本發(fā)明涉及一種檢查通過(guò)空氣的吸引來(lái)吸附對(duì)象物的吸嘴的檢查方法。

背景技術(shù)：

吸嘴通過(guò)空氣的吸引來(lái)吸附對(duì)象物，因此需要適當(dāng)?shù)奈ΑＴ诋a(chǎn)生堵塞等的吸嘴中，無(wú)法獲得適當(dāng)?shù)奈Γ虼俗鳛槲斓臋z查，具有在吸嘴的內(nèi)部是否流動(dòng)適當(dāng)量的空氣的檢查(以下，有時(shí)記載為“空氣流量檢查”)。在下述專利文獻(xiàn)中，記載有空氣流量檢查的一個(gè)例子。

專利文獻(xiàn)1：日本特開(kāi)2004-103922號(hào)公報(bào)

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

根據(jù)上述專利文獻(xiàn)所記載的檢查方法，能夠一定程度地適當(dāng)進(jìn)行空氣流量檢查。然而，在空氣流量檢查時(shí)，通常從空氣源供給空氣，使用該空氣進(jìn)行空氣流量的測(cè)定，但有時(shí)從空氣源供給的空氣的壓力較大變動(dòng)。在這樣的情況下，由于在吸嘴的內(nèi)部流動(dòng)的空氣流量也發(fā)生變動(dòng)，因此可能無(wú)法適當(dāng)?shù)剡M(jìn)行空氣流量檢查。本發(fā)明是鑒于這樣的實(shí)際情況而作出的，本發(fā)明的課題在于，即便在從空氣源供給的空氣的壓力較大變動(dòng)的情況下，也可以適當(dāng)?shù)剡M(jìn)行空氣流量檢查。

為了解決上述課題，本申請(qǐng)所記載的檢查方法用于檢查通過(guò)空氣的吸引來(lái)吸附對(duì)象物的吸嘴，上述檢查方法的特征在于，該檢查方法包括以下工序：基準(zhǔn)管測(cè)定工序，測(cè)定在截面積不同的多個(gè)基準(zhǔn)管中分別流動(dòng)的每單位時(shí)間的空氣流量；比例常數(shù)計(jì)算工序，基于在上述基準(zhǔn)管測(cè)定工序中測(cè)定出的上述多個(gè)基準(zhǔn)管各自的空氣流量與上述多個(gè)基準(zhǔn)管各自的截面積，計(jì)算上述基準(zhǔn)管的空氣流量與截面積的比例常數(shù)；吸嘴測(cè)定工序，測(cè)定在檢查對(duì)象的吸嘴中流動(dòng)的每單位時(shí)間的空氣流量；及截面積計(jì)算工序，基于在上述吸嘴測(cè)定工序中測(cè)定出的空氣流量與在上述比例常數(shù)計(jì)算工序中計(jì)算出的比例常數(shù)，計(jì)算上述檢查對(duì)象的吸嘴的截面積。

另外，為了解決上述課題，本申請(qǐng)所記載的檢查方法用于檢查通過(guò)空氣的吸引來(lái)吸附對(duì)象物的吸嘴，上述檢查方法的特征在于，該檢查方法包括以下工序：壓力調(diào)整工序，將從第一空氣源供給的空氣的壓力調(diào)整為設(shè)定壓力；流量調(diào)整工序，利用在上述壓力調(diào)整工序中調(diào)整過(guò)的壓力的空氣將在空氣流路內(nèi)流動(dòng)的空氣的每單位時(shí)間的流量調(diào)整為設(shè)定量；空氣源更換工序，在上述流量調(diào)整工序中的空氣的流量的調(diào)整結(jié)束之后，將第一空氣源更換為壓力變動(dòng)比上述第一空氣源大的第二空氣源；第一測(cè)定工序，在上述空氣源更換工序中的空氣源的更換結(jié)束之后，測(cè)定在上述空氣流路內(nèi)流動(dòng)的空氣的每單位時(shí)間的流量；第二測(cè)定工序，在向上述空氣流路連接有檢查對(duì)象的吸嘴的狀態(tài)下，測(cè)定在上述空氣流路內(nèi)流動(dòng)的空氣的每單位時(shí)間的流量；及推定流量計(jì)算工序，將對(duì)在上述第二測(cè)定工序中測(cè)定出的每單位時(shí)間的流量乘以在上述第一測(cè)定工序中測(cè)定出的每單位時(shí)間的流量相對(duì)于上述設(shè)定量的比率而得到的值計(jì)算為推定流量。

發(fā)明效果

在本申請(qǐng)所記載的檢查方法中，測(cè)定在截面積不同的多個(gè)基準(zhǔn)管中分別流動(dòng)的每單位時(shí)間的空氣流量。接著，基于測(cè)定出的多個(gè)基準(zhǔn)管各自的空氣流量及上述多個(gè)基準(zhǔn)管各自的截面積，計(jì)算基準(zhǔn)管的空氣流量與截面積的比例常數(shù)。另外，測(cè)定在檢查對(duì)象的吸嘴中流動(dòng)的每單位時(shí)間的空氣流量。并且，基于測(cè)定出的吸嘴的空氣流量與計(jì)算出的比例常數(shù)，計(jì)算檢查對(duì)象的吸嘴的截面積。即使在從空氣源供給的空氣的壓力發(fā)生了變動(dòng)的情況下，基于吸嘴的空氣流量與比例常數(shù)而計(jì)算出的吸嘴的截面積也如之后詳細(xì)說(shuō)明的那樣大體恒定。另外，吸嘴的截面積與在吸嘴的內(nèi)部流動(dòng)的空氣流量成比例。因此，通過(guò)使用計(jì)算出的吸嘴的截面積進(jìn)行空氣流量檢查，即使在從空氣源供給的空氣的壓力較大變動(dòng)的情況下，也能夠適當(dāng)?shù)剡M(jìn)行空氣流量檢查。

另外，在本申請(qǐng)所記載的檢查方法中，將從第一空氣源供給的空氣的壓力調(diào)整為設(shè)定壓力。接著，利用調(diào)整過(guò)的壓力的空氣將在空氣流路內(nèi)流動(dòng)的空氣的每單位時(shí)間的流量調(diào)整為設(shè)定量。接著，在空氣的流量的調(diào)整結(jié)束之后，將第一空氣源更換為壓力變動(dòng)比該第一空氣源大的第二空氣源。另外，在空氣源的更換結(jié)束之后，測(cè)定在空氣流路內(nèi)流動(dòng)的空氣的每單位時(shí)間的流量。另外，在向空氣流路連接有檢查對(duì)象的吸嘴的狀態(tài)下，測(cè)定在空氣流路內(nèi)流動(dòng)的空氣的每單位時(shí)間的流量。并且，將對(duì)連接有吸嘴的狀態(tài)下的空氣流路的每單位時(shí)間的空氣流量乘以在更換空氣源之后測(cè)定出的每單位時(shí)間的空氣流量相對(duì)于上述設(shè)定量的比率而得到的值計(jì)算為推定流量。該計(jì)算出的推定流量成為在從第一空氣源供給空氣時(shí)、即在空氣流路中流動(dòng)的空氣的流量幾乎不發(fā)生變動(dòng)時(shí)的空氣流量。因此，通過(guò)基于推定流量而進(jìn)行空氣流量檢查，即使在從空氣源供給的空氣的壓力較大變動(dòng)的情況下，也能夠適當(dāng)?shù)剡M(jìn)行空氣流量檢查。

附圖說(shuō)明

圖1是表示電子元件裝配裝置的立體圖。

圖2是表示吸嘴的立體圖。

圖3是表示吸嘴管理裝置的立體圖。

圖4是表示流量檢查裝置的概略圖。

圖5是表示吸嘴的截面積與在吸嘴的內(nèi)部流動(dòng)的空氣的流量的關(guān)系的圖。

圖6是表示第二實(shí)施例的流量檢查裝置的概略圖。

具體實(shí)施方式

以下，作為本發(fā)明的具體實(shí)施方式，參照附圖對(duì)本發(fā)明的實(shí)施例進(jìn)行詳細(xì)說(shuō)明。

＜電子元件裝配裝置的結(jié)構(gòu)＞

在圖1中示出電子元件裝配裝置(以下，有時(shí)省略為“裝配裝置”)10。裝配裝置10具有一個(gè)系統(tǒng)基座12及在該系統(tǒng)基座12之上鄰接的兩臺(tái)電子元件裝配機(jī)(以下，有時(shí)省略為“裝配機(jī)”)14。此外，將裝配機(jī)14的并排方向稱作X軸方向，將與該方向呈直角的水平的方向稱作Y軸方向。

各裝配機(jī)14主要具備裝配機(jī)主體20、搬運(yùn)裝置22、裝配頭移動(dòng)裝置(以下，有時(shí)省略為“移動(dòng)裝置”)24、裝配頭26、供給裝置28及吸嘴站30。裝配機(jī)主體20由框架部32、架在該框架部32上的橫梁部34構(gòu)成。

搬運(yùn)裝置22具備兩個(gè)輸送機(jī)裝置40、42。上述兩個(gè)輸送機(jī)裝置40、42相互平行，并且以沿X軸方向延伸的方式配設(shè)于框架部32。兩個(gè)輸送機(jī)裝置40、42分別通過(guò)電磁馬達(dá)(省略圖示)沿X軸方向搬運(yùn)支撐于各輸送機(jī)裝置40、42的電路基板。另外，電路基板在預(yù)定的位置由基板保持裝置(省略圖示)固定地保持。

移動(dòng)裝置24是XY機(jī)器人型的移動(dòng)裝置。移動(dòng)裝置24具備使滑動(dòng)件50沿X軸方向滑動(dòng)的電磁馬達(dá)(省略圖示)及沿Y軸方向滑動(dòng)的電磁馬達(dá)(省略圖示)。在滑動(dòng)件50上安裝有裝配頭26，該裝配頭26通過(guò)兩個(gè)電磁馬達(dá)的工作而向框架部32上的任意的位置移動(dòng)。

裝配頭26向電路基板裝配電子元件。在裝配頭26的下端面設(shè)有吸嘴60。如圖2所示，吸嘴60由軀體筒64、凸緣部66、吸附管68及卡定銷70構(gòu)成。軀體筒64呈圓筒狀，凸緣部66以向軀體筒64的外周面伸出的方式被固定。吸附管68呈細(xì)管狀，以從軀體筒64的下端部朝下方延伸的狀態(tài)沿軸線方向能夠移動(dòng)地保持于軀體筒64。卡定銷70以沿軀體筒64的徑向延伸的方式設(shè)于軀體筒64的上端部。吸嘴60利用卡定銷70，以單觸式能夠裝卸地安裝于裝配頭26。

另外，吸嘴60經(jīng)由負(fù)壓空氣、正壓空氣通路，與正負(fù)壓供給裝置(省略圖示)相通。各吸嘴60通過(guò)負(fù)壓來(lái)吸附保持電子元件，通過(guò)正壓使所保持的電子元件脫離。另外，裝配頭26具有使吸嘴60升降的吸嘴升降裝置(省略圖示)。通過(guò)該吸嘴升降裝置，裝配頭26變更所保持的電子元件的上下方向的位置。

供給裝置28是供料器型的供給裝置，如圖1所示，配設(shè)在框架部32的前方側(cè)的端部。供給裝置28具有帶式供料器72。帶式供料器72以使帶化元件卷繞的狀態(tài)對(duì)帶化元件進(jìn)行收容。帶化元件通過(guò)使電子元件帶化而成。并且，帶式供料器72通過(guò)送出裝置(省略圖示)來(lái)送出帶化元件。由此，供料器型的供給裝置28通過(guò)帶化元件的送出，在供給位置供給電子元件。

吸嘴站30具有收容多個(gè)吸嘴60的吸嘴托盤(pán)78。在該吸嘴站30中，根據(jù)需要進(jìn)行安裝于裝配頭26的吸嘴60與收容于吸嘴托盤(pán)78的吸嘴60的互換等。另外，吸嘴托盤(pán)78能夠相對(duì)于吸嘴站30進(jìn)行裝卸，能夠在裝配機(jī)14的外部進(jìn)行收容于吸嘴托盤(pán)78的吸嘴60的回收及吸嘴60向吸嘴托盤(pán)78的補(bǔ)給等。

＜裝配機(jī)的裝配作業(yè)＞

在裝配機(jī)14中，通過(guò)上述的結(jié)構(gòu)，能夠通過(guò)裝配頭26向保持于搬運(yùn)裝置22的電路基板進(jìn)行裝配作業(yè)。具體來(lái)說(shuō)，根據(jù)裝配機(jī)14的控制裝置(省略圖示)的指令，將電路基板搬運(yùn)至作業(yè)位置，在該位置處，由基板保持裝置固定地保持。另外，帶式供料器72通過(guò)控制裝置的指令，送出帶化元件，在供給位置供給電子元件。并且，裝配頭26向電子元件的供給位置的上方移動(dòng)，通過(guò)吸嘴60來(lái)吸附保持電子元件。接著，裝配頭26向電路基板的上方移動(dòng)，將所保持的電子元件裝配在電路基板上。

＜吸嘴的檢查＞

在裝配機(jī)14中，如上述那樣，由帶式供料器72供給的電子元件由吸嘴60吸附保持，將該電子元件裝配在電路基板上。因此，當(dāng)吸嘴60產(chǎn)生不良情況時(shí)，無(wú)法執(zhí)行適當(dāng)?shù)难b配作業(yè)。考慮到上述情況，從裝配機(jī)14的吸嘴站30卸下吸嘴托盤(pán)78，在吸嘴管理裝置中進(jìn)行收容于吸嘴托盤(pán)78的吸嘴60的檢查。

詳細(xì)來(lái)說(shuō)，如圖3所示，吸嘴管理裝置80大致呈立方體形狀，正面設(shè)有用于將吸嘴托盤(pán)78收納在吸嘴管理裝置80內(nèi)、或者從吸嘴管理裝置80取出吸嘴托盤(pán)78的抽屜82。并且，收納在吸嘴管理裝置80內(nèi)的吸嘴60在吸嘴管理裝置80內(nèi)被進(jìn)行管理及檢查。在檢查該吸嘴60時(shí)，進(jìn)行在吸嘴60內(nèi)流動(dòng)的空氣的流量的檢查。

詳細(xì)來(lái)說(shuō)，進(jìn)行空氣流量的檢查的流量檢查裝置100如圖4所示具備工廠空氣源102、調(diào)節(jié)器104、噴射器106、流量測(cè)定器108及空氣接頭110。工廠空氣源102是流量檢查裝置100的空氣源，供給向流量檢查裝置100加壓的空氣。但是，工廠空氣源102也可以是配設(shè)有吸嘴管理裝置80的工廠內(nèi)的其它裝置的空氣源，通過(guò)空氣向其它裝置的供給等，使由工廠空氣源102供給的空氣的壓力發(fā)生變動(dòng)。

調(diào)節(jié)器104是調(diào)整空氣的壓力的調(diào)整閥，配設(shè)在供從工廠空氣源102供給的空氣流動(dòng)的加壓空氣流路112。由此，從工廠空氣源102供給來(lái)的空氣通過(guò)調(diào)節(jié)器104被調(diào)整為任意的壓力。另外，噴射器106是利用加壓后的空氣對(duì)空氣進(jìn)行減壓的真空泵，且與加壓空氣流路112連接。由此，噴射器106從真空口114吸引空氣，并且從排氣口116排出空氣。

在該真空口114連接減壓空氣流路118，減壓空氣流路118內(nèi)的空氣由噴射器106吸引。在該減壓空氣流路118配設(shè)流量測(cè)定器108，通過(guò)流量測(cè)定器108來(lái)測(cè)定在減壓空氣流路118內(nèi)流動(dòng)的空氣的每單位時(shí)間的流量(以下，有時(shí)省略記載為“空氣流量”)。另外，在減壓空氣流路118連接有空氣接頭110，通過(guò)在該空氣接頭110上連接吸嘴60的吸附管68，通過(guò)流量測(cè)定器108來(lái)測(cè)定在吸嘴60內(nèi)流動(dòng)的空氣的流量。

當(dāng)在吸嘴60內(nèi)流動(dòng)的空氣的流量被測(cè)定時(shí)，基于該測(cè)定值，能夠判斷吸嘴60是否正常。詳細(xì)來(lái)說(shuō)，在向正常的吸嘴60供給空氣時(shí)，由于空氣穿過(guò)吸嘴60內(nèi)，因此由流量測(cè)定器108測(cè)定的空氣流量比較多。另一方面，在向產(chǎn)生了堵塞等的吸嘴60供給空氣時(shí)，由于空氣難以穿過(guò)吸嘴60內(nèi)，因此由流量測(cè)定器108測(cè)定的空氣流量變得比較少。因此，能夠在由流量測(cè)定器108測(cè)定出的空氣流量多于預(yù)定的量的情況下，判斷為吸嘴60正常，在由流量測(cè)定器108測(cè)定出的空氣流量為預(yù)定的量以下的情況下，判斷為吸嘴60不合格。但是，由于由流量檢查裝置100的空氣源、即工廠空氣源102供給的空氣的壓力如上述那樣發(fā)生變動(dòng)，因此在減壓空氣流路118內(nèi)流動(dòng)的空氣的流量也可能變動(dòng)。因此，使用由流量測(cè)定器108測(cè)定出的空氣流量，有可能無(wú)法適當(dāng)?shù)嘏袛辔?0是否正常。

鑒于上述情況，在流量檢查裝置100中，基于由流量測(cè)定器108測(cè)定出的空氣流量，推定吸嘴60的有效截面積，利用該推定出的吸嘴60的有效截面積，判斷吸嘴60是否正常。具體來(lái)說(shuō)，首先，測(cè)定在兩根基準(zhǔn)管120、122內(nèi)流動(dòng)的空氣流量。兩根基準(zhǔn)管120、122的有效截面積互不相同，基準(zhǔn)管120的有效截面積為D₁，基準(zhǔn)管122的有效截面積為D₂(＜D₁)。此外，吸嘴60及基準(zhǔn)管120、122的有效截面積是供空氣流通的路線的最小的截面積。

當(dāng)測(cè)定在兩根基準(zhǔn)管120、122內(nèi)流動(dòng)的空氣流量時(shí)，計(jì)算測(cè)定出的空氣流量相對(duì)于基準(zhǔn)管120、122的有效截面積的比例常數(shù)。具體來(lái)說(shuō)，例如，在基準(zhǔn)管120內(nèi)流動(dòng)的空氣流量為L(zhǎng)₁、在基準(zhǔn)管122內(nèi)流動(dòng)的空氣流量為L(zhǎng)₂(＜L₁)的情況下，比例常數(shù)A根據(jù)下述式來(lái)計(jì)算。

A＝(L₁-L₂)/(D₁-D₂)

當(dāng)按照上述順序來(lái)計(jì)算比例常數(shù)A時(shí)，基于該比例常數(shù)A與在吸嘴60內(nèi)流動(dòng)的空氣流量，計(jì)算吸嘴60的有效截面積。詳細(xì)來(lái)說(shuō)，在吸嘴60內(nèi)流動(dòng)的空氣流量為L(zhǎng)_n1的情況下，如圖5所示，基于以比例常數(shù)A為斜率的直線130，作為吸嘴60的有效截面積，計(jì)算出D_n。

另外，例如，在從工廠空氣源102供給的空氣的壓力發(fā)生變動(dòng)、在減壓空氣流路118流動(dòng)的空氣的流量發(fā)生了變化的情況下，空氣流量相對(duì)于基準(zhǔn)管120、122的有效截面積的比例常數(shù)發(fā)生變化。具體來(lái)說(shuō)，例如有時(shí)根據(jù)在減壓空氣流路118流動(dòng)的空氣流量的變化，在基準(zhǔn)管120內(nèi)流動(dòng)的空氣流量成為L(zhǎng)₃，在基準(zhǔn)管122內(nèi)流動(dòng)的空氣流量成為L(zhǎng)₄(＜L₃)。在這樣的情況下，比例常數(shù)A′根據(jù)下述式來(lái)計(jì)算。

A′＝(L₃-L₄)/(D₁-D₂)

并且，在吸嘴60內(nèi)流動(dòng)的空氣流量為L(zhǎng)_n2的情況下，基于以比例常數(shù)A′為斜率的直線132，作為吸嘴60的有效截面積，計(jì)算出D_n。此時(shí)，如圖5所示，以比例常數(shù)A′為斜率的直線132與以比例常數(shù)A為斜率的直線130不同，但由于(L₃-L_n2)：(L_n2-L₄)的比率與(L₁-L_n1)：(L_n1-L₂)的比率相同，因此基于以比例常數(shù)A′為斜率的直線132計(jì)算出的有效截面積D_n與基于以比例常數(shù)A為斜率的直線130計(jì)算出的有效截面積D_n相同。即，即使在從工廠空氣源102供給的空氣的壓力發(fā)生變動(dòng)而空氣流量相對(duì)于基準(zhǔn)管120、122的有效截面積的比例常數(shù)發(fā)生了變化的情況下，也作為吸嘴60的有效截面積而計(jì)算出D_n。

另外，例如在空氣流量的測(cè)定值偏離預(yù)定量α的情況下，在基準(zhǔn)管120內(nèi)流動(dòng)的空氣流量成為L(zhǎng)₃+α，在基準(zhǔn)管122內(nèi)流動(dòng)的空氣流量成為L(zhǎng)₄+α。在這樣的情況下，比例常數(shù)根據(jù)下述式來(lái)計(jì)算，該比例常數(shù)與上述比例常數(shù)A′相同。

A′＝{(L₃+α)-(L₄+α)}/(D₁-D₂)＝(L₃-L₄)/(D₁-D₂)

但是，雖然空氣流量的測(cè)定值發(fā)生了偏移的情況下的直線134與偏移前的直線132的比例常數(shù)相同，但截距不同。在這樣的情況下，在吸嘴60內(nèi)流動(dòng)的空氣流量也偏離預(yù)定量α，成為L(zhǎng)_n2+α。此時(shí)，{(L₃+α)-(L_n2+α)}：{(L_n2+α)-(L₄+α)}的比率與(L₃-L_n2)：(L_n2-L₄)的比率相同，因此基于直線134而計(jì)算出的有效截面積為D_n。即，即使在空氣流量的測(cè)定值發(fā)生了偏移的情況下，也作為吸嘴60的有效截面積而計(jì)算出D_n。

這樣，在流量檢查裝置100中，即使在產(chǎn)生了從工廠空氣源102供給的空氣的壓力變動(dòng)的情況及空氣流量的測(cè)定值發(fā)生了偏移的情況下，也能夠適當(dāng)?shù)赜?jì)算吸嘴60的有效截面積。另外，如圖5所示，吸嘴60的有效截面積與在吸嘴60內(nèi)流動(dòng)的空氣流量呈比例。即，在向正常的吸嘴60供給空氣時(shí)，由于比較多的量的空氣在吸嘴60內(nèi)流動(dòng)，因此吸嘴60的有效截面積比較大。另一方面，在向產(chǎn)生堵塞等的吸嘴60供給空氣時(shí)，由于僅少量的空氣在吸嘴60內(nèi)流動(dòng)，因此吸嘴60的有效截面積比較小。因此，在計(jì)算出的吸嘴60的有效截面積多于預(yù)定的截面積的情況下，判斷為吸嘴60正常，在計(jì)算出的吸嘴60的有效截面積為預(yù)定的截面積以下的情況下，判斷為吸嘴60不合格。由此，即使在產(chǎn)生了從工廠空氣源102供給的空氣的壓力變動(dòng)的情況下，也能夠適當(dāng)?shù)嘏袛辔?0是否正常。

此外，通過(guò)流量測(cè)定器108來(lái)測(cè)定在基準(zhǔn)管120、122內(nèi)流動(dòng)的空氣流量的工序是基準(zhǔn)管測(cè)定工序的一個(gè)例子。基于在基準(zhǔn)管測(cè)定工序中測(cè)定出的基準(zhǔn)管120、122內(nèi)流動(dòng)的空氣流量與基準(zhǔn)管120、122的有效截面積而計(jì)算空氣流量相對(duì)于基準(zhǔn)管120、122的有效截面積的比例常數(shù)的工序是比例常數(shù)計(jì)算工序的一個(gè)例子。在向空氣接頭110連接有吸嘴60的吸附管68的狀態(tài)下通過(guò)流量測(cè)定器108來(lái)測(cè)定在吸嘴60內(nèi)流動(dòng)的空氣流量的工序是吸嘴測(cè)定工序的一個(gè)例子。基于在比例常數(shù)計(jì)算工序中計(jì)算出的比例常數(shù)和在吸嘴測(cè)定工序中測(cè)定出的在吸嘴60內(nèi)流動(dòng)的空氣流量而計(jì)算吸嘴60的有效截面積的工序是截面積計(jì)算工序的一個(gè)例子。

＜第二實(shí)施例＞

在上述實(shí)施例的流量檢查裝置100中，基于吸嘴60的有效截面積，判斷吸嘴60是否正常，但在第二實(shí)施例的流量檢查裝置中，基于在吸嘴60內(nèi)流動(dòng)的空氣流量，判斷吸嘴60是否正常。以下，對(duì)使用圖6所示的第二實(shí)施例的流量檢查裝置150的吸嘴60的檢查方法進(jìn)行說(shuō)明。此外，第二實(shí)施例的流量檢查裝置150除了壓縮機(jī)152、壓力計(jì)154與速度控制器156之外，采用與上述流量檢查裝置100相同的結(jié)構(gòu)。因此，對(duì)于與流量檢查裝置100的結(jié)構(gòu)相同的部件，使用與流量檢查裝置100相同的附圖標(biāo)記并省略說(shuō)明。

在流量檢查裝置150中，如圖6所示，作為空氣源，設(shè)有工廠空氣源102與壓縮機(jī)152，從上述工廠空氣源102與壓縮機(jī)152中的任一方供給向加壓空氣流路112加壓的空氣。此外，壓縮機(jī)152僅向流量檢查裝置150供給空氣，與工廠空氣源102不同，從壓縮機(jī)152供給的空氣的變動(dòng)較少。

另外，壓力計(jì)154配設(shè)在加壓空氣流路112的調(diào)節(jié)器104與噴射器106之間，檢測(cè)向噴射器106供給的空氣的壓力。由此，能夠通過(guò)調(diào)節(jié)器104將向噴射器106供給的空氣的壓力調(diào)整為預(yù)定的壓力。另外，速度控制器156配設(shè)在減壓空氣流路118的噴射器106與流量測(cè)定器108之間，調(diào)整在減壓空氣流路118流動(dòng)的空氣的流量。

在上述構(gòu)造的流量檢查裝置150中，首先，從壓縮機(jī)152向加壓空氣流路112供給空氣。由此，將壓力變動(dòng)少的空氣向加壓空氣流路112供給。并且，將向噴射器106供給的空氣的壓力通過(guò)調(diào)節(jié)器104調(diào)整為設(shè)定壓力。接著，將在減壓空氣流路118流動(dòng)的空氣的流量通過(guò)速度控制器156調(diào)整為設(shè)定量。此外，在通過(guò)速度控制器156來(lái)調(diào)整空氣流量時(shí)，在空氣接頭110上沒(méi)有連接吸嘴60。即，將在開(kāi)放的狀態(tài)下的減壓空氣流路118流動(dòng)的空氣的流量(以下，有時(shí)記載為“調(diào)整時(shí)開(kāi)放流量”)調(diào)整為設(shè)定量。

當(dāng)將調(diào)整時(shí)開(kāi)放流量設(shè)定為設(shè)定量時(shí)，流量檢查裝置150的空氣源從壓縮機(jī)152變更為工廠空氣源102。即，從工廠空氣源102向加壓空氣流路112供給空氣。并且，在變更空氣源之后，通過(guò)流量測(cè)定器108來(lái)測(cè)定在減壓空氣流路118流動(dòng)的空氣的流量。此外，在變更空氣源之后通過(guò)流量測(cè)定器108測(cè)定空氣流量時(shí)，在空氣接頭110上沒(méi)有連接吸嘴60。即，在變更空氣源之后，測(cè)定在開(kāi)放的狀態(tài)下的減壓空氣流路118中流動(dòng)的空氣的流量(以下，有時(shí)記載為“空氣源變更后開(kāi)放流量”)。

接著，在減壓空氣流路118連接吸嘴60的吸附管68，通過(guò)流量測(cè)定器108來(lái)測(cè)定在該吸嘴60內(nèi)流動(dòng)的空氣流量。并且，基于調(diào)整時(shí)開(kāi)放流量與空氣源變更后開(kāi)放流量來(lái)調(diào)整在該吸嘴60內(nèi)流動(dòng)的空氣流量的測(cè)定值(以下，有時(shí)記載為“吸嘴測(cè)定值”)。

詳細(xì)來(lái)說(shuō)，在測(cè)定吸嘴測(cè)定值時(shí)，從工廠空氣源102向加壓空氣流路112供給空氣。因此，通過(guò)向加壓空氣流路112供給的空氣的壓力變動(dòng)而使在減壓空氣流路118流動(dòng)的空氣流量也發(fā)生變動(dòng)，即使在測(cè)定相同的吸嘴60的空氣流量的情況下，吸嘴測(cè)定值也可能在每次測(cè)定中不同。即，使用吸嘴測(cè)定值，有可能無(wú)法適當(dāng)?shù)嘏袛辔?0是否正常。因此，吸嘴測(cè)定值L_n根據(jù)下述式來(lái)調(diào)整，計(jì)算調(diào)整后的空氣流量L。

L＝(L₀/L_s)×L_n

此外，L_s是調(diào)整時(shí)開(kāi)放流量，L₀是空氣源變更后開(kāi)放流量。

根據(jù)上述式計(jì)算出的空氣流量L成為從壓縮機(jī)152向加壓空氣流路112供給空氣時(shí)、即減壓空氣流路118的空氣流量幾乎不發(fā)生變動(dòng)時(shí)的空氣流量。由此，即使在因向加壓空氣流路112供給的空氣的壓力變動(dòng)而測(cè)定出不同的吸嘴測(cè)定值L_n的情況下，根據(jù)上述式計(jì)算出的空氣流量L也大體恒定。由此，能夠使用計(jì)算出的空氣流量L，適當(dāng)?shù)嘏袛辔?0是否正常。

此外，通過(guò)調(diào)節(jié)器104來(lái)調(diào)整從壓縮機(jī)152供給的空氣的壓力的工序是壓力調(diào)整工序的一個(gè)例子。通過(guò)速度控制器156來(lái)調(diào)整調(diào)整時(shí)開(kāi)放流量L_s的工序是流量調(diào)整工序的一個(gè)例子。將流量檢查裝置150的空氣源從壓縮機(jī)152變更為工廠空氣源102的工序是空氣源更換工序的一個(gè)例子。在空氣源的變更后通過(guò)流量測(cè)定器108來(lái)測(cè)定空氣源變更后開(kāi)放流量L₀的工序是第一測(cè)定工序的一個(gè)例子。在空氣源變更后開(kāi)放流量測(cè)定后通過(guò)流量測(cè)定器108來(lái)測(cè)定吸嘴測(cè)定值L_n的工序是第二測(cè)定工序的一個(gè)例子。根據(jù)上述式而計(jì)算空氣流量L的工序是推定流量計(jì)算工序的一個(gè)例子。

另外，本發(fā)明并非限定于上述實(shí)施例，能夠通過(guò)基于本領(lǐng)域技術(shù)人員的知識(shí)而施加各種變更、改進(jìn)后的各種樣態(tài)進(jìn)行實(shí)施。具體來(lái)說(shuō)，例如，在上述實(shí)施例中，測(cè)定從吸嘴60的吸附管68吸引空氣時(shí)的空氣流量，但也能夠測(cè)定向吸附管68吹入空氣時(shí)的空氣流量。

另外，在上述第一實(shí)施例中，使用流量檢查裝置100來(lái)推定吸嘴60的截面積，但也能夠使用流量檢查裝置150來(lái)進(jìn)行吸嘴60的推定。詳細(xì)來(lái)說(shuō)，在通過(guò)流量檢查裝置150對(duì)調(diào)整時(shí)開(kāi)放流量進(jìn)行調(diào)整之后，測(cè)定基準(zhǔn)管120、122的空氣流量，基于測(cè)定出的空氣流量與基準(zhǔn)管120、122的有效截面積，計(jì)算空氣流量相對(duì)于基準(zhǔn)管120、122的有效截面積的比例常數(shù)。并且，能夠基于計(jì)算出的比例常數(shù)與吸嘴60的空氣流量，計(jì)算吸嘴60的有效截面積。

另外，在上述實(shí)施例中，本發(fā)明的檢查方法適用于吸附保持電子元件的吸嘴60的檢查方法，但也能夠適用于吸附保持各種對(duì)象物的吸嘴的檢查方法。

附圖標(biāo)記說(shuō)明

60：吸嘴

102：工廠空氣源(第一空氣源)

118：減壓空氣流路(空氣流路)

120：基準(zhǔn)管

122：基準(zhǔn)管

152：壓縮機(jī)(第二空氣源)