專利名稱：一種夾取碳膜銅網的專用鑷子的制作方法
技術領域：
本實用新型涉及半導體制造裝備技術領域，尤其是一種專用于夾取碳膜銅網的鑷子。
背景技術：
透射電子顯微鏡(Transmission Electron Microscope,以下簡稱TEM)可以同時分析微區的組織形態、晶體結構、組成元素、化學鍵結狀態以及電子分布結構等，是固體材料分析強有力的工具之一。隨著半導體行業的不斷發展，技術的不斷改良，芯片尺寸的不斷縮減，材料生長日趨多元化、立體化、微型化，各種類型的異質材料中存在的界面、應變態、應變弛豫及隨后的晶格失配位錯的形成等，為TEM的使用提供了廣闊的發展空間。TEM的原理是電子束穿透樣品，并激發出透射電子，經過聚焦與放大，采用探測器收集信號并成像。由于電子易散射和被物體吸收，所以必須制備超薄切片。現今，半導體行業中大部分采用聚焦離子束制備樣品，然后在專用的光學顯微鏡下，采用帶靜電的玻璃針，將樣品取出并放在碳膜銅網上。碳膜銅網很薄，且直徑僅為3毫米，所以碳膜銅網的夾取是否可靠直接關系到TEM的樣品是否安全。現今市場上用于夾取碳膜銅網的鑷子一般具有細而尖的末端，鑷子的兩個末端分別與碳膜銅網正反兩個表面壓緊。此類鑷子主要存在以下幾個問題I.鑷子夾取樣品時很容易將碳膜戳破，導致TEM樣品的遺失，或者是碳膜表面的不平整導致TEM樣品無法觀測；2.碳膜銅網尺寸很小，鑷子夾取時力度很難控制，易導致其掉落；3.鑷子的尖端很細長，很容易在操作的過程中戳到人，對人存在一個潛在的威脅。

實用新型內容針對現有技術中常規使用的鑷子存在的各種問題，本實用新型提出一種門用于夾取裝載透射電子顯微鏡樣品的碳膜銅網的鑷子。本實用新型所采用的技術方案是夾取碳膜銅網的專用鑷子，包括兩個操作柄以及分別位于每個操作柄末端的夾持部，所述夾持部呈弧形，且兩個夾持部相對的表面開設有與碳膜銅網的外徑相吻合的缺口。優選的，兩個操作柄形成“8”字形的鑷子手持操作部；該鑷子處于非使用狀態時，夾持部處于閉合狀態。優選的，所述操作柄為防靜電的塑料材質。本實用新型具有以下優點I.夾持部與碳膜銅網的外徑形成牢固的配合，減少鑷子在夾取碳膜銅網的過程中對碳膜造成的損壞，提高TEM樣品制備的成功率，降低成本；2.有效地避免了碳膜銅網在夾取過程中出現的意外；[0016]3.鑷子帶有自鎖功能，減少了保存過程中鑷子尖端破壞，延長了其使用壽命，同時減少了對人的傷害，保證操作人員的人身安全。

圖I是本實用新型提出的專用鑷子夾取碳膜銅網的立體示意圖；圖2是圖I的鑷子尖端部分的放大圖；圖3是圖I的俯視圖；圖4是圖3中鑷子尖端部分的放大圖。
具體實施方式
以下結合附圖對本實用新型的實施例作詳細說明本實施例在以本實用新型技術方案為前提下進行實施，給出了詳細的實施方式，但本實用新型的保護范圍不限于下述的實施例。如圖所示的夾取碳膜銅網的專用鑷子，包括兩個操作柄I以及分別位于每個操作柄I末端的夾持部2，所述夾持部2呈弧形，兩個夾持部2相對的表面開設有與碳膜銅網3的外徑相吻合的缺口 21。當該專用鑷子夾持碳膜銅網3時，碳膜銅網3的外徑位于缺口 21內，并且由于夾持部2呈弧形，能夠對碳膜銅網3形成支撐、防止碳膜銅網3移動或者轉動，因此能夠牢固的夾持碳膜銅網3。所述夾持部2的弧度并無特殊要求，但須確保夾持力，因此不宜過小。另外，兩個操作柄I形成“8”字形的鑷子手持操作部，該鑷子處于非使用狀態時，由于操作柄I的具有的彈性應力，確保夾持部2處于閉合狀態，形成自鎖。所述操作柄I通常可以采用防靜電的塑料材質。本實用新型雖然以較佳實施例公開如上，但其并不是用來限定權利要求，任何本領域技術人員在不脫離本實用新型的精神和范圍內，都可以做出可能的變動和修改，因此本實用新型的保護范圍應當以本實用新型權利要求所界定的范圍為準。
權利要求1.一種夾取碳膜銅網的專用鑷子，包括兩個操作柄以及分別位于每個操作柄末端的夾持部，其特征在于所述夾持部呈弧形，且兩個夾持部相對的表面開設有與碳膜銅網的外徑相吻合的缺口。
2.如權利要求I所述的夾取碳膜銅網的專用鑷子，其特征在于兩個操作柄形成“8”字形的鑷子手持操作部。
3.如權利要求I所述的夾取碳膜銅網的專用鑷子，其特征在于該鑷子處于非使用狀態時，夾持部處于閉合狀態。
4.如權利要求I所述的夾取碳膜銅網的專用鑷子，其特征在于所述操作柄為防靜電的塑料材質。
專利摘要本實用新型涉及一種夾取碳膜銅網的專用鑷子，是專門用于夾取裝載透射電子顯微鏡樣品的碳膜銅網。該鑷子包括兩個操作柄以及分別位于每個操作柄末端的夾持部，所述夾持部呈弧形，且兩個夾持部相對的表面開設有與碳膜銅網的外徑相吻合的缺口。這樣可以有效的減少鑷子在夾取碳膜銅網時對其造成破壞導致的樣品遺失，提高了透射電子顯微鏡樣品制備的成功率，節約了成本。同時鑷子帶有自鎖功能，減少了保存過程中鑷子尖端破壞，延長了其使用壽命，同時減少了對人的傷害。
文檔編號B25B9/02GK202592239SQ20122024467
公開日2012年12月12日 申請日期2012年5月28日 優先權日2012年5月28日
發明者高林, 陳強, 王炯翀, 高金德 申請人:上海華力微電子有限公司