一種鉸鏈及應(yīng)用該鉸鏈的腔室的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明提供一種鉸鏈，該鉸鏈包括：鉸鏈座、鉸鏈軸、鉸鏈臂，其特征在于：所述鉸鏈臂的一端通過(guò)所述鉸鏈軸與所述鉸鏈座連接；所述鉸鏈還包括支撐裝置，該支撐裝置設(shè)置于所述鉸鏈臂通過(guò)所述鉸鏈軸與所述鉸鏈座連接的一端的下方，所述支撐裝置包括能夠上下移動(dòng)的支撐件。相應(yīng)地，本發(fā)明還提供一種應(yīng)用該鉸鏈的腔室。本發(fā)明能夠在頂蓋閉合過(guò)程中避免由于頂蓋對(duì)密封圈的過(guò)度擠壓和摩擦而對(duì)密封圈造成的磨損。
【專利說(shuō)明】一種鉸鏈及應(yīng)用該鉸鏈的腔室

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及機(jī)械結(jié)構(gòu)技術(shù)，尤其涉及一種鉸鏈及應(yīng)用該鉸鏈的腔室。

【背景技術(shù)】
[0002]真空腔室常被用于半導(dǎo)體設(shè)備制作領(lǐng)域中，尤其是涉及晶片的傳送和工藝處理的腔室一般都是密封的真空腔室。為了能夠在腔室中進(jìn)行取放晶片、維護(hù)設(shè)備等操作，通常都會(huì)在腔室頂部設(shè)置一個(gè)能夠開(kāi)合的頂蓋，頂蓋與腔室用鉸鏈連接在一起，在兩者之間設(shè)置有密封圈，當(dāng)頂蓋合上時(shí)就壓緊密封圈以保證腔室的密封性。
[0003]圖1為現(xiàn)有的用于開(kāi)合腔室頂蓋的鉸鏈?zhǔn)疽鈭D，圖1中，腔體101和頂蓋104通過(guò)鉸鏈103連接，氣彈簧102可以提供輔助開(kāi)蓋力，圖2為圖1中I部分的局部視圖，圖2中，鉸鏈軸103b能夠在長(zhǎng)圓孔103a中上下活動(dòng)，用以補(bǔ)償密封圈105在抽真空過(guò)程中的壓縮變形，調(diào)節(jié)螺釘103c用來(lái)限制103b的向上活動(dòng)量，保證頂蓋104和密封圈105的接觸。
[0004]該現(xiàn)有的鉸鏈在設(shè)計(jì)上出于省力的目的，開(kāi)蓋力的作用點(diǎn)比頂蓋的重心相對(duì)于鉸鏈更遠(yuǎn)，假設(shè)開(kāi)蓋力為F，方向向上，其相對(duì)于鉸鏈的作用力臂為L(zhǎng)，頂蓋自身重力為g，方向向下，其相對(duì)于鉸鏈的作用力臂為1，為了使得頂蓋能夠閉合，需FL彡gl，由于L > 1，可見(jiàn)頂蓋的受力情況為F < g，這個(gè)差值力f=F-g，方向向下，將由鉸鏈承擔(dān)。如圖1所示，受f下沉力的作用，頂蓋會(huì)將鉸鏈軸103b下壓到長(zhǎng)圓孔103a的底部附近，使得頂蓋和腔室之間容納密封圈的空間很小，尤其是當(dāng)β角很小時(shí)，密封圈105最靠近鉸鏈的部分會(huì)提前接觸到頂蓋，導(dǎo)致在隨后抽真空過(guò)程中，頂蓋對(duì)密封圈形成過(guò)度的擠壓和摩擦，造成密封圈的磨損。現(xiàn)有的鉸鏈?zhǔn)沟庙斏w每一次開(kāi)合都會(huì)對(duì)密封圈造成磨損，縮短的密封圈的工作壽命，同時(shí)磨損產(chǎn)生的顆粒還會(huì)污染真空腔室的清潔。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0005]有鑒于此，本發(fā)明提供一種鉸鏈及應(yīng)用該鉸鏈的腔室，用以避免腔室頂蓋閉合過(guò)程中對(duì)密封圈過(guò)度擠壓和摩擦而造成的密封圈磨損。
[0006]為實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供了一種鉸鏈，包括:
[0007]鉸鏈座、鉸鏈軸、鉸鏈臂，
[0008]所述鉸鏈臂的一端通過(guò)所述鉸鏈軸與所述鉸鏈座連接；
[0009]所述鉸鏈還包括支撐裝置，該支撐裝置設(shè)置于所述鉸鏈臂通過(guò)所述鉸鏈軸與所述鉸鏈座連接的一端的下方，所述支撐裝置包括能夠上下移動(dòng)的支撐件。
[0010]優(yōu)選地，所述鉸鏈臂通過(guò)所述鉸鏈軸與所述鉸鏈座連接的一端的外表面為圓柱面，所述支撐件的頂端與所述圓柱面接觸。
[0011 ] 優(yōu)選地，所述支撐件包括滑動(dòng)件和導(dǎo)向軸，所述滑動(dòng)件與所述圓柱面接觸，所述滑動(dòng)件可上下滑動(dòng)地設(shè)置在所述導(dǎo)向軸上。
[0012]優(yōu)選地，所述支撐裝置還包括設(shè)置在所述滑動(dòng)件下方的彈性件，所述彈性件用于支撐所述滑動(dòng)件。
[0013]優(yōu)選地，所述滑動(dòng)件包括滑動(dòng)架、滾輪和輪軸，所述滾輪與所述圓柱面接觸并通過(guò)所述輪軸固定在所述滑動(dòng)架上，所述滑動(dòng)架可沿所述導(dǎo)向軸上下滑動(dòng)。
[0014]優(yōu)選地，所述導(dǎo)向軸頂部設(shè)置有軸肩以防止所述滑動(dòng)架滑脫。
[0015]優(yōu)選地，所述滑動(dòng)件還包括:軸承，所述軸承設(shè)置于所述滑動(dòng)架與所述導(dǎo)向軸之間，用于減少所述滑動(dòng)架與所述導(dǎo)向軸之間的摩擦。
[0016]優(yōu)選地，所述鉸鏈臂上設(shè)置有第一安裝孔，所述鉸鏈座上設(shè)置有第二安裝孔，所述鉸鏈軸穿過(guò)所述第一安裝孔和所述第二安裝孔將所述鉸鏈臂與所述鉸鏈座連接。
[0017]優(yōu)選地，所述第一安裝孔為長(zhǎng)圓孔，所述鉸鏈軸能夠在所述第一安裝孔內(nèi)相對(duì)于所述鉸鏈臂移動(dòng)。
[0018]優(yōu)選地，所述第二安裝孔為長(zhǎng)圓孔，所述鉸鏈軸能夠在所述第二安裝孔內(nèi)相對(duì)于所述鉸鏈座移動(dòng)。
[0019]優(yōu)選地，其特征在于，所述鉸鏈軸的外表面設(shè)置有減磨軸套，用于減少所述鉸鏈軸與所述鉸鏈臂之間的摩擦。
[0020]優(yōu)選地，其特征在于，所述鉸鏈還包括柱塞，所述鉸鏈臂上設(shè)置有鎖定孔，所述柱塞固定在所述鉸鏈座上，所述柱塞的柱塞桿能夠插入所述鎖定孔中，以使得所述頂蓋處于打開(kāi)位置。
[0021]優(yōu)選地，當(dāng)所述頂蓋處于所述打開(kāi)位置時(shí)，所述頂蓋的打開(kāi)角在60°至75°之間。
[0022]相應(yīng)地，本發(fā)明還提供了一種腔室，該腔室包括腔體、頂蓋、密封圈和鉸鏈，所述密封圈設(shè)置在所述腔體的上端面，所述鉸鏈為上述本發(fā)明所提供的鉸鏈，所述鉸鏈座固定在所述腔體上，所述鉸鏈臂與所述頂蓋相連，且鉸鏈的支撐間隙大于所述密封圈在未被壓縮時(shí)的高度，所述支撐間隙為:所述頂蓋閉合后且所述腔體內(nèi)未抽真空時(shí)，所述頂蓋在所述支撐裝置的支撐下與所述密封圈之間的間隙。
[0023]優(yōu)選地，所述鉸鏈軸能夠在所述第一安裝孔內(nèi)相對(duì)于所述鉸鏈臂移動(dòng)的距離大于所述鉸鏈的支撐間隙。
[0024]優(yōu)選地，所述鉸鏈軸能夠在所述第二安裝孔內(nèi)相對(duì)于所述鉸鏈座移動(dòng)的距離大于所述鉸鏈的支撐間隙。
[0025]優(yōu)選地，所述鉸鏈的鉸鏈臂通過(guò)緊固件在腔室頂蓋上進(jìn)行固定。
[0026]可見(jiàn)，本發(fā)明能夠通過(guò)設(shè)置于鉸鏈臂下方的支撐裝置，在頂蓋閉合時(shí)向鉸鏈臂提供支撐力，從而避免了閉合過(guò)程中由于頂蓋對(duì)密封圈的過(guò)度擠壓和摩擦而對(duì)密封圈造成的磨損。

【專利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0027]附圖是用來(lái)提供對(duì)本發(fā)明的進(jìn)一步理解，并且構(gòu)成說(shuō)明書(shū)的一部分，與下面的【具體實(shí)施方式】一起用于解釋本發(fā)明，但并不構(gòu)成對(duì)本發(fā)明的限制。在附圖中:
[0028]圖1為現(xiàn)有的用于開(kāi)合腔室頂蓋的鉸鏈結(jié)構(gòu)示意圖；
[0029]圖2為圖1中I部分的局部視圖；
[0030]圖3為本發(fā)明實(shí)施例所提供的鉸鏈結(jié)構(gòu)示例圖；
[0031]圖4為本發(fā)明實(shí)施例所提供的鉸鏈的內(nèi)部結(jié)構(gòu)示例圖；
[0032]圖5為本發(fā)明實(shí)施例所提供的鉸鏈鎖定位置示例圖；
[0033]圖6為本發(fā)明實(shí)施例所提供的鉸鏈的另一結(jié)構(gòu)示例圖。
[0034]附圖標(biāo)記說(shuō)明
[0035]101-腔體；102-氣彈簧；103-鉸鏈；104-頂蓋；105-密封圈；103a-長(zhǎng)圓孔；103b-鉸鏈軸；103c-調(diào)節(jié)螺釘；201-鉸鏈座；201a-第一安裝孔；202_鉸鏈軸；203_柱塞；204_鉸鏈臂；204a-第二安裝孔；204b_圓柱面；204c_鎖定孔；205_減磨軸套；206_支撐裝置；206a-滑動(dòng)架；206b-軸承；206c_彈簧；206d_導(dǎo)向軸；206e_螺釘；206f-滾輪；206g-輪軸；213-螺釘；221_頂蓋；222_腔體;223_密封圈。

【具體實(shí)施方式】
[0036]以下結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明的【具體實(shí)施方式】進(jìn)行詳細(xì)說(shuō)明。應(yīng)當(dāng)理解的是，此處所描述的【具體實(shí)施方式】?jī)H用于說(shuō)明和解釋本發(fā)明，并不用于限制本發(fā)明。
[0037]作為本發(fā)明的一個(gè)方面，提供一種鉸鏈，如圖3至圖6所示，該鉸鏈可以包括:鉸鏈座201、鉸鏈軸202、鉸鏈臂204和支撐裝置206。
[0038]如圖3所示，鉸鏈座201能夠固定于腔室上，鉸鏈臂204的一端能夠固定于頂蓋上，另一端則可以通過(guò)鉸鏈軸202與鉸鏈座201連接，支撐裝置206可以設(shè)置在鉸鏈臂204通過(guò)鉸鏈軸202與鉸鏈座201連接的一端的下方，支撐裝置206中可以包括可上下移動(dòng)的支撐件，該支撐件可在頂蓋閉合時(shí)為鉸鏈臂204提供支撐力。
[0039]具體地，支撐裝置206中的支撐件可以隨著鉸鏈臂204的轉(zhuǎn)動(dòng)而上下移動(dòng)，并為鉸鏈臂204提供支撐力，從而相應(yīng)地對(duì)頂蓋形成支撐作用，使得在頂蓋閉合后尚未抽真空時(shí)，頂蓋不會(huì)因其重力而過(guò)度下壓。
[0040]支撐件可以固定在鉸鏈座201上，也可以固定在腔室上。支撐件可以與鉸鏈臂204上和鉸鏈座201連接的一端相接觸，并通過(guò)該接觸點(diǎn)向鉸鏈臂204提供支撐力。需要說(shuō)明的是，支撐件和鉸鏈臂204無(wú)固定的連接關(guān)系，兩者相互獨(dú)立。
[0041]更進(jìn)一步地，鉸鏈臂204通過(guò)鉸鏈軸202與鉸鏈座201連接的一端的外表面可以為圓柱面，且支撐件的頂端與該圓柱面接觸。采用圓柱面的結(jié)構(gòu)可以使得鉸鏈臂204在轉(zhuǎn)動(dòng)過(guò)程中能與支撐件保持平穩(wěn)的接觸，且支撐件能穩(wěn)定地隨著鉸鏈臂204的轉(zhuǎn)動(dòng)而上下移動(dòng)。
[0042]更進(jìn)一步地，支撐件可以包括滑動(dòng)件和導(dǎo)向軸，滑動(dòng)件設(shè)置在導(dǎo)向軸上并可沿導(dǎo)向軸上下滑動(dòng)，同時(shí)，滑動(dòng)件與上述圓柱面接觸，彈性件設(shè)置在滑動(dòng)件的下方，用于為滑動(dòng)件提供支撐力。
[0043]圖4為本發(fā)明實(shí)施例所提供的鉸鏈的內(nèi)部結(jié)構(gòu)示例圖。
[0044]如圖4所示，滑動(dòng)件可以包括:滑動(dòng)架206a、滾輪206f和輪軸206g ;支撐件可以包括滑動(dòng)件和導(dǎo)向軸206d。具體地，滾輪206f可以通過(guò)輪軸206g安裝在滑動(dòng)架206a上，滑動(dòng)架206a設(shè)置在導(dǎo)向軸206d上并可沿導(dǎo)向軸206d上下滑動(dòng)。
[0045]更進(jìn)一步地，支撐裝置還可以包括設(shè)置在滑動(dòng)件下方的彈性件，該彈性件可以包括彈簧206c，用于對(duì)滑動(dòng)件進(jìn)行支撐。彈簧206c可以套在導(dǎo)向軸206d上并設(shè)置在滑動(dòng)架206a和鉸鏈座201之間，導(dǎo)向軸206d可以通過(guò)螺釘206e固定在鉸鏈座201上。需要說(shuō)明的是，彈性件除使用彈簧外，還可以采用彈性橡膠材料等制成。
[0046]在圖4所示實(shí)施例中，鉸鏈臂204與鉸鏈座201連接的一端的外表面可以為圓柱面204b，滾輪206f可以和該圓柱面204b滾動(dòng)接觸，使得在頂蓋的開(kāi)合過(guò)程中，滑動(dòng)件可以隨著鉸鏈臂204的轉(zhuǎn)動(dòng)而平穩(wěn)地上下移動(dòng)，并通過(guò)彈性件提供相應(yīng)的支撐力。
[0047]更進(jìn)一步地，如圖4所示，還可以在導(dǎo)向軸206d的頂部設(shè)置軸肩以防止滑動(dòng)架206a滑脫。滑動(dòng)件還可以包括軸承206b，軸承206b可用樹(shù)脂材料制成，設(shè)置于滑動(dòng)架206a與導(dǎo)向軸206d之間，用于減少滑動(dòng)架206a與導(dǎo)向軸206d之間的摩擦。
[0048]更進(jìn)一步地，如圖4所示，鉸鏈軸202的外表面還可以設(shè)置有減磨軸套205，該減磨軸套205可以采用聚四氟乙烯、聚甲醛等具有自潤(rùn)滑性的工程塑料制成，用于減少鉸鏈臂204和鉸鏈軸202之間的摩擦，同時(shí)可起到緩沖作用。
[0049]更進(jìn)一步地，如圖3所示，本發(fā)明所提供的用于開(kāi)合腔室的頂蓋的鉸鏈還可以包括柱塞203，同時(shí)，如圖4所示，鉸鏈臂204上還設(shè)置有鎖定孔204c。柱塞203固定在鉸鏈座201上，柱塞203的柱塞桿能夠插入鎖定孔204c中，以將頂蓋221鎖定在打開(kāi)位置。在頂蓋閉合時(shí)和打開(kāi)時(shí)，柱塞203和鎖定孔204c的位置對(duì)應(yīng)關(guān)系分別為如圖4和圖5所示，圖5中，可將柱塞203的柱塞桿插入鎖定孔204c中以鎖定頂蓋221的打開(kāi)位置，α為頂蓋的打開(kāi)角，即:將頂蓋鎖定在打開(kāi)位置時(shí)，頂蓋與水平面之間的夾角。打開(kāi)角α的大小由柱塞203和鎖定孔204c的位置關(guān)系決定，優(yōu)選地，可以設(shè)定α的大小在60°至75°之間。
[0050]更進(jìn)一步地，本發(fā)明所提供的鉸鏈中，鉸鏈臂上可以設(shè)置有第一安裝孔，鉸鏈座上設(shè)置有第二安裝孔，鉸鏈軸穿過(guò)該第一安裝孔和該第二安裝孔將鉸鏈臂與鉸鏈座連接。
[0051]為補(bǔ)償頂蓋閉合后密封圈在抽真空過(guò)程中的壓縮變形量，需在上述第一安裝孔或第二安裝孔中設(shè)定能夠使鉸鏈軸進(jìn)行相對(duì)移動(dòng)的可移動(dòng)量。具體地，可以如圖4或圖5所示，設(shè)定鉸鏈臂204上的第一安裝孔204a為長(zhǎng)圓孔，該長(zhǎng)圓孔的長(zhǎng)度方向的兩端內(nèi)表面為圓柱面，寬度方向的兩端的內(nèi)表面為平面，鉸鏈軸202能夠在沿該長(zhǎng)圓孔的長(zhǎng)度方向相對(duì)于鉸鏈臂204移動(dòng)，當(dāng)頂蓋221閉合時(shí)，該長(zhǎng)圓孔的長(zhǎng)度方向?yàn)樨Q直方向；或者，也可以采用圖6所示結(jié)構(gòu)，圖6中，設(shè)定鉸鏈座201上的第二安裝孔201a為長(zhǎng)圓孔，L為該長(zhǎng)圓孔的長(zhǎng)度，鉸鏈軸202能夠沿該長(zhǎng)圓孔的長(zhǎng)度方向相對(duì)于鉸鏈座201移動(dòng)，當(dāng)頂蓋221閉合時(shí)，該長(zhǎng)圓孔的長(zhǎng)度方向?yàn)樨Q直方向。
[0052]需要說(shuō)明的是，采用圖4或圖5所示結(jié)構(gòu)時(shí)，鉸鏈軸202在第一安裝孔204a中的可移動(dòng)空間位于第一安裝孔204a中的下部，即頂蓋221閉合后腔體222內(nèi)抽真空時(shí)，鉸鏈軸202在第一安裝孔204a中向下移動(dòng)來(lái)補(bǔ)償密封圈的變形；采用圖6所示結(jié)構(gòu)時(shí)，鉸鏈軸202在第二安裝孔201a中的可移動(dòng)空間位于第二安裝孔201a中的上部，即頂蓋221閉合后抽真空時(shí)，鉸鏈軸202在第二安裝孔201a中向下移動(dòng)來(lái)補(bǔ)償密封圈的變形。
[0053]作為本發(fā)明的另一個(gè)方面，還提供一種腔室，該腔室包括腔體、頂蓋、密封圈和鉸鏈，其中，鉸鏈為上述本發(fā)明所提供的用于開(kāi)合腔室的頂蓋的鉸鏈，該鉸鏈的鉸鏈座固定在腔室的腔體上，鉸鏈臂與頂蓋相連，并且，鉸鏈的支撐間隙大于腔室的密封圈在未被壓縮時(shí)的高度。
[0054]鉸鏈的支撐間隙即指，頂蓋閉合后且腔體內(nèi)尚未抽真空時(shí)，頂蓋與腔體之間的間隙。如圖4所示，頂蓋221閉合后且腔體222內(nèi)尚未抽真空時(shí)，頂蓋221與密封圈223之間的間隙e即為圖4所示實(shí)施例中的鉸鏈支撐間隙。由于頂蓋在閉合后，鉸鏈的支撐裝置會(huì)對(duì)鉸鏈臂提供支撐力，從而相應(yīng)地對(duì)頂蓋形成支撐作用，因此，鉸鏈的支撐間隙受鉸鏈的支撐裝置所提供的支撐力影響。為了避免密封圈被磨損，需要使得鉸鏈的支撐間隙大于密封圈未被壓縮時(shí)的高度，具體地，可以根據(jù)需要設(shè)定鉸鏈支撐裝置中彈性件的彈性系數(shù)，以在頂蓋閉合后尚未抽真空時(shí)獲得相應(yīng)的支撐力。由于支撐間隙的設(shè)置不同，以及零件加工精度、機(jī)構(gòu)配合精度的影響，本發(fā)明提供的鉸鏈在實(shí)際應(yīng)用中可能出現(xiàn)下述三種情況:
[0055]1、頂蓋閉合后剛好與密封圈接觸。
[0056]2、頂蓋閉合后輕微壓縮密封圈。輕微壓縮是指頂蓋對(duì)密封圈的壓縮量不大于密封圈高度的20%，由于密封圈通常具有較好的彈性，因此這樣的輕微壓縮不會(huì)對(duì)密封圈產(chǎn)生磨損。
[0057]3、頂蓋閉合與密封圈之間有微小間隙。微小間隙是指頂蓋與密封圈之間的間隙小于1_，這樣的微小間隙仍能保證抽真空時(shí)腔室內(nèi)外存在氣壓差，由于頂蓋面積通常較大，因此氣壓差對(duì)頂蓋的作用能夠確保頂蓋下壓完成密封。
[0058]上述三種情況均為本發(fā)明在工作中的正常狀態(tài)。根據(jù)實(shí)際使用經(jīng)驗(yàn)，為了達(dá)到更好的效果，可以使得鉸鏈的支撐間隙比密封圈未被壓縮時(shí)的高度大0.5?1_。
[0059]更進(jìn)一步地，當(dāng)本發(fā)明所提供腔室中鉸鏈的鉸鏈臂上的第一安裝孔為長(zhǎng)圓孔時(shí)，鉸鏈軸能夠在第二安裝孔內(nèi)相對(duì)于鉸鏈座移動(dòng)的距離可以大于鉸鏈的支撐間隙，即第一安裝孔的長(zhǎng)度與鉸鏈軸直徑的差值大于上述鉸鏈的支撐間隙。第一安裝孔的長(zhǎng)度與鉸鏈軸直徑的差值即為鉸鏈軸在第一安裝孔中的可移動(dòng)量，如圖4所示，d即為圖4所示實(shí)施例中的鉸鏈軸在第一安裝孔中的可移動(dòng)量。相應(yīng)地，當(dāng)本發(fā)明所提供腔室中鉸鏈的鉸鏈臂上的第二安裝孔為長(zhǎng)圓孔時(shí)，鉸鏈軸能夠在第二安裝孔內(nèi)相對(duì)于鉸鏈座移動(dòng)的距離可以大于鉸鏈的支撐間隙，即第二安裝孔的長(zhǎng)度與鉸鏈軸直徑的差值大于上述鉸鏈的支撐間隙。第二安裝孔的長(zhǎng)度與鉸鏈軸直徑的差值即為鉸鏈軸在第一安裝孔中的可移動(dòng)量，如圖6所示實(shí)施例，L為第二安裝孔的長(zhǎng)度，L與鉸鏈軸202的直徑的差值即為鉸鏈軸202在第二安裝孔的可移動(dòng)量。在實(shí)際使用中，為了達(dá)到更好的效果，可以使得鉸鏈軸在第一安裝孔或第二安裝孔中的可移動(dòng)量比鉸鏈的支撐間隙大2?3mm。
[0060]更進(jìn)一步地，在本發(fā)明所提供的腔室中，鉸鏈的鉸鏈臂可以通過(guò)緊固件在腔室頂蓋上進(jìn)行固定。具體可以如圖4或圖5中所示，采用螺釘213進(jìn)行固定。此外，也可以采用螺栓螺母，或者可以通過(guò)焊接的方式進(jìn)行固定。
[0061]通過(guò)上述對(duì)本發(fā)明所提供的用于開(kāi)合腔室的頂蓋的鉸鏈及應(yīng)用該鉸鏈的腔室的描述，可以看出，本發(fā)明通過(guò)設(shè)置于鉸鏈臂下方的支撐裝置，能夠在頂蓋閉合時(shí)向鉸鏈臂提供支撐力，使得頂蓋閉合尚未抽真空時(shí)，頂蓋與腔室的腔體間有足夠的空間容納密封圈，避免了因?qū)γ芊馊^(guò)度擠壓和摩擦而造成的磨損，從而進(jìn)一步避免了因密封圈磨損造成的密封圈工作壽命縮短和對(duì)腔室清潔的污染。
[0062]可以理解的是，以上實(shí)施方式僅僅是為了說(shuō)明本發(fā)明的原理而采用的示例性實(shí)施方式，然而本發(fā)明并不局限于此。對(duì)于本領(lǐng)域內(nèi)的普通技術(shù)人員而言，在不脫離本發(fā)明的精神和實(shí)質(zhì)的情況下，可以做出各種變型和改進(jìn)，這些變型和改進(jìn)也視為本發(fā)明的保護(hù)范圍。
【權(quán)利要求】
1.一種鉸鏈，所述鉸鏈包括:鉸鏈座、鉸鏈軸、鉸鏈臂，其特征在于: 所述鉸鏈臂的一端通過(guò)所述鉸鏈軸與所述鉸鏈座連接； 所述鉸鏈還包括支撐裝置，該支撐裝置設(shè)置于所述鉸鏈臂通過(guò)所述鉸鏈軸與所述鉸鏈座連接的一端的下方，所述支撐裝置包括能夠上下移動(dòng)的支撐件。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的鉸鏈，其特征在于，所述鉸鏈臂通過(guò)所述鉸鏈軸與所述鉸鏈座連接的一端的外表面為圓柱面，所述支撐件的頂端與所述圓柱面接觸。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的鉸鏈，其特征在于，所述支撐件包括滑動(dòng)件和導(dǎo)向軸，所述滑動(dòng)件與所述圓柱面接觸，所述滑動(dòng)件可上下滑動(dòng)地設(shè)置在所述導(dǎo)向軸上。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的鉸鏈，其特征在于，所述支撐裝置還包括設(shè)置在所述滑動(dòng)件下方的彈性件，所述彈性件用于支撐所述滑動(dòng)件。
5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的鉸鏈，其特征在于，所述滑動(dòng)件包括滑動(dòng)架、滾輪和輪軸，所述滾輪與所述圓柱面接觸并通過(guò)所述輪軸固定在所述滑動(dòng)架上，所述滑動(dòng)架可沿所述導(dǎo)向軸上下滑動(dòng)。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的鉸鏈，其特征在于，所述導(dǎo)向軸頂部設(shè)置有軸肩以防止所述滑動(dòng)架滑脫。
7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的鉸鏈，其特征在于，所述滑動(dòng)件還包括:軸承，所述軸承設(shè)置于所述滑動(dòng)架與所述導(dǎo)向軸之間，用于減少所述滑動(dòng)架與所述導(dǎo)向軸之間的摩擦。
8.根據(jù)權(quán)利要求1至7中任意一項(xiàng)所述的鉸鏈，其特征在于，所述鉸鏈臂上設(shè)置有第一安裝孔，所述鉸鏈座上設(shè)置有第二安裝孔，所述鉸鏈軸穿過(guò)所述第一安裝孔和所述第二安裝孔將所述鉸鏈臂與所述鉸鏈座連接。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的鉸鏈，其特征在于，所述第一安裝孔為長(zhǎng)圓孔，所述鉸鏈軸能夠在所述第一安裝孔內(nèi)相對(duì)于所述鉸鏈臂移動(dòng)。
10.根據(jù)權(quán)利要求8所述的鉸鏈，其特征在于，所述第二安裝孔為長(zhǎng)圓孔，所述鉸鏈軸能夠在所述第二安裝孔內(nèi)相對(duì)于所述鉸鏈座移動(dòng)。
11.根據(jù)權(quán)利要求1至7中任意一項(xiàng)所述的鉸鏈，其特征在于，所述鉸鏈軸的外表面設(shè)置有減磨軸套，用于減少所述鉸鏈軸與所述鉸鏈臂之間的摩擦。
12.根據(jù)權(quán)利要求1至7中任意一項(xiàng)所述的鉸鏈，其特征在于，所述鉸鏈還包括柱塞，所述鉸鏈臂上設(shè)置有鎖定孔，所述柱塞固定在所述鉸鏈座上，所述柱塞的柱塞桿能夠插入所述鎖定孔中，以使得所述頂蓋處于打開(kāi)位置。
13.根據(jù)權(quán)利要求12所述的鉸鏈，其特征在于，當(dāng)所述頂蓋處于所述打開(kāi)位置時(shí)，所述頂蓋的打開(kāi)角在60°至75°之間。
14.一種腔室，該腔室包括腔體、頂蓋、密封圈和鉸鏈，其特征在于，所述鉸鏈為權(quán)利要求I至13中任意一項(xiàng)所述的鉸鏈，所述密封圈設(shè)置在所述腔體的上端面，所述鉸鏈座固定在所述腔體上，所述鉸鏈臂與所述頂蓋相連，且鉸鏈的支撐間隙大于所述密封圈在未被壓縮時(shí)的高度，所述支撐間隙為:所述頂蓋閉合后且所述腔體內(nèi)未抽真空時(shí)，所述頂蓋在所述支撐裝置的支撐下與所述密封圈之間的間隙。
15.根據(jù)權(quán)利要求14所述的腔室，其特征在于，所述鉸鏈為權(quán)利要求9所述的鉸鏈，且所述鉸鏈軸能夠在所述第一安裝孔內(nèi)相對(duì)于所述鉸鏈臂移動(dòng)的距離大于所述鉸鏈的支撐間隙。
16.根據(jù)權(quán)利要求14所述的腔室，其特征在于，所述鉸鏈為權(quán)利要求11所述的鉸鏈，且所述鉸鏈軸能夠在所述第二安裝孔內(nèi)相對(duì)于所述鉸鏈座移動(dòng)的距離大于所述鉸鏈的支撐間隙。
17.根據(jù)權(quán)利要求14所述的腔室，其特征在于，所述鉸鏈的鉸鏈臂通過(guò)緊固件在腔室頂蓋上進(jìn)行固定。
【文檔編號(hào)】E05D11/00GK104343302SQ201310326939
【公開(kāi)日】2015年2月11日 申請(qǐng)日期:2013年7月30日 優(yōu)先權(quán)日:2013年7月30日
【發(fā)明者】張鵬 申請(qǐng)人:北京北方微電子基地設(shè)備工藝研究中心有限責(zé)任公司