專利名稱：鄰硝基芐酯化合物及包含它的正型光敏樹脂組合物的制作方法
鄰硝基芐酯化合物及包含它的正型光敏樹脂組合物技術領域
本申請公開內容涉及鄰硝基芐酯化合物及包含它的正型光敏樹脂組合物。
傳統的正型光敏樹脂組合物一般是通過將樹脂與易溶于堿性水溶液中的酚型羥基以及光敏劑混合制備的，該光敏劑抑制樹脂在未曝光期間的溶解并促進樹脂顯影或中止對樹脂在曝光期間溶解的抑制并由此制作可能的樹脂圖案。該樹脂可以包括通過使酚類化合物和甲醛縮聚制備的酚醛樹脂，以及多羥基酰胺作為聚苯并噁唑前體的聚(4-羥基)苯乙烯樹脂，等等。該光敏劑可以包括在4-位或5-位含有磺酸酯和酰胺的重氮基萘醌化合物。
該正型光敏樹脂組合物可能具有抑制溶解的性能，這取決于光敏劑抑制未曝光部分溶解的能力、該光敏劑在曝光之后容易溶解的能力、以及恢復或促進該溶解造成的樹脂溶解速率的能力。傳統的重氮基萘醌化合物可能具有優異的光溶解速率和光吸收，但不具有抑制未曝光部分溶解的良好性能。因此，需要包括相對較多的重氮基萘醌化合物從而確保用于形成圖案的適當殘余膜比率。結果，為了形成曝光部分的圖案需要溶解相對較多量的重氮基萘醌化合物，因此需要更多的曝光劑量并導致靈敏度相對較低。
因此，對具有抑制未曝光部分溶解的優異性能的光敏助劑進行了研究。發明內容
本發明的一種實施方式提供了對未曝光部分具有優異溶解抑制性能的鄰硝基芐酯化合物。
本發明的另一種實施方式提供了正型光敏樹脂組合物，其包括鄰硝基芐酯化合物并具有優異的靈敏度、分辨率、圖案外觀(pattern profile)和殘余物除去性能。
本發明的又一種實施方式提供了利用該正型光敏樹脂組合物制造的光敏樹脂膜。
本發明另一種實施方式提供了包含該光敏樹脂膜的半導體器件。
根據本發明的一種實施方式，提供了包含由以下化學式1表示的化合物的鄰硝基芐酯化合物。
[化學式1]
權利要求
1. 一種包含由以下化學式1表示的化合物的鄰硝基芐酯化合物 [化學式1]
2.根據權利要求1所述的鄰硝基芐酯化合物，其中，Z1和Z2相同或不同，并且各自獨立地為羥基(OH)或羧基(COOH)。
3.根據權利要求1所述的鄰硝基芐酯化合物，其中，Z1和Z2為羥基(OH)。
4.根據權利要求1所述的鄰硝基芐酯化合物，其中，所述鄰硝基芐酯化合物包含由以下化學式2至4表示的化合物或它們的組合
5.一種正型光敏樹脂組合物，包含(A)含羥基堿溶性樹脂；(B)根據權利要求1至4中任一項所述的鄰硝基芐酯化合物；(C)光敏重氮醌化合物；(D)硅烷化合物；(E)酚化合物；和(F)溶劑。
6.根據權利要求5所述的正型光敏樹脂組合物，其中，所述含羥基堿溶性樹脂包含包括由以下化學式5表示的重復單元的聚苯并噁唑前體、包括由以下化學式6表示的重復單元的酚醛樹脂、包括由以下化學式7表示的重復單元的聚-4-羥基苯乙烯樹脂，或它們的組[化學式5]
7.根據權利要求5所述的正型光敏樹脂組合物，其中，所述含羥基堿溶性樹脂的重均分子量(Mw)為約3，000至約300，000。
8.根據權利要求5所述的正型光敏樹脂組合物，其中，基于100重量份的含羥基堿溶性樹脂(A)，所述樹脂組合物包含約0. 1至約20重量份的根據權利要求1所述的鄰硝基芐酯化合物⑶； 約5至約100重量份的光敏重氮醌化合物(C)； 約0. 1至約30重量份的硅烷化合物⑶； 約1至約30重量份的酚化合物(E)；和約200至約900重量份的溶劑(F)。
9.一種利用根據權利要求5至8中任一項所述的正型光敏樹脂組合物制造的光敏樹脂膜。
10.一種包括根據權利要求9所述的光敏樹脂膜的半導體器件。
全文摘要
本發明提供了包括由化學式1表示的化合物的鄰硝基芐酯化合物，和包含該鄰硝基芐酯化合物的正型光敏樹脂組合物。本發明還提供了一種利用該正型光敏樹脂組合物制造的光敏樹脂膜和包括該光敏樹脂膜的半導體器件。本發明的正型光敏樹脂組合物具有優異的靈敏度、分辨率、圖案外觀和殘余物除去性能。[化學式1]
文檔編號G03F7/039GK102531910SQ201110301200
公開日2012年7月4日 申請日期2011年9月28日 優先權日2010年12月15日
發明者俞龍植, 樸秀敏, 李廷宇, 李種和, 田桓承, 趙顯龍, 鄭知英, 鄭閔鞠, 金在賢, 金永虎, 金洙榮 申請人:三星電子株式會社, 第一毛織株式會社