復合片的切斷方法、玻璃片的切斷方法、復合片的切斷片的制作方法
復合片的切斷方法、玻璃片的切斷方法、復合片的切斷片的制作方法
【專利摘要】一種復合片的切斷方法，該復合片包括厚度在200μm以下的玻璃片、和形成在該玻璃片上的樹脂膜，其中，該復合片的切斷方法包括以下工序：向上述復合片的上述玻璃片的局部照射激光，以玻璃的退火點以下的溫度對上述玻璃片進行局部加熱，使上述激光在上述玻璃片上的照射位置移動，使沿厚度方向貫穿上述玻璃片的裂紋沿移動軌跡伸展，在該工序中，上述樹脂膜跨越上述裂紋并將隔著上述裂紋而位于上述裂紋兩側的玻璃連接起來，在該工序后切斷上述樹脂膜。
【專利說明】復合片的切斷方法、玻璃片的切斷方法、復合片的切斷片
【技術領域】
[0001 ] 本發明涉及復合片的切斷方法及玻璃片的切斷方法、復合片的切斷片。
【背景技術】
[0002] 公知有一種復合片，該復合片包括玻璃片及形成在該玻璃片上的樹脂膜。該復合 片具有玻璃片的耐化學性、耐熱性、和樹脂膜的撓性這兩者的特性，通過活用該特性例如能 夠應用于制造顯示器、太陽能電池等。
[0003] 近年，作為復合片的切斷方法，提案有使用激光的方法（例如參照專利文獻1)。
[0004] 另外，作為玻璃片的切斷方法，公知有一種將玻璃片利用激光進行局部加熱且利 用熱應力在玻璃片上形成裂紋的方法（例如參照專利文獻2)。
[0005] 現有摶術f獻
[0006] 專利f獻
[0007] 專利文獻1 :日本特表2010 - 501457號公報
[0008] 專利文獻2 :日本特開2010 - 90009號公報
【發明內容】
[0009] 發明要解決的問題
[0010] 當玻璃片的厚度變薄時，形成在玻璃片上的裂紋沿厚度方向貫穿玻璃片。
[0011] 于是，在形成裂紋時，由于隔著裂紋而位于裂紋兩側的玻璃未連接，因此，玻璃容 易變形，裂紋的位置容易自預期的位置偏離。
[0012] 本發明即是鑒于上述課題而做成的，其目的在于提供一種切斷精度較佳的復合片 的切斷方法、切斷精度較佳的玻璃片的切斷方法。
[0013] 用于解決問題的方案
[0014] 為了解決上述課題，本發明的一技術方案為一種復合片的切斷方法，該復合片包 括厚度在200 ym以下的玻璃片、和形成在該玻璃片上的樹脂膜，其中，
[0015] 該復合片的切斷方法包括以下工序：向上述復合片的上述玻璃片的局部照射激 光，以玻璃的退火點以下的溫度對上述玻璃片進行局部加熱，使上述激光在上述玻璃片上 的照射位置移動，使沿厚度方向貫穿上述玻璃片的裂紋沿移動軌跡伸展，
[0016] 在該工序中，上述樹脂膜跨越上述裂紋并將隔著上述裂紋而位于上述裂紋的兩側 的玻璃連接起來，在該工序后切斷上述樹脂膜。
[0017] 另外，本發明的其他的技術方案為一種厚度在200 μm以下的玻璃片的切斷方法， 其中，
[0018] 該玻璃片的切斷方包括以下工序：向復合片的玻璃片的局部照射激光，以玻璃的 退火點以下的溫度對上述玻璃片進行局部加熱，使上述激光在上述玻璃片上的照射位置移 動，使沿厚度方向貫穿上述玻璃片的裂紋沿移動軌跡伸展，其中，該復合片包括該玻璃片、 和形成在該玻璃片上的樹脂膜，
[0019] 在該工序中，上述樹脂膜跨越上述裂紋并將隔著上述裂紋而位于上述裂紋的兩側 的玻璃連接起來。
[0020] 發明的效果
[0021] 采用本發明，能夠提供一種切斷精度較佳的復合片的切斷方法、切斷精度較佳的 玻璃片的切斷方法。
【專利附圖】
【附圖說明】
[0022] 圖1是表示本發明的第1實施方式的復合片的切斷方法的第1工序的立體圖。
[0023] 圖2是表示本發明的第1實施方式的復合片的切斷方法的第2工序的立體圖。
[0024] 圖3是圖2的玻璃片的激光照射面上的激光的尺寸的說明圖。
[0025] 圖4是表示圖2的激光掃描后的復合片的狀態的立體圖。
[0026] 圖5是表示圖4的樹脂膜的狀態的立體圖。
[0027] 圖6是表示在圖2的激光掃描后自支承臺拆除時的復合片的狀態的側視圖。
[0028] 圖7是表示圖6的工序后的復合片的狀態的立體圖。
[0029] 圖8是表示本發明的第1實施方式的復合片的切斷方法的第3工序的側視圖。
[0030] 圖9是表不在圖8的第3工序后獲得的切斷片的立體圖。
[0031] 圖10是表示本發明的第2實施方式的玻璃片的切斷方法的說明圖。
【具體實施方式】
[0032] 以下，參照【專利附圖】
【附圖說明】用于實施本發明的實施方式。在各附圖中，對相同或相對應的 結構標注相同或相對應的附圖標記并省略說明。
[0033] 第1實施方式
[0034] 圖1?圖9是本發明的第1實施方式的復合片的切斷方法的說明圖。
[0035] 如圖1所示，本發明的復合片10包括玻璃片12、和形成在玻璃片12上的樹脂膜 14。復合片10具有玻璃片12的耐化學性、耐熱性、和樹脂膜14的撓性這兩者的特性，通過 活用該特性例如能夠應用于制造顯示器、太陽能電池等。
[0036] 玻璃片12的玻璃的種類可以是多種多樣，例如可以是鈉鈣玻璃、無堿玻璃等。另 夕卜，玻璃片12的成形方法可以是通常的方法，例如可以是浮法、熔融法、平拉法等。
[0037] 玻璃片12的在0°C?300°C時的平均線膨脹系數（以下簡單稱為"平均線膨脹系 數"）例如為 10X10_7/°C?100X10_7/°C，優選為 10X10_7/°C?50X10_7/°C。
[0038] 玻璃片12的厚度在200 μ m以下。在玻璃片12的厚度在200 μ m以下的情況下， 能夠將玻璃片12以旋渦狀卷繞來制作玻璃卷。另外，在玻璃片12的厚度在200 μm以下的 情況下，利用圖2所示的激光20的照射而形成于玻璃片12的裂紋31沿厚度方向貫穿玻璃 片12。玻璃片12的厚度優選在150 μ m以下，更優選在100 μ m以下，進一步優選在50 μ m 以下。另外，玻璃片12的厚度優選在10 μπι以上。
[0039] 為了提高玻璃和樹脂的密合性，玻璃片12優選為預先施加了表面處理的構件。表 面處理可列舉有底涂劑處理、臭氧處理、等離子體蝕刻處理等。底涂劑可例示有硅烷偶聯 劑。娃燒偶聯劑可例不有氣基娃燒類、環氧基娃燒類、燒氧基娃燒類、娃氣燒類等。
[0040] 在玻璃片12上形成樹脂膜14的方法沒有特別限定，例如可以使用將液狀的樹脂 組合物涂布在玻璃片12且使樹脂組合物固化的方法和將樹脂薄膜粘貼在玻璃片12上的方 法中的任一種方法。為了提高玻璃和樹脂之間的密合性，樹脂薄膜可以是預先施加了表面 處理的構件，也可以是例如在與玻璃相接觸的面上涂布粘合劑而成的構件。在該情況下，樹 脂膜14由作為基材的樹脂薄膜和粘合劑構成。粘合劑可列舉有異氰酸酯系、聚氨酯系、聚 酯系、丙烯酸系、聚乙烯亞胺系、橡膠系、硅烷偶聯劑、鈦偶聯劑、有機硅系、聚酰亞胺有機硅 系等。
[0041] 樹脂膜14形成在玻璃片12的切斷位置（S卩，激光20在玻璃片12上（參照圖2) 的照射位置的移動軌跡）的至少一部分，優選形成在玻璃片12的至少切斷終止位置，進一 步優選形成在玻璃片12的整個切斷位置的范圍內。
[0042] 詳細見后述，但樹脂膜14跨越在激光20的照射下形成在玻璃片12上的裂紋31 而起到將隔著裂紋31而位于裂紋31的兩側的玻璃121、122連接起來的作用。因此，優選 利用樹脂膜14至少覆蓋分別沿與裂紋31正交的兩個方向距裂紋31 (即，激光在玻璃片12 上的照射位置的移動軌跡的中心線）的距離為2. 5mm以內的區域。另外，進一步優選利用 樹脂膜14至少覆蓋分別沿與裂紋31正交的兩個方向距裂紋31的距離為5mm以內的區域。
[0043] 樹脂膜14可以大于玻璃片12也可以小于玻璃片12。特別優選的是樹脂膜14具 有與玻璃片12相同的大小。
[0044] 樹脂膜14可以由熱塑性樹脂、熱固性樹脂中的任一者形成，優選由熱固性樹脂形 成，以使得在利用圖2所示的激光20對玻璃片12進行局部加熱時，使樹脂膜14裂開而未 切斷。熱固性樹脂例如可使用聚酰亞胺（PI)、環氧樹脂（EP)等。熱塑性樹脂例如可使用聚 酰胺（PA)、聚酰胺酰亞胺（PAI)、聚醚醚酮（PEEK)、聚對苯二甲酸乙二醇酯（PET)、聚萘二甲 酸乙二醇酯（PEN)、聚醚砜（PES)、環狀聚烯烴（COP)、聚碳酸酯（PC)、聚氯乙烯（PVC)、聚乙 烯（PE)、聚丙烯（PP)、亞克力（PMMA)、聚氨酯（PU)等。另外，樹脂膜14還可以由光固化性 樹脂形成。
[0045] 另外，為了提高耐熱性、強度、成形性等，樹脂膜14可以含有無機填料。
[0046] 樹脂膜14優選形成在玻璃片12的單面上，優選形成在玻璃片12的與供激光20 入射的面12a(以下稱為玻璃片12的激光照射面12a)相反的一側的面上。
[0047] 樹脂膜14的厚度取決于樹脂膜14的種類，例如為1 μ m?200 μ m，優選為1 μ m? 100 μ m，進一步優選為1 μ m?50 μ m。當樹脂膜14的厚度變得過厚時，無法通過彎折樹脂 膜14來割斷樹脂膜14。另外，當樹脂膜14的厚度變得過薄時，在利用激光20對玻璃片12 進行局部加熱時會導致樹脂膜14裂開且被切斷。另外，在樹脂膜14由基材和粘合劑構成 的情況下，樹脂膜14的厚度為基材和粘合劑的合計厚度。
[0048] 樹脂膜14的剝離強度利用將玻璃片12保持平坦并且自玻璃片12剝離樹脂膜14 的180°剝離試驗（日本工業標準JIS K6854-2)測量。為了在照射激光20時樹脂膜14能 夠抑制玻璃片12的變形，樹脂膜14的剝離強度例如大于0N/25mm，優選的是在0. 01N/25mm 以上，進一步優選的是在〇· lN/25mm以上。
[0049] 復合片的切斷方法例如具有在玻璃片12上形成初始裂紋30的第1工序（參照圖 1)、形成沿厚度方向貫穿玻璃片12的裂紋31的第2工序（參照圖2)以及切斷樹脂膜14 的第3工序（參照圖8)。
[0050] 如圖1所示，在第1工序中，在玻璃片12上形成初始裂紋30。初始裂紋30形成 在玻璃片12的切斷開始位置，形成在玻璃片12的端部為佳。初始裂紋30可以利用圓盤割 刀、單刃刀具（日文：示〇卜力7夕一）、銼刀、激光等形成。
[0051] 第1工序可以于在玻璃片12上形成樹脂膜14之前進行，也可以于在玻璃片12上 形成了樹脂膜14之后進行。在后者的情況下，在形成初始裂紋30時，由于玻璃片12利用 樹脂膜14加強，因此，能夠抑制玻璃片12的破損。
[0052] 第1工序為任意的工序，也可以省略。例如在玻璃片12的端面為利用磨石等磨削 而成的情況下，能夠將因磨削而形成的微裂紋作為初始裂紋進行利用。
[0053] 如圖2所示，在第2工序中，向復合片10的玻璃片12的局部照射激光20,以玻璃 的退火點以下的溫度對玻璃片12進行局部加熱，使激光20在玻璃片12上的照射位置移 動。
[0054] 為了使激光20在玻璃片12上的照射位置移動，可以使玻璃片12移動，也可以使 激光20的光源移動，還可以使這兩者移動。玻璃片12的移動例如通過用于支承玻璃片12 的平臺的移動、或輸送玻璃片12的輸送輥的旋轉來進行。使輸送輥以其中心線為中心旋 轉。代替玻璃片12的移動，還可以進行玻璃片12的旋轉。玻璃片12的旋轉利用支承玻璃 片12的平臺的旋轉來進行。使平臺以突出設于平臺的旋轉軸為中心旋轉。玻璃片12的旋 轉在激光20在玻璃片12上的照射位置的移動軌跡為曲線狀的情況下特別有效。另外，為 了激光20在玻璃片12上的照射位置的移動，還可以使將來自光源的激光朝向玻璃片12反 射的檢流計鏡旋轉。
[0055] 然而，當玻璃以超過玻璃的退火點的溫度被加熱時，因玻璃的粘流導致熱應力緩 和。另外，被加熱的溫度優選為在退火點以下的盡量高的溫度。即，加熱的溫度范圍優 選在（玻璃的退火點_200°C)以上且在玻璃的退火點以下，進一步優選在（玻璃的退火 點-100°C )以上且在玻璃的退火點以下。
[0056] 在本實施方式中，由于以玻璃的退火點以下的溫度對玻璃片12進行局部加熱，因 此產生熱應力。在激光20的照射位置產生壓縮應力，在其反作用下，在激光20的照射位置 的后方附近產生拉伸應力。在產生的拉伸應力的作用下玻璃片12被切開，而形成裂紋31。 裂紋31沿厚度方向貫穿玻璃片12。裂紋31跟隨激光20的照射位置且沿激光20的照射 位置的移動軌跡伸展。該移動軌跡可以是直線狀也可以是曲線狀，還可以具有直線狀部分 和曲線狀部分這兩者。裂紋31以初始裂紋30為起點形成為佳。在此，"后方"是指與裂紋 31的伸展方向相反的方向，且是指與激光20在玻璃片12上的照射位置的移動方向相反的 方向。
[0057] 另外，通常在玻璃局部熔化時，在熔化的部分冷卻而凝固時，欲進行熱收縮。此時， 熔化的部分的熱收縮被其周圍部分妨礙，而無規則地形成微裂紋。
[0058] 在本實施方式中，由于以玻璃的退火點以下的溫度對玻璃片12進行局部加熱，因 此，玻璃未熔融。因此，能夠獲得平滑的玻璃切斷面，能夠獲得強度較高的玻璃切斷面。
[0059] 激光20在自光源射出后利用聚光透鏡等聚光，而向玻璃片12的激光照射面12a 入射。激光20可以向玻璃片12的激光照射面12a垂直入射，也可以向玻璃片12的激光照 射面12a傾斜入射。
[0060] 激光20的光源例如可使用CO2激光器（波長10600nm)、中紅外光參量振蕩器（波 長 2600nm ?3450nm)、Er :YAG 激光器（波長 2940nm)、Ho :YAG 激光器（波長 2080nm)、Yb 光纖激光器（波長IOOOnm?IlOOnm)、Yb圓盤激光器（波長IOOOnm?IlOOnm)、Nd :YAG 激光器（波長l〇64nm)、高輸出半導體激光器（波長808nm?980nm)、綠色激光器（波長 532nm)、UV激光器（波長355nm)等。
[0061] 激光20的光源可以是將激光連續振蕩的CW激光器、將激光間歇振蕩的脈沖激光 器中的任一者。
[0062] 激光20在玻璃片12的激光照射面12a上的形狀（點形狀）可與激光20的光源 的種類等相對應地適當設定。這是因為玻璃片12的光吸收率因激光20的波長而改變。例 如，在光源為〇) 2激光器的情況下，激光20的波長較長，激光20的大部分在玻璃片12的激 光照射面12a附近作為熱被吸收。而且，在光源為0) 2激光器的情況下，激光20在玻璃片 12的激光照射面12a上的形狀呈沿激光20的照射位置的移動方向細長的形狀為佳。在激 光20的照射位置移動時，能夠對玻璃片12的切斷位置長時間地進行加熱，而能夠確保自玻 璃片12的激光照射面12a向內部傳遞熱的時間。通過玻璃片12的內部被加熱，能夠形成 沿厚度方向貫穿玻璃片12的裂紋31。
[0063] 在玻璃片12的厚度在200 μm以下的情況下，由于自玻璃片12的激光照射面12a 向內部傳遞熱的時間較短，激光20在玻璃片12的激光照射面12a上的形狀例如可以是圓 形或矩形。在圓形的情況下，當激光20的照射位置的移動軌跡包括曲線狀部分時，移動軌 跡的曲線狀部分的寬度恒定，裂紋31難以自移動軌跡偏離。在橢圓形、矩形的情況下，為了 使移動軌跡的曲線狀部分的寬度恒定，使激光20的照射位置移動并且使激光20繞光軸轉 動即可。例如使激光20的光源繞光軸轉動即可。
[0064] 激光20在玻璃片12的激光照射面12a上的移動方向上的長度L (參照圖3)沒有 特別限定，例如為〇. Imm?60mm，優選為Imm?30mm。另外，與激光20在玻璃片12的激光照 射面12a上的移動方向正交的方向上的長度W(參照圖3)沒有特別限定，例如為0. Olmm? IOmm,優選為 0· 1mm ?5mm〇
[0065] 如圖2所示，在第2工序中，利用制冷劑40對玻璃片12進行局部冷卻，并使制冷 劑40在玻璃片12上的供給位置與激光20在玻璃片12上的照射位置連動地移動為佳。制 冷劑40的供給位置在激光20的照射位置的后方附近為佳。在激光20的照射位置的后方 產生急劇的溫度梯度，激光20的照射位置和裂紋31的前端位置之間的距離變短。
[0066] 制冷劑40可以是氣體（例如室溫的壓縮空氣）、液體（例如室溫的水）中的任一 者，也可以包含這兩者。
[0067] 噴嘴50例如圖2所示地形成為筒狀，朝向玻璃片12噴射制冷劑40。
[0068] 為了移動制冷劑40在玻璃片12上的供給位置，可以移動玻璃片12,也可以移動噴 嘴50,還可以移動這兩者。
[0069] 在本實施方式的第2工序中，如圖2所示，在玻璃片12上形成裂紋31時，未切斷樹 脂膜14。因此，樹脂膜14跨越裂紋31從而將隔著裂紋31而位于裂紋31兩側的玻璃121、 122連接起來。由于隔著裂紋31而位于裂紋31兩側的玻璃121、122利用樹脂膜14連結， 因此，能夠在形成裂紋31時抑制玻璃的變形，以使裂紋31的位置難以自預期的位置偏離。 因而，玻璃片12的切斷精度變得較佳。該效果在樹脂膜14形成在玻璃片12的整個切斷位 置（也就是說，激光20在玻璃片12上的照射位置的移動軌跡）的范圍內的情況下較顯著。
[0070] 在第2工序中，如圖2所示，可以自與樹脂膜14側相反的一側向玻璃片12照射激 光20。激光20在穿過玻璃片12的過程中與玻璃片12的光吸收率相對應地衰減，然后入 射到樹脂膜14。因而，入射到樹脂膜14的激光20的強度較低，樹脂膜14軟化，難以熔融。 當樹脂膜14的一部分熔融時，熔融的部分可能因表面張力而被撕裂。
[0071 ] 在第2工序中，如圖2所示，通過使激光20在玻璃片12上的照射位置移動，可以沿 移動軌跡在樹脂膜14上形成線狀的熱劣化部143。在此，"熱劣化"是指因熱而產生炭化、 發泡等，且是指以激光照射前的樹脂膜14的拉伸強度（MPa)為基準激光照射后的樹脂膜14 的拉伸強度下降0.01%以上的情況。在拉伸強度試驗中，將與線狀的熱劣化部143正交的 方向上的拉伸應力施加于樹脂膜14。
[0072] 線狀的熱劣化部143形成于樹脂膜14,從而樹脂膜14容易以熱劣化部143為中心 彎折。以激光照射前的樹脂膜14的拉伸強度為基準，激光照射后的樹脂膜14的拉伸強度 優選下降〇. 1 %以上，進一步優選下降1 %以上。
[0073] 熱劣化部143形成于樹脂膜14的與玻璃片12相接觸的面14a(參照圖5)。熱劣 化部143可以如圖5所示地不沿厚度方向貫穿樹脂膜14,也可以貫穿樹脂膜14。另外，在 熱劣化部143上還可以形成有與玻璃片12的裂紋31連續的溝線（劃痕線）。
[0074] 而且，在使激光20在玻璃片12上的照射位置移動時，如圖4所示，在移動軌跡的 終端部、即玻璃片12的端部難以形成沿厚度方向貫穿玻璃片12的裂紋31。這是因為裂紋 31基本上因在激光20的照射位置的后方產生的拉伸應力伸展。另外，認為該拉伸應力通過 ⑴在因激光照射而產生的壓縮應力的反作用下產生的拉伸應力、（ii)由激光的加熱導致 的樹脂的熱膨脹而產生的拉伸應力、以及較佳的是（iii)因供給制冷劑而產生的拉伸應力 進行相互作用而產生。另外，認為利用該相互作用能夠使切斷精度變高。
[0075] 若裂紋31的前端接近玻璃片12的端部，則在略微的外力的作用下，裂紋31伸展， 而使玻璃片12截斷。因此，在照射激光20后，在將復合片10自支承臺拆除時，若復合片10 略微撓曲，則會在其應力的作用下使玻璃片12的端部切斷。
[0076] 在復合片10略微撓曲時，在本實施方式中，如圖6所示，樹脂膜14以線狀的熱劣 化部143為中心彎折，玻璃片12的端部與樹脂膜14的變形相配合地彎折。由于線狀的熱 劣化部143沿激光20的照射位置的移動軌跡形成，因此，玻璃片12的端部以該移動軌跡為 中心地彎折。因而，玻璃片12的端部沿激光20的移動軌跡被切斷，而能夠控制切斷位置。 該效果在熱劣化部143形成于與玻璃片12的切斷終止位置相對應的樹脂膜14的端部的情 況下較顯著。
[0077] 熱劣化部143期望形成為自樹脂膜14的一端（激光照射開始點）至一端（激光 照射終止點）。樹脂膜14容易以熱劣化部143為中心彎折。
[0078] 另外，在本實施方式中，切斷激光20的照射位置的移動軌跡的終端部、即玻璃片 12的端部的工序在照射激光20后將復合片10自支承臺上拆除時進行，但也可在將復合片 10自支承臺上拆除后進行。
[0079] 在第3工序中，如圖8所示，切斷樹脂膜14,獲得多個樹脂膜141、142。由此，能夠 獲得多個切斷片111、112。一個切斷片111包括玻璃片121和與玻璃片121相結合的樹脂 膜141。另外，另一個切斷片112包括玻璃片122和與玻璃片122相結合的樹脂膜142。
[0080] 在本實施方式中，如圖4?圖7所示，線狀的熱劣化部143沿激光20在玻璃片12 上的照射位置的移動軌跡形成于樹脂膜14。因而，如圖8所示，通過以線狀的熱劣化部143 為中心地彎折樹脂膜14,能夠沿熱劣化部143切斷（割斷）樹脂膜14。在以線狀的熱劣化 部143為中心地彎折樹脂膜14時，優選以玻璃切斷面彼此之間不摩擦的方式彎折樹脂膜 14〇
[0081] 線狀的熱劣化部143沿激光20的照射位置的移動軌跡形成。因此，如圖9所示， 通過切斷而獲得的玻璃片121的切斷面和通過切斷而獲得的樹脂膜141的切斷面齊平。同 樣，通過切斷而獲得的玻璃片122的切斷面、和通過切斷而獲得的樹脂膜142的切斷面齊 平。與樹脂膜的切斷面比玻璃片的切斷面凹陷的情況相比，玻璃片121、122難以損傷，而容 易保管切斷片111、112。
[0082] 另外，本實施方式的第3工序通過彎折樹脂膜14,切斷樹脂膜14,但樹脂膜14的 切斷方法沒有特別限定。例如，作為使樹脂膜的切斷面和玻璃片的切斷面齊平的樹脂膜的 切斷方法還能夠使用沿線狀的熱劣化部撕裂樹脂膜的方法、利用刀具沿線狀的熱劣化部切 開樹脂膜的方法。另外，樹脂膜的切斷面相比于玻璃片的切斷面稍微凹陷，作為樹脂膜14 的切斷方法還能夠使用利用激光使樹脂膜局部氣化的方法。
[0083] 第2實施方式
[0084] 上述實施方式涉及一種包括玻璃片12和樹脂膜14的復合片10的切斷方法。
[0085] 另一方面，本實施方式涉及一種玻璃片12的切斷方法。玻璃片12的切斷方法與 復合片1的切斷方法相同地具有圖1?圖7的工序為佳，由于這些工序為相同的工序，因此 省略說明。
[0086] 圖10是本發明的第2實施方式的玻璃片的切斷方法的說明圖，是表示接著圖7的 工序而進彳丁的工序的圖。
[0087] 如圖10所示，玻璃片12的切斷方法具有剝離玻璃片12和樹脂膜14的工序。在 剝離玻璃片12和樹脂膜14的情況下，為了在剝離時不損壞玻璃片12,樹脂膜14的剝離強 度例如在3N/25mm以下，優選在lN/25mm以下。
[0088] 剝離玻璃片12和樹脂膜14的方法沒有特別限定，例如可以具有向玻璃片12和樹 脂膜14的界面插入薄刃來制作剝離起點的工序、和將玻璃片12保持平坦且使樹脂膜14自 剝離起點依次撓曲變形的工序。在剝離時，通過將玻璃片12保持平坦，能夠降低玻璃片12 的損壞。
[0089] 在剝離玻璃片12和樹脂膜14時，優選樹脂膜14未被切斷。通過一次的作業能夠 剝離多個玻璃121、122和樹脂膜14。
[0090] 另外，剝離玻璃片12和樹脂膜14的工序可以在切斷樹脂膜14后進行，例如可以 接著圖8的工序進行。
[0091] 玻璃片的切斷方法還可以具有在玻璃片12上形成樹脂膜14的工序。
[0092] 實施例
[0093] 在以下的實施例和比較例中，若無特別記載，玻璃片則使用150mm見方的玻璃片 (厚度為100 μ m、平均線膨脹系數為38 X 10_7/°C、旭硝子公司制無堿玻璃，商品名：AN100)。
[0094] 實施例1
[0095] 在實施例1中，在對玻璃片的形成樹脂膜的面進行了表面處理之后，形成了聚酰 亞胺膜（150mm見方、厚度5 μπι)作為樹脂膜。玻璃片的表面處理通過利用旋涂器涂布氨基 丙基三甲氧基硅烷來進行。聚酰亞胺膜通過在玻璃片的表面處理面利用旋涂器涂布聚酰亞 胺清漆（荒川化學公司制H851D)且以250°C熱處理30分鐘而形成。
[0096] 在實施例1中，將所制作的由玻璃片和聚酰亞胺膜組成的復合片利用圖1?圖9 所示的方法切斷。
[0097] 首先，切斷玻璃片。矩形的玻璃片的四邊中的一邊以20mm間距形成8條初始裂紋。 復合片將聚酰亞胺膜朝下地載置于支承臺。激光自CO2激光器（波長10600nm、輸出39W) 向玻璃片局部照射。激光掃描速度設為130mm/ Sec。使激光在玻璃片上的照射位置以與形 成初始裂紋的一邊垂直地自各初始裂紋的形成位置移動到與該一邊平行的另一邊。其移動 軌跡設為直線狀。另外，自噴嘴向玻璃片局部供給作為制冷劑的霧狀的液滴。使制冷劑的 供給位置位于激光的照射位置的后方附近，且使其與激光的照射位置連動地移動。
[0098] 其結果，以初始裂紋為起點，在玻璃片上沿激光的照射位置的移動軌跡形成了 8 條裂紋。各裂紋沿板厚方向貫穿玻璃片，在激光的照射位置的移動軌跡的終端部未形成各 裂紋。另外，沿著激光的照射位置的整個移動軌跡在聚酰亞胺膜形成了直線狀的熱劣化部。 聚酰亞胺膜跨越裂紋且將隔著裂紋而位于裂紋兩側的玻璃連接起來。
[0099] 然后，在自支承臺上拆除復合片時，聚酰亞胺膜以直線狀的熱劣化部為中心略微 彎折而變形。玻璃片的端部與聚酰亞胺膜的變形相配合地彎折，而玻璃片的端部被切斷。由 此，切斷了玻璃片。
[0100] 接著，以直線狀的熱劣化部為中心彎折聚酰亞胺膜，沿熱劣化部割斷聚酰亞胺膜。 由于直線狀的熱劣化部是沿著激光在玻璃片上的照射位置的整個移動軌跡而形成的，因 此，樹脂膜的切斷面和玻璃片的切斷面大致齊平。
[0101] 由此，切斷了復合片。復合片的切斷精度通過玻璃片上的實際的切斷位置和直線 狀的目標切斷位置之間的偏移幅度（以下稱為"玻璃片上的切斷的偏移幅度"）來評價。評 價分為在激光的照射位置的移動軌跡中的終端部和除終端部以外的部分來進行。
[0102] 在實施例1中，在激光的照射位置的移動軌跡中的終端部和除終端部以外的部分 這兩部分中，玻璃片上的切斷的最大偏移幅度為〇mm。
[0103] 實施例2
[0104] 在實施例2中，在聚酰亞胺薄膜（150mm見方、厚度38 μπκ荒川化學公司制、商品名 示S 7 > )上施加聚酰亞胺有機硅粘合劑（厚度10 μm、荒川化學公司制、商品名Η802)而 制成層疊樹脂薄膜。將制成的層疊樹脂薄膜的粘合劑側粘貼在玻璃片上，從而制成復合片。
[0105] 接著，與實施例1相同，向玻璃片局部照射激光，使其照射位置移動。另外，與實施 例1相同，向玻璃片局部供給制冷劑，使其供給位置移動。
[0106] 其結果，以初始裂紋為起點，在玻璃片上沿激光的照射位置的移動軌跡形成了 8 條裂紋。各裂紋沿板厚方向貫穿玻璃片，在激光的照射位置的移動軌跡的終端部未形成各 裂紋。另外，沿著激光的照射位置的整個移動軌跡在層疊樹脂薄膜形成了直線狀的熱劣化 部。層疊樹脂薄膜跨越裂紋且將隔著裂紋而位于裂紋兩側的玻璃連接起來。
[0107] 然后，在自支承臺上拆除復合片時，層疊樹脂薄膜以直線狀的熱劣化部為中心略 微彎折而變形。玻璃片的端部與層疊樹脂薄膜的變形相配合地略微彎折，而玻璃片的端部 被切斷。由此，切斷了玻璃片。
[0108] 接著，以直線狀的熱劣化部為中心地彎折層疊樹脂薄膜，沿熱劣化部割斷了層疊 樹脂薄膜。由于直線狀的熱劣化部是沿著激光在玻璃片上的照射位置的整個移動軌跡而形 成的，因此，層疊樹脂薄膜的切斷面和玻璃片的切斷面大致齊平。
[0109] 由此，切斷了復合片。在激光的照射位置的移動軌跡中的終端部和除終端部以外 的部分這兩部分中，玻璃片上的切斷的最大偏移幅度為〇mm。
[0110] 實施例3
[0111] 在實施例3中，準備由作為基材的聚萘二甲酸乙二醇酯（PEN)薄膜（150mm見方、 厚度50 μπι)和丙烯酸粘合劑（厚度30 μπι)構成的層疊樹脂薄膜（寺閃制作所制、商品名 635F)。將所準備的層疊樹脂薄膜的粘合劑側粘貼在玻璃片上，從而制成復合片。
[0112] 接著，與實施例1相同，向玻璃片局部照射激光，使其照射位置移動。另外，與實施 例1相同，向玻璃片局部供給制冷劑，使其供給位置移動。
[0113] 其結果，以初始裂紋為起點，在玻璃片上沿激光的照射位置的移動軌跡形成了 8 條裂紋。各裂紋沿板厚方向貫穿玻璃片，在激光的照射位置的移動軌跡的終端部未形成各 裂紋。另外，沿著激光的照射位置的整個移動軌跡在層疊樹脂薄膜形成了直線狀的熱劣化 部。層疊樹脂薄膜跨越裂紋且將隔著裂紋而位于裂紋的兩側的玻璃連接起來。
[0114] 然后，在自支承臺上拆除復合片時，層疊樹脂薄膜以直線狀的熱劣化部為中心略 微彎折而變形。玻璃片的端部與層疊樹脂薄膜的變形相配合地彎折，而玻璃片的端部被切 斷。由此，切斷了玻璃片。
[0115] 接著，以直線狀的熱劣化部為中心彎折層疊樹脂薄膜，沿熱劣化部切斷（割斷）了 層疊樹脂薄膜。由于直線狀的熱劣化部是沿著激光在玻璃片上的照射位置的整個移動軌跡 而形成的，因此，層疊樹脂薄膜的切斷面和玻璃片的切斷面大致齊平。
[0116] 由此，切斷了復合片。在激光的照射位置的移動軌跡中的終端部和除終端部以外 的部分這兩部分中，玻璃片上的切斷的最大偏移幅度為〇mm。
[0117] 實施例4
[0118] 在實施例4中，準備了環狀聚烯烴（COP)薄膜（150mm見方、厚度50 μ m、化成工業 公司制、商品名ZF14)。將所準備的COP薄膜通過電暈放電進行活化處理，加熱貼合在玻璃 片上而制成復合片。
[0119] 接著，與實施例1相同，向玻璃片局部照射激光，使其照射位置移動。另外，與實施 例1相同，向玻璃片局部供給制冷劑，使其供給位置移動。
[0120] 其結果，以初始裂紋為起點，在玻璃片上沿激光的照射位置的移動軌跡形成了 8 條裂紋。各裂紋沿板厚方向貫穿玻璃片，在激光的照射位置的移動軌跡的終端部未形成各 裂紋。另外，沿著激光的照射位置的整個移動軌跡在COP薄膜形成了直線狀的熱劣化部。 COP薄膜跨越裂紋且將隔著裂紋而位于裂紋兩側的玻璃連接起來。
[0121] 然后，在自支承臺上拆除復合片時，COP薄膜以直線狀的熱劣化部為中心略微彎折 而變形。玻璃片的端部與COP薄膜的變形相配合地彎折，而玻璃片的端部被切斷。由此，切 斷了玻璃片。
[0122] 接著，以直線狀的熱劣化部為中心彎折COP薄膜，沿熱劣化部切斷（割斷）了 COP 薄膜。由于直線狀的熱劣化部是沿著激光在玻璃片上的照射位置的整個移動軌跡而形成 的，因此，COP薄膜的切斷面和玻璃片的切斷面大致齊平。
[0123] 由此，切斷了復合片。在激光的照射位置的移動軌跡中的終端部和除終端部以外 的部分這兩部分中，玻璃片上的切斷的最大偏移幅度為〇mm。
[0124] 實施例5
[0125] 在實施例5中，準備了由作為基材的聚對苯二甲酸乙二醇酯（PET)薄膜（厚度 125 μπι)和丙稀酸粘合劑（厚度16 μπι)構成的層疊樹脂薄膜（150mm見方、y Y- ; 1/公司 制、商品名y Y夕7夕PS - 250WA)。將所準備的層疊樹脂薄膜的粘合劑側粘貼在玻璃片 上，從而制成復合片。
[0126] 接著，與實施例1相同，向玻璃片局部照射激光，使其照射位置移動。另外，與實施 例1相同，向玻璃片局部供給制冷劑，使其供給位置移動。
[0127] 其結果，以初始裂紋為起點，在玻璃片上沿激光的照射位置的移動軌跡形成了 8 條裂紋。各裂紋沿板厚方向貫穿玻璃片，在激光的照射位置的移動軌跡的終端部未形成各 裂紋。另外，沿著激光的照射位置的整個移動軌跡在層疊樹脂薄膜形成直線狀的熱劣化部。 層疊樹脂薄膜跨越裂紋且將隔著裂紋而位于裂紋兩側的玻璃連接起來。
[0128] 然后，在自支承臺上拆除復合片時，層疊樹脂薄膜以直線狀的熱劣化部為中心略 微彎折而變形。玻璃片的端部與層疊樹脂薄膜的變形相配合地彎折，從而玻璃片的端部被 切斷。由此，切斷了玻璃片。
[0129] 接著，向玻璃片和層疊樹脂薄膜的界面中插入薄刃來制作剝離起點，將玻璃片12 保持平坦并且使層疊樹脂薄膜自剝離起點依次撓曲變形，一次剝離了多個玻璃單板條（日 文：力'7只単板短冊）。剝離強度為0. llN/25mm。
[0130] 由此，切斷了玻璃片。在激光的照射位置的移動軌跡中的終端部和除終端部以外 的部分這兩個部分中，玻璃片上的切斷的最大偏移幅度為〇mm。
[0131] 實施例6
[0132] 在實施例6中，準備了由作為基材的聚酰亞胺薄膜（厚度25μπι)和丙烯酸粘合劑 (厚度22μπι)組成的層疊樹脂薄膜（150mm見方、3Μ公司制、商品號7414)。將所準備的層 疊樹脂薄膜的粘合劑側粘貼在玻璃片上，從而制成復合片。
[0133] 接著，與實施例1相同，向玻璃片局部照射激光，使其照射位置移動。另外，與實施 例1相同，向玻璃片局部供給制冷劑，使其供給位置移動。
[0134] 其結果，以初始裂紋為起點，在玻璃片上沿激光的照射位置的移動軌跡形成了 8 條裂紋。各裂紋沿板厚方向貫穿玻璃片，在激光的照射位置的移動軌跡的終端部未形成各 裂紋。另外，沿著激光的照射位置的整個移動軌跡在層疊樹脂薄膜形成了直線狀的熱劣化 部。層疊樹脂薄膜跨越裂紋且將隔著裂紋而位于裂紋兩側的玻璃連接起來。
[0135] 然后，在自支承臺上拆除復合片時，層疊樹脂薄膜以直線狀的熱劣化部為中心略 微彎折而變形。玻璃片的端部與層疊樹脂薄膜的變形相配合地彎折，而玻璃片的端部被切 斷。由此，切斷了玻璃片。
[0136] 接著，向玻璃片和層疊樹脂薄膜的界面插入薄刃來制作剝離起點，將玻璃片保持 平坦并且使層疊樹脂薄膜自剝離起點依次撓曲變形，一次剝離了多個玻璃單板條。剝離強 度為 0· 69N/25mm。
[0137] 由此，切斷了玻璃片。在激光的照射位置的移動軌跡中的終端部和除終端部以外 的部分這兩個部分中，玻璃片上的切斷的最大偏移幅度為〇mm。
[0138] 比較例1
[0139] 在比較例1中，對未附有樹脂膜的150mm見方的玻璃片進行了切斷。具體而言，與 實施例1相同，向玻璃片局部照射激光，使其照射位置移動。另外，與實施例1相同，向玻璃 片局部供給制冷劑，使其供給位置移動。
[0140] 其結果，以初始裂紋為起點，在玻璃片上沿激光的照射位置的移動軌跡形成了 8 條裂紋。各裂紋沿板厚方向貫穿玻璃片，在激光的照射位置的移動軌跡的終端部未形成各 裂紋。
[0141] 然后，在自支承臺上拆除玻璃片時，玻璃片撓曲，且在其應力的作用下裂紋向未預 期的方向伸展。
[0142] 在比較例1中，在激光在玻璃片上的照射位置的移動軌跡中的終端部，切斷的最 大偏移幅度為Imm?3mm。另外，在激光在玻璃片上的照射位置的移動軌跡中的除終端部以 外的部分，切斷的最大偏移幅度為Imm左右。
[0143] 比較例2
[0144] 在比較例2中，除將聚酰亞胺薄膜的膜厚設為0. 5 μπι這點以外，與實施例1相同 地制成復合片。
[0145] 接著，與實施例1相同，向玻璃片局部照射激光，使其照射位置移動。另外，與實施 例1相同，向玻璃片局部供給制冷劑，使其供給位置移動。
[0146] 其結果，以初始裂紋為起點，在玻璃片上沿激光的照射位置的移動軌跡形成了 8 條裂紋。各裂紋沿板厚方向貫穿玻璃片，在激光的照射位置的移動軌跡的終端部未形成各 裂紋。另一方面，聚酰亞胺薄膜沿著激光的照射位置的整個移動軌跡被切斷。
[0147] 然后，在自支承臺上拆除復合片時，玻璃片撓曲，且在其應力的作用下裂紋向未預 期的方向伸展。由此，切斷了復合片。
[0148] 在激光在玻璃片上的照射位置的移動軌跡中的終端部，切斷的最大偏移幅度為 Imm?3mm。另外，在激光在玻璃片上的照射位置的移動軌跡中的除終端部以外的部分，切 斷的最大偏移幅度為Imm左右。
[0149] 總結
[0150] 將實施例1?實施例3、及比較例1?比較例12的結果總結在表1?表3中。
[0151] 表 1
[0152]
[0153]
【權利要求】
1. 一種復合片的切斷方法，該復合片包括厚度在200 ym以下的玻璃片、和形成在該玻 璃片上的樹脂膜，其中， 該復合片的切斷方法包括以下工序：向上述復合片的上述玻璃片的局部照射激光，以 玻璃的退火點以下的溫度對上述玻璃片進行局部加熱，使上述激光在上述玻璃片上的照射 位置移動，使沿厚度方向貫穿上述玻璃片的裂紋沿移動軌跡伸展， 在該工序中，上述樹脂膜跨越上述裂紋并將隔著上述裂紋而位于上述裂紋的兩側的玻 璃連接起來，在該工序后切斷上述樹脂膜。
2. 根據權利要求1所述的復合片的切斷方法，其中， 在上述工序中，在使上述激光在上述玻璃片上的照射位置移動時，沿移動軌跡在上述 樹脂膜上形成線狀的熱劣化部。
3. 根據權利要求2所述的復合片的切斷方法，其中， 通過以上述線狀的熱劣化部為中心彎折上述樹脂膜，切斷上述移動軌跡的終端部、即 上述玻璃片的端部。
4. 根據權利要求2或3所述的復合片的切斷方法，其中， 通過以上述線狀的熱劣化部為中心彎折上述樹脂膜，沿上述熱劣化部切斷上述樹脂 膜。
5. 根據權利要求1?4中任一項所述的復合片的切斷方法，其中， 在上述工序中，自與上述樹脂膜側相反的一側向上述玻璃片照射上述激光。
6. 根據權利要求1?5中任一項所述的復合片的切斷方法，其中， 該復合片的切斷方法還包括以下工序：在上述玻璃片上形成成為沿厚度方向貫穿上述 玻璃片的裂紋的起點的初始裂紋。
7. 根據權利要求1?6中任一項所述的復合片的切斷方法，其中， 利用制冷劑對上述復合片的上述玻璃片進行局部冷卻，使制冷劑在上述玻璃片上的供 給位置與激光在上述玻璃片上的照射位置相聯動地移動。
8. -種玻璃片的切斷方法，其為一種厚度在200 ym以下的玻璃片的切斷方法，其中， 該玻璃片的切斷方包括以下工序：向復合片的玻璃片的局部照射激光，以玻璃的退火 點以下的溫度對上述玻璃片進行局部加熱，使上述激光在上述玻璃片上的照射位置移動， 使沿厚度方向貫穿上述玻璃片的裂紋沿移動軌跡伸展，其中，該復合片包括該玻璃片、和形 成在該玻璃片上的樹脂膜， 在該工序中，上述樹脂膜跨越上述裂紋并將隔著上述裂紋而位于上述裂紋的兩側的玻 璃連接起來。
9. 根據權利要求8所述的玻璃片的切斷方法，其中， 在上述工序中，在使上述激光在上述玻璃片上的照射位置移動時，沿移動軌跡在上述 樹脂膜上形成線狀的熱劣化部， 在上述工序后，通過以上述線狀的熱劣化部為中心彎折上述樹脂膜，切斷上述移動軌 跡的終端部、即上述玻璃片的端部。
10. 根據權利要求8或9所述的玻璃片的切斷方法，其中， 在上述樹脂膜未被切斷的狀態下，剝離上述樹脂膜和上述玻璃片。
11. 根據權利要求8?10中任一項所述的玻璃片的切斷方法，其中， 在上述工序中，自與上述樹脂膜側相反的一側向上述玻璃片照射上述激光。
12. 根據權利要求8?11中任一項所述的玻璃片的切斷方法，其中， 該玻璃片的切斷方法還包括以下工序：在上述玻璃片上形成成為沿厚度方向貫穿上述 玻璃片的裂紋的起點的初始裂紋。
13. 根據權利要求8?12中任一項所述的玻璃片的切斷方法，其中， 在上述工序中，利用制冷劑對上述玻璃片進行局部冷卻，使制冷劑在上述玻璃片上的 供給位置與激光在上述玻璃片上的照射位置相聯動地移動。
14. 一種復合片的切斷片，能夠通過權利要求1?7中任一項所述的復合片的切斷方法 獲得，其中， 該復合片的切斷片包括玻璃片和與該玻璃片結合的樹脂膜，通過切斷而獲得的玻璃片 的切斷面、和通過切斷而獲得的樹脂膜的切斷面齊平。
【文檔編號】B26F3/00GK104487391SQ201380038806
【公開日】2015年4月1日 申請日期:2013年8月1日 優先權日:2012年8月21日
【發明者】角田純一, 江畑研一, 井上淳, 三谷真丈 申請人:旭硝子株式會社
【專利摘要】一種復合片的切斷方法，該復合片包括厚度在200μm以下的玻璃片、和形成在該玻璃片上的樹脂膜，其中，該復合片的切斷方法包括以下工序：向上述復合片的上述玻璃片的局部照射激光，以玻璃的退火點以下的溫度對上述玻璃片進行局部加熱，使上述激光在上述玻璃片上的照射位置移動，使沿厚度方向貫穿上述玻璃片的裂紋沿移動軌跡伸展，在該工序中，上述樹脂膜跨越上述裂紋并將隔著上述裂紋而位于上述裂紋兩側的玻璃連接起來，在該工序后切斷上述樹脂膜。
【專利說明】復合片的切斷方法、玻璃片的切斷方法、復合片的切斷片
【技術領域】
[0001 ] 本發明涉及復合片的切斷方法及玻璃片的切斷方法、復合片的切斷片。
【背景技術】
[0002] 公知有一種復合片，該復合片包括玻璃片及形成在該玻璃片上的樹脂膜。該復合 片具有玻璃片的耐化學性、耐熱性、和樹脂膜的撓性這兩者的特性，通過活用該特性例如能 夠應用于制造顯示器、太陽能電池等。
[0003] 近年，作為復合片的切斷方法，提案有使用激光的方法（例如參照專利文獻1)。
[0004] 另外，作為玻璃片的切斷方法，公知有一種將玻璃片利用激光進行局部加熱且利 用熱應力在玻璃片上形成裂紋的方法（例如參照專利文獻2)。
[0005] 現有摶術f獻
[0006] 專利f獻
[0007] 專利文獻1 :日本特表2010 - 501457號公報
[0008] 專利文獻2 :日本特開2010 - 90009號公報
【發明內容】
[0009] 發明要解決的問題
[0010] 當玻璃片的厚度變薄時，形成在玻璃片上的裂紋沿厚度方向貫穿玻璃片。
[0011] 于是，在形成裂紋時，由于隔著裂紋而位于裂紋兩側的玻璃未連接，因此，玻璃容 易變形，裂紋的位置容易自預期的位置偏離。
[0012] 本發明即是鑒于上述課題而做成的，其目的在于提供一種切斷精度較佳的復合片 的切斷方法、切斷精度較佳的玻璃片的切斷方法。
[0013] 用于解決問題的方案
[0014] 為了解決上述課題，本發明的一技術方案為一種復合片的切斷方法，該復合片包 括厚度在200 ym以下的玻璃片、和形成在該玻璃片上的樹脂膜，其中，
[0015] 該復合片的切斷方法包括以下工序：向上述復合片的上述玻璃片的局部照射激 光，以玻璃的退火點以下的溫度對上述玻璃片進行局部加熱，使上述激光在上述玻璃片上 的照射位置移動，使沿厚度方向貫穿上述玻璃片的裂紋沿移動軌跡伸展，
[0016] 在該工序中，上述樹脂膜跨越上述裂紋并將隔著上述裂紋而位于上述裂紋的兩側 的玻璃連接起來，在該工序后切斷上述樹脂膜。
[0017] 另外，本發明的其他的技術方案為一種厚度在200 μm以下的玻璃片的切斷方法， 其中，
[0018] 該玻璃片的切斷方包括以下工序：向復合片的玻璃片的局部照射激光，以玻璃的 退火點以下的溫度對上述玻璃片進行局部加熱，使上述激光在上述玻璃片上的照射位置移 動，使沿厚度方向貫穿上述玻璃片的裂紋沿移動軌跡伸展，其中，該復合片包括該玻璃片、 和形成在該玻璃片上的樹脂膜，
[0019] 在該工序中，上述樹脂膜跨越上述裂紋并將隔著上述裂紋而位于上述裂紋的兩側 的玻璃連接起來。
[0020] 發明的效果
[0021] 采用本發明，能夠提供一種切斷精度較佳的復合片的切斷方法、切斷精度較佳的 玻璃片的切斷方法。
【專利附圖】
【附圖說明】
[0022] 圖1是表示本發明的第1實施方式的復合片的切斷方法的第1工序的立體圖。
[0023] 圖2是表示本發明的第1實施方式的復合片的切斷方法的第2工序的立體圖。
[0024] 圖3是圖2的玻璃片的激光照射面上的激光的尺寸的說明圖。
[0025] 圖4是表示圖2的激光掃描后的復合片的狀態的立體圖。
[0026] 圖5是表示圖4的樹脂膜的狀態的立體圖。
[0027] 圖6是表示在圖2的激光掃描后自支承臺拆除時的復合片的狀態的側視圖。
[0028] 圖7是表示圖6的工序后的復合片的狀態的立體圖。
[0029] 圖8是表示本發明的第1實施方式的復合片的切斷方法的第3工序的側視圖。
[0030] 圖9是表不在圖8的第3工序后獲得的切斷片的立體圖。
[0031] 圖10是表示本發明的第2實施方式的玻璃片的切斷方法的說明圖。
【具體實施方式】
[0032] 以下，參照【專利附圖】
【附圖說明】用于實施本發明的實施方式。在各附圖中，對相同或相對應的 結構標注相同或相對應的附圖標記并省略說明。
[0033] 第1實施方式
[0034] 圖1?圖9是本發明的第1實施方式的復合片的切斷方法的說明圖。
[0035] 如圖1所示，本發明的復合片10包括玻璃片12、和形成在玻璃片12上的樹脂膜 14。復合片10具有玻璃片12的耐化學性、耐熱性、和樹脂膜14的撓性這兩者的特性，通過 活用該特性例如能夠應用于制造顯示器、太陽能電池等。
[0036] 玻璃片12的玻璃的種類可以是多種多樣，例如可以是鈉鈣玻璃、無堿玻璃等。另 夕卜，玻璃片12的成形方法可以是通常的方法，例如可以是浮法、熔融法、平拉法等。
[0037] 玻璃片12的在0°C?300°C時的平均線膨脹系數（以下簡單稱為"平均線膨脹系 數"）例如為 10X10_7/°C?100X10_7/°C，優選為 10X10_7/°C?50X10_7/°C。
[0038] 玻璃片12的厚度在200 μ m以下。在玻璃片12的厚度在200 μ m以下的情況下， 能夠將玻璃片12以旋渦狀卷繞來制作玻璃卷。另外，在玻璃片12的厚度在200 μm以下的 情況下，利用圖2所示的激光20的照射而形成于玻璃片12的裂紋31沿厚度方向貫穿玻璃 片12。玻璃片12的厚度優選在150 μ m以下，更優選在100 μ m以下，進一步優選在50 μ m 以下。另外，玻璃片12的厚度優選在10 μπι以上。
[0039] 為了提高玻璃和樹脂的密合性，玻璃片12優選為預先施加了表面處理的構件。表 面處理可列舉有底涂劑處理、臭氧處理、等離子體蝕刻處理等。底涂劑可例示有硅烷偶聯 劑。娃燒偶聯劑可例不有氣基娃燒類、環氧基娃燒類、燒氧基娃燒類、娃氣燒類等。
[0040] 在玻璃片12上形成樹脂膜14的方法沒有特別限定，例如可以使用將液狀的樹脂 組合物涂布在玻璃片12且使樹脂組合物固化的方法和將樹脂薄膜粘貼在玻璃片12上的方 法中的任一種方法。為了提高玻璃和樹脂之間的密合性，樹脂薄膜可以是預先施加了表面 處理的構件，也可以是例如在與玻璃相接觸的面上涂布粘合劑而成的構件。在該情況下，樹 脂膜14由作為基材的樹脂薄膜和粘合劑構成。粘合劑可列舉有異氰酸酯系、聚氨酯系、聚 酯系、丙烯酸系、聚乙烯亞胺系、橡膠系、硅烷偶聯劑、鈦偶聯劑、有機硅系、聚酰亞胺有機硅 系等。
[0041] 樹脂膜14形成在玻璃片12的切斷位置（S卩，激光20在玻璃片12上（參照圖2) 的照射位置的移動軌跡）的至少一部分，優選形成在玻璃片12的至少切斷終止位置，進一 步優選形成在玻璃片12的整個切斷位置的范圍內。
[0042] 詳細見后述，但樹脂膜14跨越在激光20的照射下形成在玻璃片12上的裂紋31 而起到將隔著裂紋31而位于裂紋31的兩側的玻璃121、122連接起來的作用。因此，優選 利用樹脂膜14至少覆蓋分別沿與裂紋31正交的兩個方向距裂紋31 (即，激光在玻璃片12 上的照射位置的移動軌跡的中心線）的距離為2. 5mm以內的區域。另外，進一步優選利用 樹脂膜14至少覆蓋分別沿與裂紋31正交的兩個方向距裂紋31的距離為5mm以內的區域。
[0043] 樹脂膜14可以大于玻璃片12也可以小于玻璃片12。特別優選的是樹脂膜14具 有與玻璃片12相同的大小。
[0044] 樹脂膜14可以由熱塑性樹脂、熱固性樹脂中的任一者形成，優選由熱固性樹脂形 成，以使得在利用圖2所示的激光20對玻璃片12進行局部加熱時，使樹脂膜14裂開而未 切斷。熱固性樹脂例如可使用聚酰亞胺（PI)、環氧樹脂（EP)等。熱塑性樹脂例如可使用聚 酰胺（PA)、聚酰胺酰亞胺（PAI)、聚醚醚酮（PEEK)、聚對苯二甲酸乙二醇酯（PET)、聚萘二甲 酸乙二醇酯（PEN)、聚醚砜（PES)、環狀聚烯烴（COP)、聚碳酸酯（PC)、聚氯乙烯（PVC)、聚乙 烯（PE)、聚丙烯（PP)、亞克力（PMMA)、聚氨酯（PU)等。另外，樹脂膜14還可以由光固化性 樹脂形成。
[0045] 另外，為了提高耐熱性、強度、成形性等，樹脂膜14可以含有無機填料。
[0046] 樹脂膜14優選形成在玻璃片12的單面上，優選形成在玻璃片12的與供激光20 入射的面12a(以下稱為玻璃片12的激光照射面12a)相反的一側的面上。
[0047] 樹脂膜14的厚度取決于樹脂膜14的種類，例如為1 μ m?200 μ m，優選為1 μ m? 100 μ m，進一步優選為1 μ m?50 μ m。當樹脂膜14的厚度變得過厚時，無法通過彎折樹脂 膜14來割斷樹脂膜14。另外，當樹脂膜14的厚度變得過薄時，在利用激光20對玻璃片12 進行局部加熱時會導致樹脂膜14裂開且被切斷。另外，在樹脂膜14由基材和粘合劑構成 的情況下，樹脂膜14的厚度為基材和粘合劑的合計厚度。
[0048] 樹脂膜14的剝離強度利用將玻璃片12保持平坦并且自玻璃片12剝離樹脂膜14 的180°剝離試驗（日本工業標準JIS K6854-2)測量。為了在照射激光20時樹脂膜14能 夠抑制玻璃片12的變形，樹脂膜14的剝離強度例如大于0N/25mm，優選的是在0. 01N/25mm 以上，進一步優選的是在〇· lN/25mm以上。
[0049] 復合片的切斷方法例如具有在玻璃片12上形成初始裂紋30的第1工序（參照圖 1)、形成沿厚度方向貫穿玻璃片12的裂紋31的第2工序（參照圖2)以及切斷樹脂膜14 的第3工序（參照圖8)。
[0050] 如圖1所示，在第1工序中，在玻璃片12上形成初始裂紋30。初始裂紋30形成 在玻璃片12的切斷開始位置，形成在玻璃片12的端部為佳。初始裂紋30可以利用圓盤割 刀、單刃刀具（日文：示〇卜力7夕一）、銼刀、激光等形成。
[0051] 第1工序可以于在玻璃片12上形成樹脂膜14之前進行，也可以于在玻璃片12上 形成了樹脂膜14之后進行。在后者的情況下，在形成初始裂紋30時，由于玻璃片12利用 樹脂膜14加強，因此，能夠抑制玻璃片12的破損。
[0052] 第1工序為任意的工序，也可以省略。例如在玻璃片12的端面為利用磨石等磨削 而成的情況下，能夠將因磨削而形成的微裂紋作為初始裂紋進行利用。
[0053] 如圖2所示，在第2工序中，向復合片10的玻璃片12的局部照射激光20,以玻璃 的退火點以下的溫度對玻璃片12進行局部加熱，使激光20在玻璃片12上的照射位置移 動。
[0054] 為了使激光20在玻璃片12上的照射位置移動，可以使玻璃片12移動，也可以使 激光20的光源移動，還可以使這兩者移動。玻璃片12的移動例如通過用于支承玻璃片12 的平臺的移動、或輸送玻璃片12的輸送輥的旋轉來進行。使輸送輥以其中心線為中心旋 轉。代替玻璃片12的移動，還可以進行玻璃片12的旋轉。玻璃片12的旋轉利用支承玻璃 片12的平臺的旋轉來進行。使平臺以突出設于平臺的旋轉軸為中心旋轉。玻璃片12的旋 轉在激光20在玻璃片12上的照射位置的移動軌跡為曲線狀的情況下特別有效。另外，為 了激光20在玻璃片12上的照射位置的移動，還可以使將來自光源的激光朝向玻璃片12反 射的檢流計鏡旋轉。
[0055] 然而，當玻璃以超過玻璃的退火點的溫度被加熱時，因玻璃的粘流導致熱應力緩 和。另外，被加熱的溫度優選為在退火點以下的盡量高的溫度。即，加熱的溫度范圍優 選在（玻璃的退火點_200°C)以上且在玻璃的退火點以下，進一步優選在（玻璃的退火 點-100°C )以上且在玻璃的退火點以下。
[0056] 在本實施方式中，由于以玻璃的退火點以下的溫度對玻璃片12進行局部加熱，因 此產生熱應力。在激光20的照射位置產生壓縮應力，在其反作用下，在激光20的照射位置 的后方附近產生拉伸應力。在產生的拉伸應力的作用下玻璃片12被切開，而形成裂紋31。 裂紋31沿厚度方向貫穿玻璃片12。裂紋31跟隨激光20的照射位置且沿激光20的照射 位置的移動軌跡伸展。該移動軌跡可以是直線狀也可以是曲線狀，還可以具有直線狀部分 和曲線狀部分這兩者。裂紋31以初始裂紋30為起點形成為佳。在此，"后方"是指與裂紋 31的伸展方向相反的方向，且是指與激光20在玻璃片12上的照射位置的移動方向相反的 方向。
[0057] 另外，通常在玻璃局部熔化時，在熔化的部分冷卻而凝固時，欲進行熱收縮。此時， 熔化的部分的熱收縮被其周圍部分妨礙，而無規則地形成微裂紋。
[0058] 在本實施方式中，由于以玻璃的退火點以下的溫度對玻璃片12進行局部加熱，因 此，玻璃未熔融。因此，能夠獲得平滑的玻璃切斷面，能夠獲得強度較高的玻璃切斷面。
[0059] 激光20在自光源射出后利用聚光透鏡等聚光，而向玻璃片12的激光照射面12a 入射。激光20可以向玻璃片12的激光照射面12a垂直入射，也可以向玻璃片12的激光照 射面12a傾斜入射。
[0060] 激光20的光源例如可使用CO2激光器（波長10600nm)、中紅外光參量振蕩器（波 長 2600nm ?3450nm)、Er :YAG 激光器（波長 2940nm)、Ho :YAG 激光器（波長 2080nm)、Yb 光纖激光器（波長IOOOnm?IlOOnm)、Yb圓盤激光器（波長IOOOnm?IlOOnm)、Nd :YAG 激光器（波長l〇64nm)、高輸出半導體激光器（波長808nm?980nm)、綠色激光器（波長 532nm)、UV激光器（波長355nm)等。
[0061] 激光20的光源可以是將激光連續振蕩的CW激光器、將激光間歇振蕩的脈沖激光 器中的任一者。
[0062] 激光20在玻璃片12的激光照射面12a上的形狀（點形狀）可與激光20的光源 的種類等相對應地適當設定。這是因為玻璃片12的光吸收率因激光20的波長而改變。例 如，在光源為〇) 2激光器的情況下，激光20的波長較長，激光20的大部分在玻璃片12的激 光照射面12a附近作為熱被吸收。而且，在光源為0) 2激光器的情況下，激光20在玻璃片 12的激光照射面12a上的形狀呈沿激光20的照射位置的移動方向細長的形狀為佳。在激 光20的照射位置移動時，能夠對玻璃片12的切斷位置長時間地進行加熱，而能夠確保自玻 璃片12的激光照射面12a向內部傳遞熱的時間。通過玻璃片12的內部被加熱，能夠形成 沿厚度方向貫穿玻璃片12的裂紋31。
[0063] 在玻璃片12的厚度在200 μm以下的情況下，由于自玻璃片12的激光照射面12a 向內部傳遞熱的時間較短，激光20在玻璃片12的激光照射面12a上的形狀例如可以是圓 形或矩形。在圓形的情況下，當激光20的照射位置的移動軌跡包括曲線狀部分時，移動軌 跡的曲線狀部分的寬度恒定，裂紋31難以自移動軌跡偏離。在橢圓形、矩形的情況下，為了 使移動軌跡的曲線狀部分的寬度恒定，使激光20的照射位置移動并且使激光20繞光軸轉 動即可。例如使激光20的光源繞光軸轉動即可。
[0064] 激光20在玻璃片12的激光照射面12a上的移動方向上的長度L (參照圖3)沒有 特別限定，例如為〇. Imm?60mm，優選為Imm?30mm。另外，與激光20在玻璃片12的激光照 射面12a上的移動方向正交的方向上的長度W(參照圖3)沒有特別限定，例如為0. Olmm? IOmm,優選為 0· 1mm ?5mm〇
[0065] 如圖2所示，在第2工序中，利用制冷劑40對玻璃片12進行局部冷卻，并使制冷 劑40在玻璃片12上的供給位置與激光20在玻璃片12上的照射位置連動地移動為佳。制 冷劑40的供給位置在激光20的照射位置的后方附近為佳。在激光20的照射位置的后方 產生急劇的溫度梯度，激光20的照射位置和裂紋31的前端位置之間的距離變短。
[0066] 制冷劑40可以是氣體（例如室溫的壓縮空氣）、液體（例如室溫的水）中的任一 者，也可以包含這兩者。
[0067] 噴嘴50例如圖2所示地形成為筒狀，朝向玻璃片12噴射制冷劑40。
[0068] 為了移動制冷劑40在玻璃片12上的供給位置，可以移動玻璃片12,也可以移動噴 嘴50,還可以移動這兩者。
[0069] 在本實施方式的第2工序中，如圖2所示，在玻璃片12上形成裂紋31時，未切斷樹 脂膜14。因此，樹脂膜14跨越裂紋31從而將隔著裂紋31而位于裂紋31兩側的玻璃121、 122連接起來。由于隔著裂紋31而位于裂紋31兩側的玻璃121、122利用樹脂膜14連結， 因此，能夠在形成裂紋31時抑制玻璃的變形，以使裂紋31的位置難以自預期的位置偏離。 因而，玻璃片12的切斷精度變得較佳。該效果在樹脂膜14形成在玻璃片12的整個切斷位 置（也就是說，激光20在玻璃片12上的照射位置的移動軌跡）的范圍內的情況下較顯著。
[0070] 在第2工序中，如圖2所示，可以自與樹脂膜14側相反的一側向玻璃片12照射激 光20。激光20在穿過玻璃片12的過程中與玻璃片12的光吸收率相對應地衰減，然后入 射到樹脂膜14。因而，入射到樹脂膜14的激光20的強度較低，樹脂膜14軟化，難以熔融。 當樹脂膜14的一部分熔融時，熔融的部分可能因表面張力而被撕裂。
[0071 ] 在第2工序中，如圖2所示，通過使激光20在玻璃片12上的照射位置移動，可以沿 移動軌跡在樹脂膜14上形成線狀的熱劣化部143。在此，"熱劣化"是指因熱而產生炭化、 發泡等，且是指以激光照射前的樹脂膜14的拉伸強度（MPa)為基準激光照射后的樹脂膜14 的拉伸強度下降0.01%以上的情況。在拉伸強度試驗中，將與線狀的熱劣化部143正交的 方向上的拉伸應力施加于樹脂膜14。
[0072] 線狀的熱劣化部143形成于樹脂膜14,從而樹脂膜14容易以熱劣化部143為中心 彎折。以激光照射前的樹脂膜14的拉伸強度為基準，激光照射后的樹脂膜14的拉伸強度 優選下降〇. 1 %以上，進一步優選下降1 %以上。
[0073] 熱劣化部143形成于樹脂膜14的與玻璃片12相接觸的面14a(參照圖5)。熱劣 化部143可以如圖5所示地不沿厚度方向貫穿樹脂膜14,也可以貫穿樹脂膜14。另外，在 熱劣化部143上還可以形成有與玻璃片12的裂紋31連續的溝線（劃痕線）。
[0074] 而且，在使激光20在玻璃片12上的照射位置移動時，如圖4所示，在移動軌跡的 終端部、即玻璃片12的端部難以形成沿厚度方向貫穿玻璃片12的裂紋31。這是因為裂紋 31基本上因在激光20的照射位置的后方產生的拉伸應力伸展。另外，認為該拉伸應力通過 ⑴在因激光照射而產生的壓縮應力的反作用下產生的拉伸應力、（ii)由激光的加熱導致 的樹脂的熱膨脹而產生的拉伸應力、以及較佳的是（iii)因供給制冷劑而產生的拉伸應力 進行相互作用而產生。另外，認為利用該相互作用能夠使切斷精度變高。
[0075] 若裂紋31的前端接近玻璃片12的端部，則在略微的外力的作用下，裂紋31伸展， 而使玻璃片12截斷。因此，在照射激光20后，在將復合片10自支承臺拆除時，若復合片10 略微撓曲，則會在其應力的作用下使玻璃片12的端部切斷。
[0076] 在復合片10略微撓曲時，在本實施方式中，如圖6所示，樹脂膜14以線狀的熱劣 化部143為中心彎折，玻璃片12的端部與樹脂膜14的變形相配合地彎折。由于線狀的熱 劣化部143沿激光20的照射位置的移動軌跡形成，因此，玻璃片12的端部以該移動軌跡為 中心地彎折。因而，玻璃片12的端部沿激光20的移動軌跡被切斷，而能夠控制切斷位置。 該效果在熱劣化部143形成于與玻璃片12的切斷終止位置相對應的樹脂膜14的端部的情 況下較顯著。
[0077] 熱劣化部143期望形成為自樹脂膜14的一端（激光照射開始點）至一端（激光 照射終止點）。樹脂膜14容易以熱劣化部143為中心彎折。
[0078] 另外，在本實施方式中，切斷激光20的照射位置的移動軌跡的終端部、即玻璃片 12的端部的工序在照射激光20后將復合片10自支承臺上拆除時進行，但也可在將復合片 10自支承臺上拆除后進行。
[0079] 在第3工序中，如圖8所示，切斷樹脂膜14,獲得多個樹脂膜141、142。由此，能夠 獲得多個切斷片111、112。一個切斷片111包括玻璃片121和與玻璃片121相結合的樹脂 膜141。另外，另一個切斷片112包括玻璃片122和與玻璃片122相結合的樹脂膜142。
[0080] 在本實施方式中，如圖4?圖7所示，線狀的熱劣化部143沿激光20在玻璃片12 上的照射位置的移動軌跡形成于樹脂膜14。因而，如圖8所示，通過以線狀的熱劣化部143 為中心地彎折樹脂膜14,能夠沿熱劣化部143切斷（割斷）樹脂膜14。在以線狀的熱劣化 部143為中心地彎折樹脂膜14時，優選以玻璃切斷面彼此之間不摩擦的方式彎折樹脂膜 14〇
[0081] 線狀的熱劣化部143沿激光20的照射位置的移動軌跡形成。因此，如圖9所示， 通過切斷而獲得的玻璃片121的切斷面和通過切斷而獲得的樹脂膜141的切斷面齊平。同 樣，通過切斷而獲得的玻璃片122的切斷面、和通過切斷而獲得的樹脂膜142的切斷面齊 平。與樹脂膜的切斷面比玻璃片的切斷面凹陷的情況相比，玻璃片121、122難以損傷，而容 易保管切斷片111、112。
[0082] 另外，本實施方式的第3工序通過彎折樹脂膜14,切斷樹脂膜14,但樹脂膜14的 切斷方法沒有特別限定。例如，作為使樹脂膜的切斷面和玻璃片的切斷面齊平的樹脂膜的 切斷方法還能夠使用沿線狀的熱劣化部撕裂樹脂膜的方法、利用刀具沿線狀的熱劣化部切 開樹脂膜的方法。另外，樹脂膜的切斷面相比于玻璃片的切斷面稍微凹陷，作為樹脂膜14 的切斷方法還能夠使用利用激光使樹脂膜局部氣化的方法。
[0083] 第2實施方式
[0084] 上述實施方式涉及一種包括玻璃片12和樹脂膜14的復合片10的切斷方法。
[0085] 另一方面，本實施方式涉及一種玻璃片12的切斷方法。玻璃片12的切斷方法與 復合片1的切斷方法相同地具有圖1?圖7的工序為佳，由于這些工序為相同的工序，因此 省略說明。
[0086] 圖10是本發明的第2實施方式的玻璃片的切斷方法的說明圖，是表示接著圖7的 工序而進彳丁的工序的圖。
[0087] 如圖10所示，玻璃片12的切斷方法具有剝離玻璃片12和樹脂膜14的工序。在 剝離玻璃片12和樹脂膜14的情況下，為了在剝離時不損壞玻璃片12,樹脂膜14的剝離強 度例如在3N/25mm以下，優選在lN/25mm以下。
[0088] 剝離玻璃片12和樹脂膜14的方法沒有特別限定，例如可以具有向玻璃片12和樹 脂膜14的界面插入薄刃來制作剝離起點的工序、和將玻璃片12保持平坦且使樹脂膜14自 剝離起點依次撓曲變形的工序。在剝離時，通過將玻璃片12保持平坦，能夠降低玻璃片12 的損壞。
[0089] 在剝離玻璃片12和樹脂膜14時，優選樹脂膜14未被切斷。通過一次的作業能夠 剝離多個玻璃121、122和樹脂膜14。
[0090] 另外，剝離玻璃片12和樹脂膜14的工序可以在切斷樹脂膜14后進行，例如可以 接著圖8的工序進行。
[0091] 玻璃片的切斷方法還可以具有在玻璃片12上形成樹脂膜14的工序。
[0092] 實施例
[0093] 在以下的實施例和比較例中，若無特別記載，玻璃片則使用150mm見方的玻璃片 (厚度為100 μ m、平均線膨脹系數為38 X 10_7/°C、旭硝子公司制無堿玻璃，商品名：AN100)。
[0094] 實施例1
[0095] 在實施例1中，在對玻璃片的形成樹脂膜的面進行了表面處理之后，形成了聚酰 亞胺膜（150mm見方、厚度5 μπι)作為樹脂膜。玻璃片的表面處理通過利用旋涂器涂布氨基 丙基三甲氧基硅烷來進行。聚酰亞胺膜通過在玻璃片的表面處理面利用旋涂器涂布聚酰亞 胺清漆（荒川化學公司制H851D)且以250°C熱處理30分鐘而形成。
[0096] 在實施例1中，將所制作的由玻璃片和聚酰亞胺膜組成的復合片利用圖1?圖9 所示的方法切斷。
[0097] 首先，切斷玻璃片。矩形的玻璃片的四邊中的一邊以20mm間距形成8條初始裂紋。 復合片將聚酰亞胺膜朝下地載置于支承臺。激光自CO2激光器（波長10600nm、輸出39W) 向玻璃片局部照射。激光掃描速度設為130mm/ Sec。使激光在玻璃片上的照射位置以與形 成初始裂紋的一邊垂直地自各初始裂紋的形成位置移動到與該一邊平行的另一邊。其移動 軌跡設為直線狀。另外，自噴嘴向玻璃片局部供給作為制冷劑的霧狀的液滴。使制冷劑的 供給位置位于激光的照射位置的后方附近，且使其與激光的照射位置連動地移動。
[0098] 其結果，以初始裂紋為起點，在玻璃片上沿激光的照射位置的移動軌跡形成了 8 條裂紋。各裂紋沿板厚方向貫穿玻璃片，在激光的照射位置的移動軌跡的終端部未形成各 裂紋。另外，沿著激光的照射位置的整個移動軌跡在聚酰亞胺膜形成了直線狀的熱劣化部。 聚酰亞胺膜跨越裂紋且將隔著裂紋而位于裂紋兩側的玻璃連接起來。
[0099] 然后，在自支承臺上拆除復合片時，聚酰亞胺膜以直線狀的熱劣化部為中心略微 彎折而變形。玻璃片的端部與聚酰亞胺膜的變形相配合地彎折，而玻璃片的端部被切斷。由 此，切斷了玻璃片。
[0100] 接著，以直線狀的熱劣化部為中心彎折聚酰亞胺膜，沿熱劣化部割斷聚酰亞胺膜。 由于直線狀的熱劣化部是沿著激光在玻璃片上的照射位置的整個移動軌跡而形成的，因 此，樹脂膜的切斷面和玻璃片的切斷面大致齊平。
[0101] 由此，切斷了復合片。復合片的切斷精度通過玻璃片上的實際的切斷位置和直線 狀的目標切斷位置之間的偏移幅度（以下稱為"玻璃片上的切斷的偏移幅度"）來評價。評 價分為在激光的照射位置的移動軌跡中的終端部和除終端部以外的部分來進行。
[0102] 在實施例1中，在激光的照射位置的移動軌跡中的終端部和除終端部以外的部分 這兩部分中，玻璃片上的切斷的最大偏移幅度為〇mm。
[0103] 實施例2
[0104] 在實施例2中，在聚酰亞胺薄膜（150mm見方、厚度38 μπκ荒川化學公司制、商品名 示S 7 > )上施加聚酰亞胺有機硅粘合劑（厚度10 μm、荒川化學公司制、商品名Η802)而 制成層疊樹脂薄膜。將制成的層疊樹脂薄膜的粘合劑側粘貼在玻璃片上，從而制成復合片。
[0105] 接著，與實施例1相同，向玻璃片局部照射激光，使其照射位置移動。另外，與實施 例1相同，向玻璃片局部供給制冷劑，使其供給位置移動。
[0106] 其結果，以初始裂紋為起點，在玻璃片上沿激光的照射位置的移動軌跡形成了 8 條裂紋。各裂紋沿板厚方向貫穿玻璃片，在激光的照射位置的移動軌跡的終端部未形成各 裂紋。另外，沿著激光的照射位置的整個移動軌跡在層疊樹脂薄膜形成了直線狀的熱劣化 部。層疊樹脂薄膜跨越裂紋且將隔著裂紋而位于裂紋兩側的玻璃連接起來。
[0107] 然后，在自支承臺上拆除復合片時，層疊樹脂薄膜以直線狀的熱劣化部為中心略 微彎折而變形。玻璃片的端部與層疊樹脂薄膜的變形相配合地略微彎折，而玻璃片的端部 被切斷。由此，切斷了玻璃片。
[0108] 接著，以直線狀的熱劣化部為中心地彎折層疊樹脂薄膜，沿熱劣化部割斷了層疊 樹脂薄膜。由于直線狀的熱劣化部是沿著激光在玻璃片上的照射位置的整個移動軌跡而形 成的，因此，層疊樹脂薄膜的切斷面和玻璃片的切斷面大致齊平。
[0109] 由此，切斷了復合片。在激光的照射位置的移動軌跡中的終端部和除終端部以外 的部分這兩部分中，玻璃片上的切斷的最大偏移幅度為〇mm。
[0110] 實施例3
[0111] 在實施例3中，準備由作為基材的聚萘二甲酸乙二醇酯（PEN)薄膜（150mm見方、 厚度50 μπι)和丙烯酸粘合劑（厚度30 μπι)構成的層疊樹脂薄膜（寺閃制作所制、商品名 635F)。將所準備的層疊樹脂薄膜的粘合劑側粘貼在玻璃片上，從而制成復合片。
[0112] 接著，與實施例1相同，向玻璃片局部照射激光，使其照射位置移動。另外，與實施 例1相同，向玻璃片局部供給制冷劑，使其供給位置移動。
[0113] 其結果，以初始裂紋為起點，在玻璃片上沿激光的照射位置的移動軌跡形成了 8 條裂紋。各裂紋沿板厚方向貫穿玻璃片，在激光的照射位置的移動軌跡的終端部未形成各 裂紋。另外，沿著激光的照射位置的整個移動軌跡在層疊樹脂薄膜形成了直線狀的熱劣化 部。層疊樹脂薄膜跨越裂紋且將隔著裂紋而位于裂紋的兩側的玻璃連接起來。
[0114] 然后，在自支承臺上拆除復合片時，層疊樹脂薄膜以直線狀的熱劣化部為中心略 微彎折而變形。玻璃片的端部與層疊樹脂薄膜的變形相配合地彎折，而玻璃片的端部被切 斷。由此，切斷了玻璃片。
[0115] 接著，以直線狀的熱劣化部為中心彎折層疊樹脂薄膜，沿熱劣化部切斷（割斷）了 層疊樹脂薄膜。由于直線狀的熱劣化部是沿著激光在玻璃片上的照射位置的整個移動軌跡 而形成的，因此，層疊樹脂薄膜的切斷面和玻璃片的切斷面大致齊平。
[0116] 由此，切斷了復合片。在激光的照射位置的移動軌跡中的終端部和除終端部以外 的部分這兩部分中，玻璃片上的切斷的最大偏移幅度為〇mm。
[0117] 實施例4
[0118] 在實施例4中，準備了環狀聚烯烴（COP)薄膜（150mm見方、厚度50 μ m、化成工業 公司制、商品名ZF14)。將所準備的COP薄膜通過電暈放電進行活化處理，加熱貼合在玻璃 片上而制成復合片。
[0119] 接著，與實施例1相同，向玻璃片局部照射激光，使其照射位置移動。另外，與實施 例1相同，向玻璃片局部供給制冷劑，使其供給位置移動。
[0120] 其結果，以初始裂紋為起點，在玻璃片上沿激光的照射位置的移動軌跡形成了 8 條裂紋。各裂紋沿板厚方向貫穿玻璃片，在激光的照射位置的移動軌跡的終端部未形成各 裂紋。另外，沿著激光的照射位置的整個移動軌跡在COP薄膜形成了直線狀的熱劣化部。 COP薄膜跨越裂紋且將隔著裂紋而位于裂紋兩側的玻璃連接起來。
[0121] 然后，在自支承臺上拆除復合片時，COP薄膜以直線狀的熱劣化部為中心略微彎折 而變形。玻璃片的端部與COP薄膜的變形相配合地彎折，而玻璃片的端部被切斷。由此，切 斷了玻璃片。
[0122] 接著，以直線狀的熱劣化部為中心彎折COP薄膜，沿熱劣化部切斷（割斷）了 COP 薄膜。由于直線狀的熱劣化部是沿著激光在玻璃片上的照射位置的整個移動軌跡而形成 的，因此，COP薄膜的切斷面和玻璃片的切斷面大致齊平。
[0123] 由此，切斷了復合片。在激光的照射位置的移動軌跡中的終端部和除終端部以外 的部分這兩部分中，玻璃片上的切斷的最大偏移幅度為〇mm。
[0124] 實施例5
[0125] 在實施例5中，準備了由作為基材的聚對苯二甲酸乙二醇酯（PET)薄膜（厚度 125 μπι)和丙稀酸粘合劑（厚度16 μπι)構成的層疊樹脂薄膜（150mm見方、y Y- ; 1/公司 制、商品名y Y夕7夕PS - 250WA)。將所準備的層疊樹脂薄膜的粘合劑側粘貼在玻璃片 上，從而制成復合片。
[0126] 接著，與實施例1相同，向玻璃片局部照射激光，使其照射位置移動。另外，與實施 例1相同，向玻璃片局部供給制冷劑，使其供給位置移動。
[0127] 其結果，以初始裂紋為起點，在玻璃片上沿激光的照射位置的移動軌跡形成了 8 條裂紋。各裂紋沿板厚方向貫穿玻璃片，在激光的照射位置的移動軌跡的終端部未形成各 裂紋。另外，沿著激光的照射位置的整個移動軌跡在層疊樹脂薄膜形成直線狀的熱劣化部。 層疊樹脂薄膜跨越裂紋且將隔著裂紋而位于裂紋兩側的玻璃連接起來。
[0128] 然后，在自支承臺上拆除復合片時，層疊樹脂薄膜以直線狀的熱劣化部為中心略 微彎折而變形。玻璃片的端部與層疊樹脂薄膜的變形相配合地彎折，從而玻璃片的端部被 切斷。由此，切斷了玻璃片。
[0129] 接著，向玻璃片和層疊樹脂薄膜的界面中插入薄刃來制作剝離起點，將玻璃片12 保持平坦并且使層疊樹脂薄膜自剝離起點依次撓曲變形，一次剝離了多個玻璃單板條（日 文：力'7只単板短冊）。剝離強度為0. llN/25mm。
[0130] 由此，切斷了玻璃片。在激光的照射位置的移動軌跡中的終端部和除終端部以外 的部分這兩個部分中，玻璃片上的切斷的最大偏移幅度為〇mm。
[0131] 實施例6
[0132] 在實施例6中，準備了由作為基材的聚酰亞胺薄膜（厚度25μπι)和丙烯酸粘合劑 (厚度22μπι)組成的層疊樹脂薄膜（150mm見方、3Μ公司制、商品號7414)。將所準備的層 疊樹脂薄膜的粘合劑側粘貼在玻璃片上，從而制成復合片。
[0133] 接著，與實施例1相同，向玻璃片局部照射激光，使其照射位置移動。另外，與實施 例1相同，向玻璃片局部供給制冷劑，使其供給位置移動。
[0134] 其結果，以初始裂紋為起點，在玻璃片上沿激光的照射位置的移動軌跡形成了 8 條裂紋。各裂紋沿板厚方向貫穿玻璃片，在激光的照射位置的移動軌跡的終端部未形成各 裂紋。另外，沿著激光的照射位置的整個移動軌跡在層疊樹脂薄膜形成了直線狀的熱劣化 部。層疊樹脂薄膜跨越裂紋且將隔著裂紋而位于裂紋兩側的玻璃連接起來。
[0135] 然后，在自支承臺上拆除復合片時，層疊樹脂薄膜以直線狀的熱劣化部為中心略 微彎折而變形。玻璃片的端部與層疊樹脂薄膜的變形相配合地彎折，而玻璃片的端部被切 斷。由此，切斷了玻璃片。
[0136] 接著，向玻璃片和層疊樹脂薄膜的界面插入薄刃來制作剝離起點，將玻璃片保持 平坦并且使層疊樹脂薄膜自剝離起點依次撓曲變形，一次剝離了多個玻璃單板條。剝離強 度為 0· 69N/25mm。
[0137] 由此，切斷了玻璃片。在激光的照射位置的移動軌跡中的終端部和除終端部以外 的部分這兩個部分中，玻璃片上的切斷的最大偏移幅度為〇mm。
[0138] 比較例1
[0139] 在比較例1中，對未附有樹脂膜的150mm見方的玻璃片進行了切斷。具體而言，與 實施例1相同，向玻璃片局部照射激光，使其照射位置移動。另外，與實施例1相同，向玻璃 片局部供給制冷劑，使其供給位置移動。
[0140] 其結果，以初始裂紋為起點，在玻璃片上沿激光的照射位置的移動軌跡形成了 8 條裂紋。各裂紋沿板厚方向貫穿玻璃片，在激光的照射位置的移動軌跡的終端部未形成各 裂紋。
[0141] 然后，在自支承臺上拆除玻璃片時，玻璃片撓曲，且在其應力的作用下裂紋向未預 期的方向伸展。
[0142] 在比較例1中，在激光在玻璃片上的照射位置的移動軌跡中的終端部，切斷的最 大偏移幅度為Imm?3mm。另外，在激光在玻璃片上的照射位置的移動軌跡中的除終端部以 外的部分，切斷的最大偏移幅度為Imm左右。
[0143] 比較例2
[0144] 在比較例2中，除將聚酰亞胺薄膜的膜厚設為0. 5 μπι這點以外，與實施例1相同 地制成復合片。
[0145] 接著，與實施例1相同，向玻璃片局部照射激光，使其照射位置移動。另外，與實施 例1相同，向玻璃片局部供給制冷劑，使其供給位置移動。
[0146] 其結果，以初始裂紋為起點，在玻璃片上沿激光的照射位置的移動軌跡形成了 8 條裂紋。各裂紋沿板厚方向貫穿玻璃片，在激光的照射位置的移動軌跡的終端部未形成各 裂紋。另一方面，聚酰亞胺薄膜沿著激光的照射位置的整個移動軌跡被切斷。
[0147] 然后，在自支承臺上拆除復合片時，玻璃片撓曲，且在其應力的作用下裂紋向未預 期的方向伸展。由此，切斷了復合片。
[0148] 在激光在玻璃片上的照射位置的移動軌跡中的終端部，切斷的最大偏移幅度為 Imm?3mm。另外，在激光在玻璃片上的照射位置的移動軌跡中的除終端部以外的部分，切 斷的最大偏移幅度為Imm左右。
[0149] 總結
[0150] 將實施例1?實施例3、及比較例1?比較例12的結果總結在表1?表3中。
[0151] 表 1
[0152]
[0153]
【權利要求】
1. 一種復合片的切斷方法，該復合片包括厚度在200 ym以下的玻璃片、和形成在該玻 璃片上的樹脂膜，其中， 該復合片的切斷方法包括以下工序：向上述復合片的上述玻璃片的局部照射激光，以 玻璃的退火點以下的溫度對上述玻璃片進行局部加熱，使上述激光在上述玻璃片上的照射 位置移動，使沿厚度方向貫穿上述玻璃片的裂紋沿移動軌跡伸展， 在該工序中，上述樹脂膜跨越上述裂紋并將隔著上述裂紋而位于上述裂紋的兩側的玻 璃連接起來，在該工序后切斷上述樹脂膜。
2. 根據權利要求1所述的復合片的切斷方法，其中， 在上述工序中，在使上述激光在上述玻璃片上的照射位置移動時，沿移動軌跡在上述 樹脂膜上形成線狀的熱劣化部。
3. 根據權利要求2所述的復合片的切斷方法，其中， 通過以上述線狀的熱劣化部為中心彎折上述樹脂膜，切斷上述移動軌跡的終端部、即 上述玻璃片的端部。
4. 根據權利要求2或3所述的復合片的切斷方法，其中， 通過以上述線狀的熱劣化部為中心彎折上述樹脂膜，沿上述熱劣化部切斷上述樹脂 膜。
5. 根據權利要求1?4中任一項所述的復合片的切斷方法，其中， 在上述工序中，自與上述樹脂膜側相反的一側向上述玻璃片照射上述激光。
6. 根據權利要求1?5中任一項所述的復合片的切斷方法，其中， 該復合片的切斷方法還包括以下工序：在上述玻璃片上形成成為沿厚度方向貫穿上述 玻璃片的裂紋的起點的初始裂紋。
7. 根據權利要求1?6中任一項所述的復合片的切斷方法，其中， 利用制冷劑對上述復合片的上述玻璃片進行局部冷卻，使制冷劑在上述玻璃片上的供 給位置與激光在上述玻璃片上的照射位置相聯動地移動。
8. -種玻璃片的切斷方法，其為一種厚度在200 ym以下的玻璃片的切斷方法，其中， 該玻璃片的切斷方包括以下工序：向復合片的玻璃片的局部照射激光，以玻璃的退火 點以下的溫度對上述玻璃片進行局部加熱，使上述激光在上述玻璃片上的照射位置移動， 使沿厚度方向貫穿上述玻璃片的裂紋沿移動軌跡伸展，其中，該復合片包括該玻璃片、和形 成在該玻璃片上的樹脂膜， 在該工序中，上述樹脂膜跨越上述裂紋并將隔著上述裂紋而位于上述裂紋的兩側的玻 璃連接起來。
9. 根據權利要求8所述的玻璃片的切斷方法，其中， 在上述工序中，在使上述激光在上述玻璃片上的照射位置移動時，沿移動軌跡在上述 樹脂膜上形成線狀的熱劣化部， 在上述工序后，通過以上述線狀的熱劣化部為中心彎折上述樹脂膜，切斷上述移動軌 跡的終端部、即上述玻璃片的端部。
10. 根據權利要求8或9所述的玻璃片的切斷方法，其中， 在上述樹脂膜未被切斷的狀態下，剝離上述樹脂膜和上述玻璃片。
11. 根據權利要求8?10中任一項所述的玻璃片的切斷方法，其中， 在上述工序中，自與上述樹脂膜側相反的一側向上述玻璃片照射上述激光。
12. 根據權利要求8?11中任一項所述的玻璃片的切斷方法，其中， 該玻璃片的切斷方法還包括以下工序：在上述玻璃片上形成成為沿厚度方向貫穿上述 玻璃片的裂紋的起點的初始裂紋。
13. 根據權利要求8?12中任一項所述的玻璃片的切斷方法，其中， 在上述工序中，利用制冷劑對上述玻璃片進行局部冷卻，使制冷劑在上述玻璃片上的 供給位置與激光在上述玻璃片上的照射位置相聯動地移動。
14. 一種復合片的切斷片，能夠通過權利要求1?7中任一項所述的復合片的切斷方法 獲得，其中， 該復合片的切斷片包括玻璃片和與該玻璃片結合的樹脂膜，通過切斷而獲得的玻璃片 的切斷面、和通過切斷而獲得的樹脂膜的切斷面齊平。
【文檔編號】B26F3/00GK104487391SQ201380038806
【公開日】2015年4月1日 申請日期:2013年8月1日 優先權日:2012年8月21日
【發明者】角田純一, 江畑研一, 井上淳, 三谷真丈 申請人:旭硝子株式會社
相關技術
網友詢問留言
已有0條留言
- 還沒有人留言評論。精彩留言會獲得點贊！
1