健康管理體系兩體系的整合。[0026]為了進一步優化上述技術方案，本實施例中在特氣房主體I的下底板上鋪設防靜電耐磨PVC地板。PVC地板是指采用聚氯乙烯材料生產的地板，具有安裝施工快捷、維護方便，無毒，無輻射；同時還具有耐磨、耐刮擦，化學性能優良，耐腐蝕性強；表面平整光亮，抗靜電效果持久的特性。因此，進一步延長了該集成式特氣房的使用壽命。優選地，可將特氣房主體I的側壁均鋪設有防火板。具體實施例中，在特氣房主體I的側壁上設置有供人進出和供用于運輸氣瓶的設備進出的門2，優選地，本實施例中提供的門2為推拉式伸縮門或快推式防火門，以方便操作人員進出該特氣房。本實施例中，在特氣房主體I 一邊的側壁上設置了供人員進出的普通式雙開門，在相對邊側壁上開設了供運輸氣瓶的叉車進出的推拉式伸縮門或快推式防火門，本領域技術人員可以理解的是，開設的門2的大小和數量可根據不同的需要進行相應的調整，且均在保護范圍內。本說明書中各個實施例采用遞進的方式描述，每個實施例重點說明的都是與其他 實施例的不同之處，各個實施例之間相同相似部分互相參見即可。對所公開的實施例的上述說明，使本領域專業技術人員能夠實現或使用本實用新型。對這些實施例的多種修改對本領域的專業技術人員來說將是顯而易見的，本文中所定義的一般原理可以在不脫離本實用新型的精神或范圍的情況下，在其它實施例中實現。因此，本實用新型將不會被限制于本文所示的這些實施例，而是要符合與本文所公開的原理和新穎特點相一致的最寬的范圍。
權利要求1.一種集成式特氣房，包括特氣房主體(I)和設置在所述特氣房主體(I)內的氣體控制柜、氣體監控裝置以及配套管道系統，其特征在于，所述特氣房主體(I)為具有上蓋和下底且能夠被運輸的箱子。
2.根據權利要求I所述的集成式特氣房，其特征在于，所述特氣房主體(I)為金屬板構成的箱子。
3.根據權利要求I所述的集成式特氣房，其特征在于，所述特氣房主體(I)為集裝箱。
4.根據權利要求I所述的集成式特氣房，其特征在于，還包括EHS安全系統。
5.根據權利要求1-4任一項所述的集成式特氣房，其特征在于，所述特氣房主體(I)的下底板上鋪設有防靜電耐磨PVC地板。
6.根據權利要求5所述的集成式特氣房，其特征在于，所述特氣房主體(I)的側壁均鋪設有防火板。
7.根據權利要求5所述的集成式特氣房，其特征在于，所述特氣房主體(I)的側壁設置有門(2)。
8.根據權利要求7所述的集成式特氣房，其特征在于，所述門(2)為推拉式伸縮門或快推式防火門。
專利摘要本實用新型公開了一種集成式特氣房，包括特氣房主體和設置在所述特氣房主體內的氣體控制柜、氣體監控裝置以及配套管道系統，其中，所述特氣房主體為具有上蓋和下底且能夠被運輸的箱子。通過將特氣房主體設置為能夠被運輸的箱子的形式，使得特氣房主體內部的設備、裝置和管閥等的安裝和調試工作均可在制造工廠內完成。使用時，只需要將其運輸到用戶現場，通過管道的連通即可實現特種氣體的供應。通過上述描述可知，該集成式特氣房可集中進行建設，因此，與土建房相比建造成本低，生產周期短。
文檔編號E04H7/04GK202658937SQ20122024795
公開日2013年1月9日 申請日期2012年5月29日 優先權日2012年5月29日
發明者連海洲, 吳海華, 薛元 申請人:上海至純潔凈系統科技股份有限公司