專利名稱：一種多線切割的機的制作方法
技術領域：
—種多線切割的機技術領域[0001]本實用新型涉及半導體生產技術領域的設備，具體地說是涉及一種多線切割機。
技術背景[0002]切割半導體晶塊是在多線切割機上進行的，現有技術中的切割機是這樣的它具 有機架，機架上具有固定框，固定框用以固定半導體晶棒，機架上具有線輪，線輪纏繞切割 線，現有技術中固定框是不動的，線輪是移動的，這樣的切割機具有設備復雜的缺點。發明內容[0003]本實用新型的目的就是針對上述缺點，提供一種使用方便、生產效率高、結構簡單 的多線切割機。[0004]本實用新型的技術方案是這樣實現的一種多線切割機，包括機架，機架上具有線 輪和固定框，其特征是所述的線輪固定在機架上，機架的一側還具有橫向伺服電機連接的 橫向連桿，機架的另一側還具有縱向伺服電機連接的縱向連桿，橫向連桿和縱向連桿連接 固定框。[0005]進一步的講，所述的縱向伺服電機和橫向伺服電機連接著控制裝置。[0006]本實用新型的有益效果是這樣的多線切割機具有使用方便、生產效率高、結構簡 單的的優點。


[0007]圖1是本實用新型正面的結構示意圖。[0008]其中1、機架 2、線輪 3、固定框 4、橫向伺服電機 5、橫向連桿。
具體實施方式
[0009]
以下結合附圖對本實用新型作進一步的描述。[0010]如圖1所示，一種多線切割機，包括機架1，機架I上具有線輪2和固定框3，其特 征是所述的線輪2固定在機架I上，機架的一側還具有橫向伺服電機4連接的橫向連桿5， 機架的另一側還具有縱向伺服電機連接的縱向連桿，橫向連桿和縱向連桿連接固定框3。[0011]進一步的講，所述的縱向伺服電機和橫向伺服電機連接著控制裝置。[0012]本實用新型是利用固定框相對運動，切割線固定不動，對晶棒進行切割。具有本實 用新型的優點。
權利要求1.一種多線切割機，包括機架，機架上具有線輪和固定框，其特征是所述的線輪固定在機架上，機架的一側還具有橫向伺服電機連接的橫向連桿，機架的另一側還具有縱向伺服電機連接的縱向連桿，橫向連桿和縱向連桿連接固定框。
2.根據權利要求1所述的多線切割機，其特征是所述的縱向伺服電機和橫向伺服電機連接著控制裝置。
專利摘要本實用新型涉及半導體生產技術領域的設備，是一種多線切割機，包括機架，機架上具有線輪和固定框，所述的線輪固定在機架上，機架的一側還具有橫向伺服電機連接的橫向連桿，機架的另一側還具有縱向伺服電機連接的縱向連桿，橫向連桿和縱向連桿連接固定框，所述的縱向伺服電機和橫向伺服電機連接著控制裝置，這樣的多線切割機具有使用方便、生產效率高、結構簡單的優點。
文檔編號B28D5/04GK202826100SQ20122040657
公開日2013年3月27日 申請日期2012年8月16日 優先權日2012年8月16日
發明者劉寶成 申請人:河南恒昌電子有限公司