一種用于光刻機角度鏡接邊拋光的方法
【專利摘要】本發明公開了一種用于分步投影光刻機角度鏡接邊拋光的方法，包括：①根據待加工角度鏡的結構，加工接邊框架；②建立超凈工作室和1級大理石精密工作臺；③在精密工作臺上，工作人員帶上手套,用光學玻璃擦拭布蘸上酒精對角度鏡的待拋光面進行擦拭；④將待加工角度鏡嵌入所述的接邊框架的內邊內,使待拋光面與接邊框架底面在同一個平面；⑤用填充劑將接邊框架和角度鏡膠合，成為框架角鏡組合件；⑥修磨所述的框架角鏡組合件的待拋光面；⑦拋光并修正；⑧分離接邊框架和角度鏡。本發明有效減少了拋光邊緣塌陷尺寸,擴大了拋光面的通光孔徑,提高了拋光效率,加工的角鏡符合分步投影光刻機高質量要求。
【專利說明】一種用于光刻機角度鏡接邊拋光的方法
【技術領域】
[0001]本發明涉及光刻機【技術領域】，特別是一種用于分步投影光刻機角度鏡接邊拋光的方法，該角度鏡主要用于分步投影光刻機標記的位置對準，該項成果直接影響到分步投影光刻機里的娃片向位光柵自動對準。
【背景技術】
[0002]傳統的拋光方法在拋光過程中，拋光面邊緣處容易堆積大量地拋光液體和殘留拋光粉，導致拋光面邊緣研磨去除量增加，使得拋光面邊緣出現塌陷即塌邊，從而導致拋光面表面粗糙度及面型精度降低。為了獲得較好地拋光面表面粗糙度及面型精度，通常只能犧牲有效拋光面積，減小通光孔徑來得到，或通過反復邊緣修正來實現。嚴重減低了產品生產效率，很難達到理想的表變質量。
【發明內容】
[0003]本發明的目的在于克服上述現有技術的不足，提供一種用于分步投影光刻機角度鏡接邊拋光的方法，使角度鏡符合所需的表面粗糙度和面型精度，滿足光刻機向位光柵自動對準要求。
[0004]為了實現上述目的，本發明的技術解決方案是:
[0005]一種用于分步投影光刻機角度鏡接邊拋光的方法，其特點在于，該方法包括下列步驟:
[0006]①根據待加工角度鏡的結構，加工接邊框架；
[0007]所述的接邊框架呈平行四邊回字形，該平行四邊回字形的內邊尺寸等于待加工角度鏡的外形尺寸；
[0008]②建立超凈工作室和I級大理石精密工作臺，在精密工作臺上進行下面的角度鏡和接邊框架的膠合工作；
[0009]③在精密工作臺上，工作人員帶上手套，用光學玻璃擦拭布蘸上酒精對角度鏡的待拋光面進行擦拭，對接邊框架進行擦拭，仔細觀看表面灰塵，直到無人眼可見灰塵，在工作臺面上鋪一張擦拭布，將擦拭好的接邊框架放到精密工作臺上，其坡面朝上；
[0010]④將待加工角度鏡嵌入所述的接邊框架的內邊內，角度鏡的角度面與接邊框架上平面重合，使待拋光面與接邊框架底面在同一個平面；
[0011]⑤用填充劑將接邊框架和角度鏡膠合，成為框架角鏡組合件，人眼觀察該角鏡組合件，不得出現接縫形成無縫連接；
[0012]⑥修磨所述的框架角鏡組合件的待拋光面，要求拋光面平面度優于0.005mm,粗糙度Ra優于0.4微米；
[0013]⑦將框架角鏡組合件水平放置在拋光機的工作臺面上，打開拋光機真空吸附功能，使得框架角鏡組合件下基準面與拋光機工作臺面緊密結合，將待拋光面水平放置進行拋光并修正；[0014]⑧將完成拋光的框架角鏡組合件侵入融化劑，分離接邊框架和角度鏡。
[0015]所述的填充劑是由雙組合環氧樹脂膠和加固原料按照一定比例混合而成，該加固原料需要根據所拋光零件材料的物理特性來選擇性能相近的原料。
[0016]與現有技術相比，本發明的有益效果是:
[0017]★通過接邊框架，角鏡拋光的邊緣塌陷區域寬度尺寸為不加接邊框架的角鏡塌陷區域寬度尺寸的1/3—1/4 ；
[0018]★在相同外形尺寸條件下，擴大了拋光面的通光孔徑，減輕工件質量；
[0019]★在達到角鏡所需的表面粗糙度和面型精度，提高了拋光效率；
[0020]★降低生產成本提高了產品合格率，符合高質量要求。
[0021]★確保角鏡完全符合分步光刻機向位光柵自動對準要求。
【專利附圖】
【附圖說明】
[0022]圖1是本發明中框架角鏡組合件的主視圖。
[0023]圖2是本發明中框架角鏡組合件的剖視圖。
[0024]圖3是使用本發明方法的接邊角鏡拋光檢驗結果。
[0025]圖4是未使用本發明方法的接邊角鏡拋光檢驗結果。
[0026]圖中:1 —接邊框架、2 —角鏡。
[0027]圖3、圖4中:X —測量長度、Y 一測量點垂直高度
【具體實施方式】
[0028]下面結合附圖和實施例對本發明作進一步說明，但不應以此限制本發明的保護范圍。
[0029]準備二件玻璃角度鏡，拋光要求平面度優于0.005mm,粗糙度Ra優于0.4微米。一件玻璃角度鏡零件用于接邊框架拋光，另一件玻璃角度鏡零件不接邊框架拋光。二種拋光測量參數進行效果對比。
[0030]①根據待加工角度鏡的結構，加工接邊框架；
[0031]所述的接邊框架呈平行四邊回字形，該平行四邊回字形的內邊尺寸等于待加工角度鏡的外形尺寸，該接邊框架具有一坡面，該坡面的傾斜角度與待加工角度鏡的角度相適配；
[0032]②建立超凈工作室和I級大理石精密工作臺，在精密工作臺上進行下面的角度鏡和接邊框架的膠合工作；
[0033]③在精密工作臺上，工作人員帶上手套，用光學玻璃擦拭布蘸上酒精對角度鏡的待拋光面進行擦拭，對接邊框架進行擦拭，仔細觀看表面灰塵，直到無人眼可見灰塵，在工作臺面上鋪一張擦拭布，將擦拭好的接邊框架放到精密工作臺上，其坡面朝上；
[0034]④按圖1所示，將擦拭好的接邊框架I水平放到工作臺面上，再將待加工角度鏡2放在接邊框架內，保持拋光面與接邊框架在同一個平面；
[0035]⑤用填充劑將接邊框架和角度鏡膠合，成為框架角鏡組合件，人眼觀察該角鏡組合件，不得出現接縫形成無縫連接；
[0036]所述的填充劑是一種用雙組合環氧樹脂膠和二種加固原料混合而成的粘接膠，本實施例中采用320#H-K9L和400#4J29為加固原料。打開膠筒出口保護蓋，在膠筒出口安裝混膠頭。搬動雙管膠搶，混膠頭流出膠2?3g.混合其余二種加固原料攪拌均勻形成填充劑.用填充劑填充角鏡四周邊連續均勻涂形成框架角鏡組合件。
[0037]⑥修磨所述的框架角鏡組合件的待拋光面，要求拋光面平面度優于0.005mm,粗糙度Ra優于0.4微米；
[0038]⑦將框架角鏡組合件水平放置在QED拋光機的工作臺面上，打開QED拋光機真空吸附功能，使得框架角鏡組合件下基準面與Q ED拋光機工作臺面緊密結合，將待拋光面水平放置進行拋光并修正；
[0039]⑧將另一件未安裝接邊框架的角鏡水平放置在QED拋光機的工作臺面上，打開QED拋光機真空吸附功能，使得角鏡組合件下基準面與QED拋光機工作臺面緊密結合，拋光面水平放置用相同的工藝參數進行拋光并修正；
[0040]⑩將完成拋光的框架角鏡組合件侵入融化劑，分離接邊框架和角度鏡。
[0041]用Taylor Hobson PG1-1250A非球面輪廓儀分別測量經過二種方法加工的零件，使用接邊框架的角鏡檢驗結果見圖3，未使用接邊框架的角鏡檢驗結果見圖4。從圖3可以看出邊緣曲線突變塌陷區域寬度尺寸約為5.9mm,塌陷深度約為0.03mm,其余區域曲線平坦無突變。從圖表4可以看出邊緣曲線突變塌陷區域寬度尺寸約為1.6_，塌陷深度約為0.021mm.其余區域曲線平坦無突變。上述的接邊框架角鏡邊緣塌陷深度約為0.021—
0.03，如果去除0.5mm邊緣保護倒角區與不加接邊框架的角鏡塌陷深度差別不大；所述的接邊框架角鏡邊緣塌陷區域寬度尺寸為不加接邊框架的角鏡塌陷區域寬度尺寸的1/3—1/4。
【權利要求】
1.一種用于分步投影光刻機角度鏡接邊拋光的方法，其特征在于，該方法包括下列步驟: ①根據待加工角度鏡的結構，加工接邊框架； 所述的接邊框架呈平行四邊回字形，該平行四邊回字形的內邊尺寸等于待加工角度鏡的外形尺寸； ②建立超凈工作室和I級大理石精密工作臺，在精密工作臺上進行下面的角度鏡和接邊框架的膠合工作； ③在精密工作臺上，工作人員帶上手套，用光學玻璃擦拭布蘸上酒精對角度鏡的待拋光面進行擦拭，對接邊框架進行擦拭，仔細觀看表面灰塵，直到無人眼可見灰塵，在工作臺面上鋪一張擦拭布，將擦拭好的接邊框架放到精密工作臺上，其坡面朝上； ④將待加工角度鏡嵌入所述的接邊框架的內邊內，角度鏡的角度面與接邊框架上平面重合，使待拋光面與接邊框架底面在同一個平面； ⑤用填充劑將接邊框架和角度鏡膠合，成為框架角鏡組合件，人眼觀察該角鏡組合件，不得出現接縫形成無縫連接； ⑥修磨所述的框架角鏡組合件的待拋光面，要求拋光面平面度優于0.005mm，粗糙度Ra優于0.4微米； ⑦將框架角鏡組合件水平放置在拋光機的工作臺面上，打開拋光機真空吸附功能，使得框架角鏡組合件下基準面與拋光機工作臺面緊密結合，將待拋光面水平放置進行拋光并修正； ⑧將完成拋光的框架角鏡組合件侵入融化劑，分離接邊框架和角度鏡。
2.根據權利要求1所述的用于分步投影光刻機角度鏡接邊拋光的方法，其特征在于，所述的填充劑是由雙組合環氧樹脂膠和加固原料按照一定比例混合而成，該加固原料需要根據所拋光零件材料的物理特性來選擇性能相近的原料。
【文檔編號】G03F9/00GK103645613SQ201310652352
【公開日】2014年3月19日 申請日期:2013年12月5日 優先權日:2013年12月5日
【發明者】黃克飛, 顧亞平, 魏向榮 申請人:上海現代先進超精密制造中心有限公司