基于壓電扭轉(zhuǎn)高頻振動(dòng)釋放的微夾持器的制造方法
【專利摘要】基于壓電扭轉(zhuǎn)高頻振動(dòng)釋放的微夾持器，包括支架，壓電剪切致動(dòng)器，壓電扭轉(zhuǎn)激振器，夾持臂，宏動(dòng)平臺(tái)和微動(dòng)平臺(tái)，支架安裝在微動(dòng)平臺(tái)上，壓電剪切致動(dòng)器包括裝于支架上的剪切致動(dòng)器基體和固定在剪切致動(dòng)器基體上的壓電纖維剪切薄片，壓電扭轉(zhuǎn)激振器包括固定安裝于剪切致動(dòng)器基體上的扭轉(zhuǎn)激振器基體和均與分布于扭轉(zhuǎn)激振器基體的側(cè)面上的壓電纖維扭轉(zhuǎn)薄片，夾持臂固定于扭轉(zhuǎn)激振器基體上并夾住微操作對(duì)象；兩個(gè)剪切致動(dòng)器基體相向運(yùn)動(dòng)時(shí)微夾持器并攏；扭轉(zhuǎn)激振器基體的側(cè)面均勻地分布有壓電纖維扭轉(zhuǎn)薄片，對(duì)壓電纖維扭轉(zhuǎn)薄片施加激勵(lì)信號(hào)時(shí)扭轉(zhuǎn)激振器基體產(chǎn)生扭轉(zhuǎn)振動(dòng)。本發(fā)明具有能夠保證微操作對(duì)象釋放成功的優(yōu)點(diǎn)。
【專利說(shuō)明】基于壓電扭轉(zhuǎn)高頻振動(dòng)釋放的微夾持器
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及機(jī)器人技術(shù)和微機(jī)電【技術(shù)領(lǐng)域】，特別是一種微夾持器。
技術(shù)背景
[0002]微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)是指可批量制作、集微型機(jī)構(gòu)、微型傳感器、微型執(zhí)行器、信號(hào)處理和控制電路以及接口、通信和電源等于一體的微系統(tǒng)。MEMS不僅可以降低系統(tǒng)成本，而且還可以完成許多傳統(tǒng)的大尺寸機(jī)電系統(tǒng)所無(wú)法完成的任務(wù)，如微觀對(duì)象靈活操作。微夾持器是MEMS的關(guān)鍵組成部分，是溝通宏觀與微觀世界的基本工具，在微機(jī)電系統(tǒng)的研究及微型產(chǎn)品的研制開發(fā)中發(fā)揮著重要的作用。
[0003]微夾持器應(yīng)用于微裝配等領(lǐng)域，并且，微夾持器在精密儀器、生物醫(yī)學(xué)、航空航天及軍事領(lǐng)域都有著廣泛的應(yīng)用前景。微裝配機(jī)器人在微零件裝配、微機(jī)電系統(tǒng)、精密光學(xué)等領(lǐng)域有著廣泛的應(yīng)用前景。而微夾持器作為微裝配機(jī)器人的末端執(zhí)行器，直接決定機(jī)器人的工作效果。
[0004]中國(guó)專利申請(qǐng)CN201210038297.1，披露了一種壓電驅(qū)動(dòng)式微夾持器，其包括壓電驅(qū)動(dòng)部分與微夾持部分，壓電驅(qū)動(dòng)部分包括驅(qū)動(dòng)元件、橢圓型梁放大機(jī)構(gòu)，杠桿放大機(jī)構(gòu)以及鉸鏈連接機(jī)構(gòu)，橢圓型梁放大機(jī)構(gòu)包括對(duì)稱地設(shè)置的第一弧形梁和第二弧形梁；杠桿放大機(jī)構(gòu)包括第一懸臂梁和第二懸臂梁；驅(qū)動(dòng)元件運(yùn)動(dòng)帶動(dòng)橢圓型放大機(jī)構(gòu)變形，橢圓型梁放大機(jī)構(gòu)變形帶動(dòng)杠桿放大機(jī)構(gòu)運(yùn)動(dòng)，檢測(cè)夾持部分包括兩個(gè)相對(duì)設(shè)置的夾持臂，每一個(gè)夾持臂上集成有兩個(gè)壓阻傳感器，四個(gè)壓阻傳感器組成一個(gè)全橋檢測(cè)結(jié)構(gòu)。
[0005]這種壓電驅(qū)動(dòng)式微夾持器的驅(qū)動(dòng)元件只能在電壓的作用下產(chǎn)生伸縮運(yùn)動(dòng)，當(dāng)驅(qū)動(dòng)元件伸張時(shí)，橢圓型梁的第一弧形梁和第二弧形梁向內(nèi)合攏，從而帶動(dòng)杠桿放大機(jī)構(gòu)的懸臂梁向內(nèi)合攏，兩個(gè)夾持臂相互夾緊，從而實(shí)現(xiàn)微操作對(duì)象的夾持。當(dāng)驅(qū)動(dòng)元件收縮時(shí)，橢圓型梁的兩個(gè)弧形梁向外拱起，帶動(dòng)杠桿放大機(jī)構(gòu)的懸臂梁向外拱，兩個(gè)夾持臂分離，從而釋放微操作對(duì)象。這種壓電驅(qū)動(dòng)式微夾持器的缺點(diǎn)在于:在微操作時(shí)，由于尺度效應(yīng)和表面效應(yīng)，范德華力、毛細(xì)作用力、靜電力等粘著力起主要作用，很容易出現(xiàn)微操作對(duì)象粘著在微夾持器上的情況，釋放時(shí)經(jīng)靠?jī)蓚€(gè)夾持臂分開，微操作對(duì)象很容易因?yàn)檎持Χ鵁o(wú)法脫離夾持臂，導(dǎo)致釋放失敗。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0006]為了克服現(xiàn)有的壓電驅(qū)動(dòng)式微夾持器存在微操作對(duì)象在釋放時(shí)容易發(fā)生粘著導(dǎo)致釋放失敗的缺點(diǎn)，本發(fā)明提供了一種能夠保證微操作對(duì)象釋放成功的基于壓電扭轉(zhuǎn)高頻振動(dòng)釋放的微夾持器。
[0007]基于壓電扭轉(zhuǎn)高頻振動(dòng)釋放的微夾持器，包括支架，壓電剪切致動(dòng)器，壓電扭轉(zhuǎn)激振器，夾持臂，宏動(dòng)平臺(tái)和微動(dòng)平臺(tái)，支架安裝在微動(dòng)平臺(tái)上，壓電剪切致動(dòng)器包括安裝于支架上的剪切致動(dòng)器基體和固定在剪切致動(dòng)器基體上的壓電纖維剪切薄片，壓電扭轉(zhuǎn)激振器包括固定安裝于剪切致動(dòng)器基體上的扭轉(zhuǎn)激振器基體和均與分布于扭轉(zhuǎn)激振器基體的側(cè)面上的壓電纖維扭轉(zhuǎn)薄片，夾持臂固定于扭轉(zhuǎn)激振器基體上并夾住微操作對(duì)象；
兩個(gè)剪切致動(dòng)器基體相向運(yùn)動(dòng)時(shí)微夾持器并攏；扭轉(zhuǎn)激振器基體的側(cè)面均勻地分布有壓電纖維扭轉(zhuǎn)薄片，對(duì)壓電纖維扭轉(zhuǎn)薄片施加激勵(lì)信號(hào)時(shí)扭轉(zhuǎn)激振器基體產(chǎn)生扭轉(zhuǎn)振動(dòng)。扭轉(zhuǎn)激振器基體繞其軸線扭轉(zhuǎn)。
[0008]進(jìn)一步，剪切致動(dòng)器基體的靠近另一個(gè)剪切致動(dòng)器基體的內(nèi)側(cè)固定有內(nèi)側(cè)壓電纖維剪切薄片，外側(cè)固定有外側(cè)壓電纖維剪切薄片，內(nèi)側(cè)壓電纖維剪切薄片和外側(cè)壓電纖維剪切薄片分別通入電壓，內(nèi)側(cè)壓電纖維剪切薄片收縮，同時(shí)外側(cè)壓電纖維剪切薄片拉伸。
[0009]進(jìn)一步，支架包括與微動(dòng)平臺(tái)固定的固定部和與剪切致動(dòng)器基體固定的安裝部，安裝部呈V形。剪切致動(dòng)器基體、扭轉(zhuǎn)激振器基體和夾持臂呈直線，夾持臂的自由端夾持微操作對(duì)象。
[0010]進(jìn)一步，剪切致動(dòng)器基體呈U形，剪切致動(dòng)器基體的封閉端通過(guò)螺釘與支架固定，開口端通過(guò)螺釘與扭轉(zhuǎn)激振器基體固定，內(nèi)側(cè)壓電纖維剪切薄片和外側(cè)壓電纖維剪切薄片分別固定在剪切致動(dòng)器基體的兩個(gè)側(cè)臂上。
[0011 ] 進(jìn)一步，扭轉(zhuǎn)激振器基體包括安裝壓片纖維扭轉(zhuǎn)薄片的扭轉(zhuǎn)部和與剪切致動(dòng)器基體固定的連接部；扭轉(zhuǎn)部呈正棱柱體，扭轉(zhuǎn)部的每個(gè)側(cè)面固定有壓電纖維扭轉(zhuǎn)薄片；連接部具有與剪切致動(dòng)器基體的側(cè)臂貼合的平面安裝面。
[0012]進(jìn)一步，扭轉(zhuǎn)激振器基體與夾持臂通過(guò)螺紋固定連接。
[0013]進(jìn)一步，壓電纖維扭轉(zhuǎn)薄片的數(shù)量為偶數(shù)個(gè)。
[0014]進(jìn)一步，宏動(dòng)平臺(tái)以毫米/厘米級(jí)移動(dòng)，微動(dòng)平臺(tái)以微米/納米級(jí)移動(dòng)。
[0015]本發(fā)明在使用時(shí)，先使宏動(dòng)平臺(tái)和微動(dòng)平臺(tái)移動(dòng)到微操作對(duì)象的初始位置，再對(duì)剪切致動(dòng)器基體上的內(nèi)側(cè)壓電纖維剪切薄片和外側(cè)壓電纖維剪切薄片施加相反的電壓，內(nèi)側(cè)壓電纖維剪切薄片收縮，外側(cè)壓電纖維剪切薄片拉伸，兩個(gè)夾持臂并攏夾住微操作對(duì)象。然后使宏動(dòng)平臺(tái)和微動(dòng)平臺(tái)繼續(xù)運(yùn)動(dòng)，將微夾持器和微操作對(duì)象帶到目的位置，釋放壓電纖維剪切薄片的電壓，壓電纖維剪切致動(dòng)器基體復(fù)位，兩夾持臂分開。同時(shí)，對(duì)壓電纖維扭轉(zhuǎn)薄片施加激勵(lì)信號(hào)，壓電纖維扭轉(zhuǎn)薄片帶動(dòng)扭轉(zhuǎn)激振器基體發(fā)生高頻扭轉(zhuǎn)振動(dòng)，進(jìn)而使兩個(gè)夾持臂發(fā)生高頻扭轉(zhuǎn)振動(dòng)，將微操作對(duì)象從微夾持器振落，完成對(duì)微夾持器的釋放。
[0016]本發(fā)明的有益效果是:
1.利用壓電纖維扭轉(zhuǎn)薄片帶動(dòng)扭轉(zhuǎn)激振器基體產(chǎn)生高頻扭轉(zhuǎn)振動(dòng)，該高頻振動(dòng)產(chǎn)生的離心力克服微操作對(duì)象與夾持臂之間的粘著力，保證微操作對(duì)象被成功、準(zhǔn)確的釋放。
[0017]2.夾持時(shí)利用壓電纖維剪切薄片的伸縮帶動(dòng)剪切致動(dòng)器基體相向運(yùn)動(dòng)，從而使兩個(gè)夾持臂并攏，夾住微操作對(duì)象；釋放時(shí)釋放電壓，壓電纖維剪切薄片復(fù)位，兩個(gè)夾持臂分離。壓電纖維剪切薄片的體積小，厚度小，有利于本發(fā)明的微小型化。
[0018]3.通過(guò)與宏動(dòng)平臺(tái)和微動(dòng)平臺(tái)的配合使用，可以完成夾持、搬運(yùn)以及釋放等操作，應(yīng)用范圍較廣。
[0019]4.重量輕、操作方便,適用于微操作機(jī)器人系統(tǒng)和微機(jī)電系統(tǒng)。
【專利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0020]圖1是本發(fā)明的示意圖。
[0021 ] 圖2是壓電驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的示意圖。[0022]圖3是支架的示意圖。
[0023]圖4是剪切致動(dòng)器基體、扭轉(zhuǎn)激振器基體和夾持臂的示意圖。
[0024]圖5剪切致動(dòng)器基體的示意圖。
[0025]圖6是扭轉(zhuǎn)激振器基體的示意圖。
[0026]圖7是夾持臂的示意圖。
[0027]圖8是本發(fā)明工作狀態(tài)的示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0028]基于壓電扭轉(zhuǎn)高頻振動(dòng)釋放的微夾持器，包括支架1，壓電剪切致動(dòng)器，壓電扭轉(zhuǎn)激振器，夾持臂5，宏動(dòng)平臺(tái)8和微動(dòng)平臺(tái)7，支架I安裝在微動(dòng)平臺(tái)7上，壓電剪切致動(dòng)器包括安裝于支架I上的剪切致動(dòng)器基體3和固定在剪切致動(dòng)器基體3上的壓電纖維剪切薄片，壓電扭轉(zhuǎn)激振器包括固定安裝于剪切致動(dòng)器基體3上的扭轉(zhuǎn)激振器基體6和均勻分布于扭轉(zhuǎn)激振器基體6的側(cè)面上的壓電纖維扭轉(zhuǎn)薄片4，夾持臂5固定于扭轉(zhuǎn)激振器基體6上并夾住微操作對(duì)象9 ；
兩個(gè)剪切致動(dòng)器基體3相向運(yùn)動(dòng)時(shí)微夾持器并攏；扭轉(zhuǎn)激振器基體6的側(cè)面均勻地分布有壓電纖維扭轉(zhuǎn)薄片4，對(duì)壓電纖維扭轉(zhuǎn)薄片4施加激勵(lì)信號(hào)時(shí)扭轉(zhuǎn)激振器基體6產(chǎn)生扭轉(zhuǎn)振動(dòng)。扭轉(zhuǎn)激振器基體6繞其軸線扭轉(zhuǎn)。
[0029]如圖5所示，剪切致動(dòng)器基體3的靠近另一個(gè)剪切致動(dòng)器基體3的內(nèi)側(cè)固定有內(nèi)側(cè)壓電纖維剪切薄片21，外側(cè)固定有外側(cè)壓電纖維剪切薄片22，內(nèi)側(cè)壓電纖維剪切薄片21和外側(cè)壓電纖維剪切薄片22分別通入電壓，內(nèi)側(cè)壓電纖維剪切薄片21收縮，同時(shí)外側(cè)壓電纖維剪切薄片22拉伸。
[0030]如圖3所示，支架I包括與微動(dòng)平臺(tái)7固定的固定部11和與剪切致動(dòng)器基體3固定的安裝部12，安裝部12呈V形。安裝部12與剪切致動(dòng)器基體3之間具有4個(gè)固定螺釘。如圖4所示，剪切致動(dòng)器基體3、扭轉(zhuǎn)激振器基體6和夾持臂5呈直線，夾持臂5的自由端夾持微操作對(duì)象9。
[0031]如圖5所示，剪切致動(dòng)器基體3呈U形，剪切致動(dòng)器基體3的封閉端通過(guò)螺釘與支架I固定，開口端通過(guò)螺釘與扭轉(zhuǎn)激振器基體6固定；螺釘?shù)臄?shù)量不局限于圖4-6中例舉的4個(gè)。內(nèi)側(cè)壓電纖維剪切薄片21和外側(cè)壓電纖維剪切薄片22分別固定在剪切致動(dòng)器基體3的兩個(gè)側(cè)臂上。兩個(gè)壓電纖維剪切薄片粘接固定于剪切致動(dòng)器基體3。
[0032]如圖6所示，扭轉(zhuǎn)激振器基體6包括安裝壓片纖維扭轉(zhuǎn)薄片的扭轉(zhuǎn)部61和與剪切致動(dòng)器基體3固定的連接部62 ;扭轉(zhuǎn)部61呈正棱柱體，扭轉(zhuǎn)部61的每個(gè)側(cè)面固定有壓電纖維扭轉(zhuǎn)薄片4 ;連接部62具有與剪切致動(dòng)器基體3的側(cè)臂貼合的平面安裝面63。
[0033]扭轉(zhuǎn)激振器基體6與夾持臂5通過(guò)螺紋固定連接。
[0034]壓電纖維扭轉(zhuǎn)薄片4的數(shù)量為偶數(shù)個(gè)。每個(gè)壓電纖維扭轉(zhuǎn)薄片4必有一個(gè)與之對(duì)稱的壓電纖維扭轉(zhuǎn)薄片4,對(duì)稱的壓電纖維扭轉(zhuǎn)薄片4使扭轉(zhuǎn)激振器基體6受力均勻。壓電纖維扭轉(zhuǎn)薄片4的數(shù)量越多，扭轉(zhuǎn)激振器基體6的扭轉(zhuǎn)效果越好。
[0035]宏動(dòng)平臺(tái)8以毫米/厘米級(jí)移動(dòng)，微動(dòng)平臺(tái)7以微米/納米級(jí)移動(dòng)。宏動(dòng)平臺(tái)8和微動(dòng)平臺(tái)7通過(guò)常見的推動(dòng)機(jī)構(gòu)推動(dòng)，如絲杠。
[0036]本發(fā)明在使用時(shí)，先使宏動(dòng)平臺(tái)8和微動(dòng)平臺(tái)7移動(dòng)到微操作對(duì)象9的初始位置，再對(duì)剪切致動(dòng)器基體3上的內(nèi)側(cè)壓電纖維剪切薄片21和外側(cè)壓電纖維剪切薄片22施加相反的電壓，內(nèi)側(cè)壓電纖維剪切薄片21收縮，外側(cè)壓電纖維剪切薄片22拉伸，兩個(gè)夾持臂5并攏夾住微操作對(duì)象9，如圖8所示。然后使宏動(dòng)平臺(tái)8和微動(dòng)平臺(tái)7繼續(xù)運(yùn)動(dòng)，將微夾持器和微操作對(duì)象9帶到目的位置，釋放壓電纖維剪切薄片的電壓，壓電纖維剪切致動(dòng)器基體3復(fù)位，兩夾持臂5分開。同時(shí)，對(duì)壓電纖維扭轉(zhuǎn)薄片4施加激勵(lì)信號(hào)，壓電纖維扭轉(zhuǎn)薄片4帶動(dòng)扭轉(zhuǎn)激振器基體6發(fā)生高頻扭轉(zhuǎn)振動(dòng)，進(jìn)而使兩個(gè)夾持臂5發(fā)生高頻扭轉(zhuǎn)振動(dòng)，將微操作對(duì)象9從微夾持器振落到工作臺(tái)10上，完成對(duì)微夾持器的釋放。
[0037]本發(fā)明的有益效果是:
1.利用壓電纖維扭轉(zhuǎn)薄片帶動(dòng)扭轉(zhuǎn)激振器基體產(chǎn)生高頻扭轉(zhuǎn)振動(dòng)，該高頻振動(dòng)產(chǎn)生的離心力克服微操作對(duì)象與夾持臂之間的粘著力，保證微操作對(duì)象被成功、準(zhǔn)確的釋放。
[0038]2.夾持時(shí)利用壓電纖維剪切薄片的伸縮帶動(dòng)剪切致動(dòng)器基體相向運(yùn)動(dòng)，從而使兩個(gè)夾持臂并攏，夾住微操作對(duì)象；釋放時(shí)釋放電壓，壓電纖維剪切薄片復(fù)位，兩個(gè)夾持臂分離。壓電纖維剪切薄片的體積小，厚度小，有利于本發(fā)明的微小型化。
[0039]3.通過(guò)與宏動(dòng)平臺(tái)和微動(dòng)平臺(tái)的配合使用，可以完成夾持、搬運(yùn)以及釋放等操作，應(yīng)用范圍較廣。
[0040]4.重量輕、操作方便,適用于微操作機(jī)器人系統(tǒng)和微機(jī)電系統(tǒng)。
[0041]本說(shuō)明書實(shí)施例所述的內(nèi)容僅僅是對(duì)發(fā)明構(gòu)思的實(shí)現(xiàn)形式的列舉，本發(fā)明的保護(hù)范圍不應(yīng)當(dāng)被視為僅限于實(shí)施例所陳述的具體形式，本發(fā)明的保護(hù)范圍也及于本領(lǐng)域技術(shù)人員根據(jù)本發(fā)明構(gòu)思所能夠想到的等同技術(shù)手段。
【權(quán)利要求】
1.基于壓電扭轉(zhuǎn)高頻振動(dòng)釋放的微夾持器，其特征在于:包括支架，壓電剪切致動(dòng)器，壓電扭轉(zhuǎn)激振器，夾持臂，宏動(dòng)平臺(tái)和微動(dòng)平臺(tái)，支架安裝在微動(dòng)平臺(tái)上，壓電剪切致動(dòng)器包括安裝于支架上的剪切致動(dòng)器基體和固定在剪切致動(dòng)器基體上的壓電纖維剪切薄片，壓電扭轉(zhuǎn)激振器包括固定安裝于剪切致動(dòng)器基體上的扭轉(zhuǎn)激振器基體和均與分布于扭轉(zhuǎn)激振器基體的側(cè)面上的壓電纖維扭轉(zhuǎn)薄片，夾持臂固定于扭轉(zhuǎn)激振器基體上并夾住微操作對(duì)象；兩個(gè)剪切致動(dòng)器基體相向運(yùn)動(dòng)時(shí)微夾持器并攏；扭轉(zhuǎn)激振器基體的側(cè)面均勻地分布有壓電纖維扭轉(zhuǎn)薄片，對(duì)壓電纖維扭轉(zhuǎn)薄片施加激勵(lì)信號(hào)時(shí)扭轉(zhuǎn)激振器基體產(chǎn)生扭轉(zhuǎn)振動(dòng)。
2.如權(quán)利要求1所述的基于壓電扭轉(zhuǎn)高頻振動(dòng)釋放的微夾持器，其特征在于:剪切致動(dòng)器基體的靠近另一個(gè)剪切致動(dòng)器基體的內(nèi)側(cè)固定有內(nèi)側(cè)壓電纖維剪切薄片，外側(cè)固定有外側(cè)壓電纖維剪切薄片，內(nèi)側(cè)壓電纖維剪切薄片和外側(cè)壓電纖維剪切薄片分別通入電壓，內(nèi)側(cè)壓電纖維剪切薄片收縮，同時(shí)外側(cè)壓電纖維剪切薄片拉伸。
3.如權(quán)利要求2所述的基于壓電扭轉(zhuǎn)高頻振動(dòng)釋放的微夾持器，其特征在于:支架包括與微動(dòng)平臺(tái)固定的固定部和與剪切致動(dòng)器基體固定的安裝部，安裝部呈V形。
4.如權(quán)利要求3所述的基于壓電扭轉(zhuǎn)高頻振動(dòng)釋放的微夾持器，其特征在于:剪切致動(dòng)器基體呈U形，剪切致動(dòng)器基體的封閉端通過(guò)螺釘與支架固定，開口端通過(guò)螺釘與扭轉(zhuǎn)激振器基體固定，內(nèi)側(cè)壓電纖維剪切薄片和外側(cè)壓電纖維剪切薄片分別固定在剪切致動(dòng)器基體的兩個(gè)側(cè)臂上。
5.如權(quán)利要求1-4之一所述的基于壓電扭轉(zhuǎn)高頻振動(dòng)釋放的微夾持器，其特征在于:扭轉(zhuǎn)激振器基體包括安裝壓片纖維扭轉(zhuǎn)薄片的扭轉(zhuǎn)部和與剪切致動(dòng)器基體固定的連接部；扭轉(zhuǎn)部呈正棱柱體，扭轉(zhuǎn)部的每個(gè)側(cè)面固定有壓電纖維扭轉(zhuǎn)薄片；連接部具有與剪切致動(dòng)器基體的側(cè)臂貼合的平面安裝面。
6.如權(quán)利要求5所述的基于壓電扭轉(zhuǎn)高頻振動(dòng)釋放的微夾持器，其特征在于:扭轉(zhuǎn)激振器基體與夾持臂通過(guò)螺紋固定連接。
7.如權(quán)利要求6所述的基于壓電扭轉(zhuǎn)高頻振動(dòng)釋放的微夾持器，其特征在于:壓電纖維扭轉(zhuǎn)薄片的數(shù)量為偶數(shù)個(gè)。
8.如權(quán)利要求7所述的基于壓電扭轉(zhuǎn)高頻振動(dòng)釋放的微夾持器，其特征在于:宏動(dòng)平臺(tái)以毫米/厘米級(jí)移動(dòng)，微動(dòng)平臺(tái)以微米/納米級(jí)移動(dòng)。
【文檔編號(hào)】B25J15/08GK103465269SQ201310433467
【公開日】2013年12月25日 申請(qǐng)日期:2013年9月22日 優(yōu)先權(quán)日:2013年9月22日
【發(fā)明者】魏燕定, 楊依領(lǐng), 婁軍強(qiáng), 武敏, 謝鋒然, 趙曉偉, 林晨陽(yáng) 申請(qǐng)人:浙江大學(xué)