用于制造光耦合裝置的制造方法
【專利摘要】本發明提供一種用于制造光耦合裝置的制造方法，其包括：提供一個平板光波導，該平板光波導包括一個頂面及一個與該頂面垂直連接的側面，該側面用于與一個激光光源對接且該激光光源發出的激光束垂直射入該側面；利用高折射率材料在該頂面鍍上一層介質光柵薄膜，該介質光柵薄膜包括多條垂直于該側面的條狀部分；及在該頂面形成一對條狀電極，該對電極分別位于該介質光柵薄膜兩側，并平行于該多個條狀部分。該制造方法制造出的該光耦合裝置可以有效的將該激光束會聚入一個光學元件。
【專利說明】用于制造光耦合裝置的制造方法
【技術領域】
[0001]本發明涉及集成光學裝置，特別涉及一種用于制造光耦合裝置的制造方法。
【背景技術】
[0002]在集成光學里，光源與光學元件的耦合需要考慮的問題有:雖然集成光學普遍采用方向性較佳的激光作為光源，然而激光發出的光束仍具有一定的發散角，如果直接讓光源與光學元件對接，光束中的發散光線將無法進入光學元件，光利用率低。因此，如何將光源耦合至光學元件以使發散的光束會聚入光學元件以提高光利用率是一個重要課題。

【發明內容】

[0003]有鑒于此，有必要提供一種用于制造可提高光利用率的光耦合裝置的制造方法。
[0004]一種用于制造光耦合裝置的制造方法，其包括:
提供一個平板光波導，該平板光波導包括一個頂面及一個與該頂面垂直連接的側面，該側面用于與一個激光光源對接且該激光光源發出的激光束垂直射入該側面；
利用高折射率材料在該頂面鍍上一層介質光柵薄膜，該介質光柵薄膜包括多條垂直于該側面的條狀部分；及
在該頂面形成一對條狀電極，該對電極分別位于該介質光柵薄膜兩側，并平行于該多個條狀部分。
[0005]如此，根據集成光學理論，該介質光柵薄膜與該平板光波導構成加載型光波導(strip/grating loaded waveguide),該平板光波導加載該介質光柵薄膜的部分的等效折射率變大。如此，通過合理設置該介質光柵薄膜的結構，例如設置成啁啾光柵(chirpedgrating)便可構成一個啁啾光柵類型的衍射型光波導透鏡。而該對電極可以加載調制電場從而通過電光效應改變該平板光波導的折射率，從而改變該衍射型光波導透鏡的焦距，有效的將該激光束會聚入光學元件。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0006]圖1為本發明較佳實施方式的制造方法制造的光耦合裝置的工作狀態示意圖。
[0007]圖2為圖1的光耦合裝置沿線I1-1I的剖面示意圖。
[0008]圖3至圖8為本發明較佳實施方式的制造方法的各個步驟的示意圖。
[0009]主要元件符號說明
【權利要求】
1.一種用于制造光耦合裝置的制造方法，其包括: 步驟SOl:提供一個平板光波導，該平板光波導包括一個頂面及一個與該頂面垂直連接的側面，該側面用于與一個激光光源對接且該激光光源發出的激光束垂直射入該側面；步驟S02:利用高折射率材料在該頂面鍍上一層介質光柵薄膜，該介質光柵薄膜包括多條垂直于該側面的條狀部分；及 步驟S03:在該頂面形成一對條狀電極，該對電極分別位于該介質光柵薄膜兩側，并平行于該多個條狀部分。
2.如權利要求1所述的制造方法，其特征在于，該步驟SOl包括以下子步驟: 步驟SOll:提供一個基底，該基底包括該頂面及該側面 '及 步驟S012:在該頂面上向該基底內部擴散形成該平板光波導。
3.如權利要求2所述的制造方法，其特征在于，該基底采用鈮酸鋰晶體，該平板光波導通過向該頂面鍍上金屬鈦后高溫將金屬鈦擴散入該基底而形成。
4.如權利要求1所述的制造方法，其特征在于，該步驟S02包括如下子步驟: 步驟S021:在該頂面上鍍上一層高折射率材料膜；及 步驟S022:采用黃光蝕刻工藝蝕刻該高折射率膜以形成該介質光柵薄膜。
5.如權利要求1所述的制造方法，其特征在于，該介質光柵薄膜是一個啁啾光柵，該多個條狀部分垂直于該側面設置，且高度相同；該多個條狀部分的數目為奇數，并關于一個對稱軸對稱分布，且沿該對稱 軸到遠離該對稱軸的方向，該條狀部分的寬度越來越小，而相鄰兩個該條狀部分的間隙也越來越小。
6.如權利要求5所述的制造方法，其特征在于，以該介質光柵的寬度方向為z軸，該對稱軸與I軸的相交點為原點，沿該對稱軸到遠離該對稱軸的方向為z軸正向，該介質部分的第個邊界滿足如下條件:
7.如權利要求1所述的制造方法，其特征在于，該對電極通過鍍膜技術形成。
8.如權利要求1所述的制造方法，其特征在于，該對電極的長度大于或者等于該介質光柵薄膜的長度。
9.如權利要求1所述的制造方法，其特征在于，該對電極的高度大于或者等于該介質光柵薄膜的高度。
【文檔編號】G02F1/035GK103885132SQ201210554082
【公開日】2014年6月25日 申請日期:2012年12月19日 優先權日:2012年12月19日
【發明者】黃新舜 申請人:鴻富錦精密工業（深圳）有限公司, 鴻海精密工業股份有限公司