
本發(fā)明涉及平板顯示技術(shù),特別涉及一種TFT基板的測(cè)試裝置及測(cè)試方法。
背景技術(shù):TFT基板在制作完成后,需要利用測(cè)試裝置對(duì)TFT基板檢測(cè)以確認(rèn)其是否能夠正常工作。由于剛制作完成的TFT基板還沒(méi)有與CF基板貼合,在TFT基板上也沒(méi)有液晶元件,當(dāng)然也沒(méi)有設(shè)置信號(hào)連接器。因此必須通過(guò)測(cè)試裝置的探針對(duì)TFT基板輸入測(cè)試信號(hào),并由檢測(cè)單元模擬CF基板和液晶元件,對(duì)TFT基板進(jìn)行檢測(cè)。圖1為現(xiàn)有的TFT基板測(cè)試裝置的示意圖。如圖1所示,現(xiàn)有的TFT基板測(cè)試裝置100包括:載臺(tái)101、位于所述載臺(tái)101上方的檢測(cè)單元102、檢測(cè)框架103。所述載臺(tái)101用于放置待測(cè)的TFT基板。所述檢測(cè)單元102用于模擬CF基板和液晶元件。所述檢測(cè)框架103上具有一中空部分,用于暴露放置在所述載臺(tái)101上的待測(cè)TFT基板,所述探測(cè)框架103的上表面固定有多個(gè)探針104。使用上述TFT基板測(cè)試裝置進(jìn)行TFT基板檢測(cè)時(shí),通常包括如下步驟:首先,升起所述檢測(cè)框架103;接著,將待測(cè)TFT基板放置于所述載臺(tái)101上,并使待測(cè)TFT基板固定于所述載臺(tái)101上;接著,落下檢測(cè)框架103,使所述探針104與待測(cè)TFT基板上的信號(hào)接入點(diǎn)接觸;接著,將檢測(cè)單元102移動(dòng)到待測(cè)TFT基板的上方對(duì)待測(cè)TFT基板進(jìn)行檢測(cè);檢測(cè)結(jié)束后,將檢測(cè)單元102移動(dòng)到所述檢測(cè)框架103之外的區(qū)域;接下來(lái),升起檢測(cè)框架103;最后,將待測(cè)TFT基板搬離所述載臺(tái)101。可知,在對(duì)現(xiàn)有TFT基板測(cè)試裝置進(jìn)行維修保養(yǎng)的時(shí)候,也要進(jìn)行上述類似的動(dòng)作過(guò)程。由此可知,現(xiàn)有的TFT基板測(cè)試裝置具有以下幾個(gè)缺點(diǎn):首先,在對(duì)待測(cè)TFT基板進(jìn)行檢測(cè)時(shí),所述探針104與待測(cè)TFT基板上的信號(hào)接入點(diǎn)接觸,因此所述探針104是固定在探測(cè)框架103與TFT基板上的信號(hào)接入點(diǎn)對(duì)應(yīng)的位置,對(duì)于不同規(guī)格的TFT基板,在TFT基板上的信號(hào)接入點(diǎn) 的數(shù)目以及配置位置都不同,而使用現(xiàn)有的TFT基板測(cè)試裝置要完成對(duì)不同規(guī)格TFT基板的測(cè)試,必須備有對(duì)應(yīng)不同規(guī)格TFT基板的檢測(cè)框架,因此需要占用大量資金和倉(cāng)儲(chǔ)空間;并且,測(cè)試中如果更換不同規(guī)格的TFT基板時(shí),需更換對(duì)應(yīng)規(guī)格的檢測(cè)框架,而更換檢測(cè)框架的工程復(fù)雜,需要占用比較長(zhǎng)的時(shí)間。因此使用現(xiàn)有的TFT基板測(cè)試裝置一方面需要準(zhǔn)備大量的不同規(guī)格的檢測(cè)框架,而且無(wú)法快速地在生產(chǎn)線上進(jìn)行測(cè)試規(guī)格的變換。此外,在進(jìn)行上述檢測(cè)和保養(yǎng)時(shí),檢測(cè)框架103上的探針104始終處于一個(gè)位置,即能夠與待測(cè)TFT基板上的信號(hào)接入點(diǎn)接觸的位置,這一位置緊靠待測(cè)TFT基板的檢測(cè)區(qū)域,在使用檢測(cè)單元102對(duì)待測(cè)TFT基板進(jìn)行檢測(cè)時(shí),由于檢測(cè)單元102自身具有一定的體積,而且在檢測(cè)時(shí),檢測(cè)單元102距離待測(cè)TFT基板的距離非常近,因此,當(dāng)檢測(cè)單元102檢查到待測(cè)TFT基板的周邊區(qū)域時(shí),非常容易碰撞到所述探針104;另外,在TFT基板測(cè)試裝置進(jìn)行維修保養(yǎng)時(shí),需要多次移動(dòng)檢測(cè)單元102和檢測(cè)框架103,同樣會(huì)增加檢測(cè)單元102與檢測(cè)框架103上的探針104碰撞的機(jī)會(huì),由于探針104是由細(xì)長(zhǎng)的金屬針組成的,因此頻繁碰撞會(huì)導(dǎo)致探針104的損壞,而一旦檢測(cè)框架103上的探針104損壞,便無(wú)法完成對(duì)待測(cè)TFT基板的電信號(hào)輸入,導(dǎo)致檢測(cè)無(wú)法進(jìn)行;并且,因?yàn)樘结?04是固定在檢測(cè)框架103上的,一旦探針104損壞,就要更換整個(gè)檢測(cè)框架103,整個(gè)檢測(cè)框架103的費(fèi)用昂貴,而且更換整個(gè)檢測(cè)框架103的工程復(fù)雜,需要占用很長(zhǎng)時(shí)間。
技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素:本發(fā)明的目的在于提供一種TFT基板的測(cè)試裝置及測(cè)試方法,解決在使用TFT基板的測(cè)試裝置時(shí)需要頻繁更換測(cè)試框架的問(wèn)題,以達(dá)到快速地進(jìn)行測(cè)試規(guī)格的變換的目的。本發(fā)明的另一目的在于,在進(jìn)行檢測(cè)和保養(yǎng)時(shí)使探針遠(yuǎn)離載臺(tái),避免了探針與檢測(cè)單元的碰撞,防止探針損壞。為了解決上述技術(shù)為題,本發(fā)明提供一種TFT基板的測(cè)試裝置,包括:一載臺(tái),所述載臺(tái)至少一個(gè)側(cè)邊設(shè)有滑動(dòng)結(jié)構(gòu);一位于所述載臺(tái)上方的檢測(cè)單元;以及至少一探針單元,其中,所述探針單元包括:至少一個(gè)探針;一滑動(dòng)部件,所述至少一個(gè)探針單元隨著所述滑動(dòng)部件沿所述滑動(dòng)結(jié)構(gòu)滑動(dòng)。可選的,所述探針單元還包括一連接所述至少一個(gè)探針和滑動(dòng)部件的驅(qū)動(dòng)裝置,所述驅(qū)動(dòng)裝置用于控制所述至少一個(gè)探針旋轉(zhuǎn)。可選的,所述滑動(dòng)結(jié)構(gòu)是設(shè)置在所述載臺(tái)側(cè)邊上且平行于所述側(cè)邊的滑動(dòng)導(dǎo)軌。可選的,所述探針單元還包括用于將所述滑動(dòng)部件固定在所述滑動(dòng)導(dǎo)軌預(yù)定位置的緊固部件。可選的,所述滑動(dòng)結(jié)構(gòu)是開(kāi)設(shè)在所述載臺(tái)側(cè)邊上且平行于所述側(cè)邊的滑槽。可選的,所述探針單元還包括用于將所述滑動(dòng)部件固定在所述滑槽預(yù)定位置的緊固部件。可選的,所述驅(qū)動(dòng)裝置為馬達(dá),所述探針設(shè)置于所述馬達(dá)的轉(zhuǎn)動(dòng)軸上,所述馬達(dá)通過(guò)轉(zhuǎn)動(dòng)軸的轉(zhuǎn)動(dòng)控制所述探針改變位置并固定于第一位置或第二位置。可選的,當(dāng)所述探針位于所述第一位置時(shí),所述探針遠(yuǎn)離所述載臺(tái);當(dāng)所述探針位于所述第二位置時(shí),所述探針與待測(cè)TFT基板上的信號(hào)接入點(diǎn)接觸。可選的,所述馬達(dá)為步進(jìn)式馬達(dá)。可選的,所述滑動(dòng)部件的斷面呈矩形或楔形。可選的,所述載臺(tái)的多個(gè)側(cè)邊均設(shè)有滑動(dòng)結(jié)構(gòu)。可選的,所述載臺(tái)的所有側(cè)邊均設(shè)有滑動(dòng)結(jié)構(gòu)。可選的,所述檢測(cè)單元包括:一液晶盒;設(shè)置于所述液晶盒上方的光源;以及設(shè)置于所述液晶盒上方的光學(xué)接收器。可選的,所述液晶盒包括:一透明導(dǎo)電玻璃;一與所述透明導(dǎo)電玻璃相對(duì)設(shè)置的反射玻璃;以及充滿于所述透明導(dǎo)電玻璃和反射玻璃之間的液晶。相應(yīng)的還提供一種使用TFT基板的測(cè)試裝置的測(cè)試方法,包括:將所述探針單元的探針固定于第一位置,使所述探針單元的探針遠(yuǎn)離載臺(tái);將待測(cè)TFT基板放置于所述載臺(tái)上;將所述探針單元沿滑動(dòng)結(jié)構(gòu)滑動(dòng)到預(yù)定位置;將所述探針單元的探針固定于第二位置,使所述探針與待測(cè)TFT基板上的信號(hào)接入點(diǎn)接觸;將檢測(cè)單元移動(dòng)至所述待測(cè)TFT基板的上方,并測(cè)試所述待測(cè)TFT基板。可選的,所述測(cè)試方法還包括:測(cè)試結(jié)束后將所述探針單元的探針重新固定于第一位置;以及將所述待測(cè)TFT基板搬離所述載臺(tái)。可選的,所述探針單元還包括一連接所述多個(gè)探針和滑動(dòng)部件的驅(qū)動(dòng)裝置;其中,所述驅(qū)動(dòng)裝置用于控制所述多個(gè)探針旋轉(zhuǎn)。可選的,所述滑動(dòng)結(jié)構(gòu)是設(shè)置在所述載臺(tái)側(cè)邊上且平行于所述側(cè)邊的滑動(dòng)導(dǎo)軌。可選的,所述探針單元還包括用于將所述滑動(dòng)部件固定在所述滑動(dòng)導(dǎo)軌預(yù)定位置的緊固部件。可選的,所述滑動(dòng)結(jié)構(gòu)是開(kāi)設(shè)在所述載臺(tái)側(cè)邊上且平行于所述側(cè)邊的滑槽。可選的,所述探針單元還包括用于將所述滑動(dòng)部件固定在所述滑槽預(yù)定位置的緊固部件。可選的,所述驅(qū)動(dòng)裝置為馬達(dá),所述探針設(shè)置于所述馬達(dá)的轉(zhuǎn)動(dòng)軸上,所述馬達(dá)通過(guò)轉(zhuǎn)動(dòng)軸的轉(zhuǎn)動(dòng)控制探針改變位置并固定于所述第一位置或第二位置。可選的,所述馬達(dá)為步進(jìn)式馬達(dá)。可選的,所述滑動(dòng)部件呈矩形或楔形。可選的,所述載臺(tái)的多個(gè)側(cè)邊均設(shè)有滑動(dòng)結(jié)構(gòu)。可選的,所述載臺(tái)所有側(cè)邊均設(shè)有滑動(dòng)結(jié)構(gòu)。可選的,所述檢測(cè)單元包括:一液晶盒;設(shè)置于液晶盒上方的光源;以及設(shè)置于液晶盒上方的光學(xué)接收器。可選的,所述液晶盒包括:一透明導(dǎo)電玻璃;一與所述透明導(dǎo)電玻璃相對(duì)設(shè)置的反射玻璃;以及充滿于所述透明導(dǎo)電玻璃和反射玻璃之間的液晶。本發(fā)明的TFT基板的測(cè)試裝置去除了測(cè)試框架,并在載臺(tái)側(cè)邊設(shè)置了滑動(dòng)結(jié)構(gòu),使得探針單元能夠在滑動(dòng)結(jié)構(gòu)中自由滑動(dòng)并可以固定在預(yù)定位置,探針單元的探針可以根據(jù)需要自由的更換,對(duì)于不同規(guī)格的TFT基板可以使用對(duì)應(yīng)規(guī)格的探針單元,并將探針單元滑動(dòng)到對(duì)應(yīng)的不同規(guī)格TFT基板對(duì)應(yīng)的位置,即可實(shí)現(xiàn)對(duì)應(yīng)不同規(guī)格TFT基板的變換。即,采用本發(fā)明的TFT基板的測(cè)試裝置在可以實(shí)現(xiàn)快速變換測(cè)試規(guī)格的同時(shí),減少測(cè)試框架的儲(chǔ)備量,避免了儲(chǔ)備測(cè)試框架對(duì)倉(cāng)儲(chǔ)空間和資金的占有。此外,本發(fā)明通過(guò)馬達(dá)轉(zhuǎn)動(dòng)軸的轉(zhuǎn)動(dòng)可以控制探針改變位置并固定于第一位置或第二位置,將探針固定于第一位置時(shí)探針遠(yuǎn)離載臺(tái),避免了探針與檢測(cè)單元的碰撞,防止探針損壞。附圖說(shuō)明圖1為現(xiàn)有的TFT基板的測(cè)試裝置的結(jié)構(gòu)示意圖;圖2為本發(fā)明實(shí)施例一的TFT基板的測(cè)試裝置的結(jié)構(gòu)示意圖;圖3為圖2中滑動(dòng)結(jié)構(gòu)的放大的剖面圖;圖4為圖2中TFT基板的測(cè)試裝置沿DD’線的的剖面圖;圖5為圖2中驅(qū)動(dòng)裝置和探針的放大的結(jié)構(gòu)示意圖;圖6為圖2中檢測(cè)單元的結(jié)構(gòu)示意圖;圖7為圖6中液晶盒的未施加電壓時(shí)結(jié)構(gòu)示意圖;圖8為圖6中液晶盒的施加電壓時(shí)結(jié)構(gòu)示意圖;圖9為本發(fā)明實(shí)施例二的TFT基板的測(cè)試裝置中滑動(dòng)結(jié)構(gòu)的放大的剖面圖;圖10為本發(fā)明實(shí)施例三的TFT基板的測(cè)試裝置的剖面圖。具體實(shí)施方式本發(fā)明的核心思想在于去除測(cè)試框架,并在載臺(tái)側(cè)邊設(shè)置了滑動(dòng)結(jié)構(gòu),使得探針單元能夠在滑動(dòng)結(jié)構(gòu)中自由滑動(dòng)并可以固定在預(yù)定位置,探針單元的探針可以根據(jù)需要自由的更換,對(duì)于不同規(guī)格的TFT基板可以使用對(duì)應(yīng)規(guī)格的探針單元,并將探針單元滑動(dòng)到對(duì)應(yīng)的不同規(guī)格TFT基板對(duì)應(yīng)的位置,即可實(shí)現(xiàn)對(duì)應(yīng)不同規(guī)格TFT基板的變換。即,采用本發(fā)明的TFT基板的測(cè)試裝置在可以實(shí)現(xiàn)快速變換測(cè)試規(guī)格的同時(shí),減少測(cè)試框架的儲(chǔ)備量,避免了儲(chǔ)備測(cè)試框架 對(duì)倉(cāng)儲(chǔ)空間和資金的占有。此外,本發(fā)明通過(guò)馬達(dá)轉(zhuǎn)動(dòng)軸的轉(zhuǎn)動(dòng)可以控制探針改變位置并固定于第一位置或第二位置,將探針固定于第一位置時(shí)探針遠(yuǎn)離載臺(tái),避免了探針與檢測(cè)單元的碰撞,防止探針損壞。實(shí)施例一如圖2所示,本實(shí)施例的TFT基板的測(cè)試裝置200包括:載臺(tái)201、設(shè)置于所述載臺(tái)201至少一個(gè)側(cè)邊的滑動(dòng)結(jié)構(gòu)202、位于所述載臺(tái)201上方的檢測(cè)單元203及至少一個(gè)探針單元204。下面依次詳細(xì)說(shuō)明滑動(dòng)結(jié)構(gòu)、探針單元以及檢測(cè)單元。滑動(dòng)結(jié)構(gòu)如圖3所示,所述滑動(dòng)結(jié)構(gòu)202是設(shè)置在所述載臺(tái)201側(cè)邊上且平行于所述側(cè)邊的滑動(dòng)導(dǎo)軌。本實(shí)施例中,所述滑動(dòng)結(jié)構(gòu)202分別設(shè)置在載臺(tái)201的兩條側(cè)邊上。可以理解的是,為了適應(yīng)更多規(guī)格的TFT基板,也可以在所述載臺(tái)201的兩個(gè)以上多個(gè)側(cè)邊或所有側(cè)邊都設(shè)置滑動(dòng)結(jié)構(gòu)202。當(dāng)然,只要能夠完成對(duì)待測(cè)TFT基板的測(cè)試,也可以只在載臺(tái)201的一條側(cè)邊上設(shè)置滑動(dòng)結(jié)構(gòu)202。探針單元結(jié)合圖2和圖4,所述探針單元204包括至少一個(gè)探針205和一滑動(dòng)部件206,所述至少一個(gè)探針單元204可以隨著所述滑動(dòng)部件206沿滑動(dòng)結(jié)構(gòu)202滑動(dòng)。所述探針單元204還包括一連接至少一個(gè)探針205和滑動(dòng)部件206的驅(qū)動(dòng)裝置207,所述驅(qū)動(dòng)裝置207用于控制所述至少一個(gè)探針205的旋轉(zhuǎn)。進(jìn)一步的,所述探針單元204還包括用于將所述滑動(dòng)部件206固定在所述滑動(dòng)結(jié)構(gòu)202內(nèi)預(yù)定位置的緊固部件211。所述緊固部件211例如為螺絲。所述驅(qū)動(dòng)裝置207優(yōu)選為馬達(dá),在本實(shí)施例中所述馬達(dá)為步進(jìn)式馬達(dá)。如圖5所示,所述探針205設(shè)置于所述馬達(dá)的轉(zhuǎn)動(dòng)軸208上。探針205可以根據(jù)待測(cè)TFT基板的信號(hào)接入點(diǎn)的多少以及分布組成若干個(gè)探針組209,每組探針組209固定在一個(gè)中空的固定套210上。所述固定套210的斷面與所述轉(zhuǎn)動(dòng)軸208的斷面相應(yīng),以使固定套210能夠嵌套并固定在轉(zhuǎn)動(dòng)軸208上,使探針205可以繞著馬達(dá)的轉(zhuǎn)動(dòng)軸208旋轉(zhuǎn)。如果變換了不同規(guī)格的待測(cè)TFT基板時(shí),可以直接更換對(duì)應(yīng)規(guī)格的探針組209即可。本實(shí)施例中是采用了固定套的方式將探針固定在馬達(dá)的轉(zhuǎn)動(dòng)軸上,在其它具體實(shí)施例中也可以是用其他的 固定方式,本發(fā)明對(duì)探針在轉(zhuǎn)動(dòng)軸上的固定方式不做限定。結(jié)合圖4和圖5,所述馬達(dá)通過(guò)轉(zhuǎn)動(dòng)軸208的轉(zhuǎn)動(dòng)控制所述探針205改變位置并固定于第一位置或第二位置。當(dāng)所述探針205位于所述第一位置時(shí),所述探針205遠(yuǎn)離所述載臺(tái)201;當(dāng)所述探針205位于所述第二位置時(shí),所述探針205與待測(cè)TFT基板上的信號(hào)接入點(diǎn)接觸。所述滑動(dòng)部件206位于所述滑動(dòng)結(jié)構(gòu)202內(nèi),可以自由的在所述滑動(dòng)結(jié)構(gòu)202內(nèi)滑動(dòng),當(dāng)滑動(dòng)部件206沿著滑動(dòng)結(jié)構(gòu)202滑動(dòng)時(shí),能夠帶動(dòng)探針205沿著所滑動(dòng)結(jié)構(gòu)202滑動(dòng)。本實(shí)施例中,為了保證滑動(dòng)部件206在滑動(dòng)結(jié)構(gòu)202內(nèi)的穩(wěn)定性,將滑動(dòng)部件206的端面設(shè)計(jì)成楔形。當(dāng)然,滑動(dòng)結(jié)構(gòu)202的斷面也可以是其它形狀,只要其與滑動(dòng)部件206的斷面形狀相配合即可。檢測(cè)單元由于剛制作完成的TFT基板還沒(méi)有與CF基板貼合,在TFT基板上也沒(méi)有液晶元件,為了能夠提前預(yù)判斷TFT基板組成液晶顯示面板以后顯示效果,由檢測(cè)單元模擬CF基板和液晶元件,對(duì)TFT基板進(jìn)行檢測(cè)。如圖6所示,所述檢測(cè)單元203包括:液晶盒212、設(shè)置于所述液晶盒212上方的光源213以及設(shè)置于所述液晶盒212上方的光學(xué)接收器214。結(jié)合圖6和圖7,所述液晶盒212包括:透明導(dǎo)電玻璃215、與所述透明導(dǎo)電玻璃215相對(duì)設(shè)置的反射玻璃216以及充滿于所述透明導(dǎo)電玻璃215和反射玻璃216之間的液晶217。當(dāng)待測(cè)TFT基板218和透明導(dǎo)電玻璃215都沒(méi)有電信號(hào)輸入時(shí),液晶217的排列方向是雜亂無(wú)章的,因此當(dāng)光源213的光線從垂直方向入射到液晶盒212時(shí),光線被液晶217多次折射和反射玻璃216的反射后,從其他方向射出,這時(shí)光學(xué)接收器214接收不到出射光線。結(jié)合圖4、圖6和圖8,以正極性液晶分子為例,當(dāng)探針205對(duì)待測(cè)TFT基板218輸入檢測(cè)電信號(hào),同時(shí)在透明導(dǎo)電玻璃215上也輸入相應(yīng)的公共電壓時(shí),在待測(cè)TFT基板218和透明導(dǎo)電玻璃215之間建立起一預(yù)定電場(chǎng)。此處需要說(shuō)明的是,該電場(chǎng)大小取決于施加在待測(cè)TFT基板218和透明導(dǎo)電玻璃215間的電壓差絕對(duì)值,與待測(cè)TFT基板218和透明導(dǎo)電玻璃215的電壓差值的正負(fù)沒(méi)有關(guān)系。那么,在預(yù)定電場(chǎng)的作用下液晶217按照統(tǒng)一的方向規(guī)則排列,當(dāng)光源213的光線從垂直方向入射到液晶盒212時(shí),光線經(jīng)過(guò)規(guī)則排列的液晶217后并經(jīng)反射玻璃216的反射垂直出射,這時(shí)光學(xué)接收器214接收到出射光線。 而且根據(jù)所施加的電壓大小,液晶分子會(huì)與水平面形成一定的傾角,射出的光線經(jīng)過(guò)該液晶分子調(diào)制后將呈現(xiàn)一定的強(qiáng)度,通過(guò)分析出射光線的強(qiáng)度可以確定待測(cè)TFT基板是否正常動(dòng)作。需要說(shuō)明的是,在圖8中,為了表示清楚,以垂直向下的箭頭表示入射光線,以垂直向上的箭頭表示出射光線,事實(shí)上對(duì)于垂直射入液晶盒的光線,入射光線和出射光線的傳播路徑是重合的。本發(fā)明還提供一種利用上述TFT基板的測(cè)試裝置進(jìn)行測(cè)試的測(cè)試方法,結(jié)合圖2至圖6,所述測(cè)試方法包括如下步驟:首先,通過(guò)驅(qū)動(dòng)裝置207將所述探針單元204的探針205固定于第一位置,使所述探針205遠(yuǎn)離載臺(tái)201;接著,將待測(cè)TFT基板放置于所述載臺(tái)201上;接著,將所述探針單元204沿滑動(dòng)結(jié)構(gòu)202滑動(dòng)到預(yù)定位置,所述預(yù)定位置對(duì)應(yīng)不同規(guī)格TFT基板上的信號(hào)接入點(diǎn)的位置;接著,通過(guò)驅(qū)動(dòng)裝置207改變所述探針單元204的探針205位置并將其固定于第二位置,使所述探針205與待測(cè)TFT基板上的信號(hào)接入點(diǎn)接觸;接著,將檢測(cè)單元203移動(dòng)至所述待測(cè)TFT基板的上方,通過(guò)探針205對(duì)所述待測(cè)TFT基板施加測(cè)試電信號(hào),同時(shí)在檢測(cè)單元203的透明導(dǎo)電玻璃215上施加一公共電壓,然后通過(guò)測(cè)試檢測(cè)單元203的光學(xué)接收器214的光強(qiáng),確認(rèn)所述待測(cè)TFT基板是否能夠正常動(dòng)作;接著,上述測(cè)試結(jié)束后,通過(guò)驅(qū)動(dòng)裝置207改變所述探針205位置并其重新固定于第一位置;最后,將所述待測(cè)TFT基板搬離所述載臺(tái)201。在上述測(cè)試過(guò)程中,在待測(cè)TFT基板放置和搬離時(shí),在檢測(cè)單元203移動(dòng)時(shí),所述探針205始終位于遠(yuǎn)離載臺(tái)201的第一位置,從而可以減少了上述移動(dòng)動(dòng)作對(duì)探針205造成的碰撞的可能性。在對(duì)TFT基板的測(cè)試裝置進(jìn)行維修保養(yǎng)時(shí),也可以采用類似的作業(yè)方法。首先,將所述探針單元204的探針205固定于第一位置,使所述探針205遠(yuǎn)離載臺(tái)201;接著,對(duì)所述TFT基板的測(cè)試裝置進(jìn)行維修保養(yǎng)。也就是說(shuō),在整維修保養(yǎng)期間,所述探針205始終位于遠(yuǎn)離載臺(tái)201的第一位置,減少了維修保養(yǎng)動(dòng)作可能對(duì)探針205造成的碰撞損傷。甚至,在維修保養(yǎng)期間,可以將所述探針205從所述探針單元204上拆卸下來(lái),從根本上杜絕了探針205被碰撞 損傷的可能性。實(shí)施例二本實(shí)施例與實(shí)施例一不同之處在于,所述滑動(dòng)結(jié)構(gòu)202是開(kāi)設(shè)在所述載臺(tái)201側(cè)邊上且平行于所述側(cè)邊的滑槽。如圖9所示,所述滑動(dòng)結(jié)構(gòu)202是分別設(shè)置在載臺(tái)201的兩條側(cè)邊上。可以理解的是,為了適應(yīng)更多規(guī)格的TFT基板,也可以在所述載臺(tái)201的所有側(cè)邊都設(shè)置滑動(dòng)結(jié)構(gòu)202。當(dāng)然,只要完成對(duì)待測(cè)TFT基板的測(cè)試,也可以只在載臺(tái)201的一條側(cè)邊上設(shè)置滑動(dòng)結(jié)構(gòu)202。實(shí)施例三如圖2所示,在實(shí)施例一中通過(guò)滑動(dòng)結(jié)構(gòu)202,探針205可以沿所述滑動(dòng)結(jié)構(gòu)202的長(zhǎng)度方向(圖2中的Y軸方向)自由滑動(dòng),但是不能沿所述滑動(dòng)結(jié)構(gòu)202的寬度方向(圖2中的X軸方向,垂直于Y軸方向)移動(dòng),如果TFT基板的信號(hào)接入點(diǎn)在滑動(dòng)結(jié)構(gòu)202的寬度方向發(fā)生變化時(shí),就無(wú)法利用上述TFT基板的測(cè)試裝置進(jìn)行測(cè)試了。為此,本實(shí)施例將滑動(dòng)部件206的斷面設(shè)計(jì)成矩形,保證探針205沿所述滑動(dòng)結(jié)構(gòu)202的寬度方向(與所述長(zhǎng)度方向垂直的方向)也能有一定的移動(dòng)范圍。如圖10所示,通過(guò)控制滑動(dòng)部件206在滑動(dòng)結(jié)構(gòu)202內(nèi)嵌入長(zhǎng)度,可以使滑動(dòng)部件206沿所述滑動(dòng)結(jié)構(gòu)202的寬度方向進(jìn)行小范圍的移動(dòng)。可知,滑動(dòng)結(jié)構(gòu)202的斷面與滑動(dòng)部件206也可以為其他任意形狀,如球形,只要滿足滑動(dòng)部件206嵌入滑動(dòng)結(jié)構(gòu)202后能夠自由滑動(dòng),即可實(shí)現(xiàn)本發(fā)明的目的。綜上所述,在本發(fā)明TFT基板的測(cè)試裝置中去除了測(cè)試框架,通過(guò)在載臺(tái)側(cè)邊設(shè)置了滑動(dòng)結(jié)構(gòu),使得探針單元能夠在滑動(dòng)結(jié)構(gòu)中自由滑動(dòng)并可以固定在預(yù)定位置。探針單元的探針可以根據(jù)需要自由的更換,對(duì)于不同規(guī)格的TFT基板,可以使用對(duì)應(yīng)規(guī)格的探針單元,并將探針單元滑動(dòng)到對(duì)應(yīng)的不同規(guī)格TFT基板對(duì)應(yīng)的位置,即可實(shí)現(xiàn)對(duì)應(yīng)不同規(guī)格TFT基板的變換。也就是說(shuō),并不需要更換整個(gè)測(cè)試框架,就可以實(shí)現(xiàn)了快速地進(jìn)行測(cè)試規(guī)格的變換。而且,通過(guò)馬達(dá)轉(zhuǎn)動(dòng)軸的轉(zhuǎn)動(dòng)可以控制探針改變位置并固定于第一位置或第二位置,將探針固定于第一位置時(shí),探針遠(yuǎn)離載臺(tái)避免了探針與檢測(cè)單元的碰撞。采用本發(fā)明的TFT基板的測(cè)試裝置在可以實(shí)現(xiàn)快速變換測(cè)試規(guī)格的同時(shí),也減少了測(cè)試 框架的儲(chǔ)備量,避免了儲(chǔ)備測(cè)試框架對(duì)倉(cāng)儲(chǔ)空間和資金的占有。需要說(shuō)明的是,本說(shuō)明書中各個(gè)實(shí)施例采用遞進(jìn)的方式描述,每個(gè)實(shí)施例重點(diǎn)說(shuō)明的都是與其他實(shí)施例的不同之處,各個(gè)實(shí)施例之間相同相似部分互相參見(jiàn)即可。顯然,本領(lǐng)域的技術(shù)人員可以對(duì)發(fā)明進(jìn)行各種改動(dòng)和變型而不脫離本發(fā)明的精神和范圍。這樣,倘若本發(fā)明的這些修改和變型屬于本發(fā)明權(quán)利要求及其等同技術(shù)的范圍之內(nèi),則本發(fā)明也意圖包括這些改動(dòng)和變型在內(nèi)。