一種線寬測量的制造方法
【專利摘要】本實用新型公開了一種線寬測量機，包括：光柵、測試鏡頭；其特征在于，所述線寬測量機還包括：照度感應裝置、控制單元以及光柵驅動單元；其中，所述控制單元與所述照度感應裝置相連，所述照度感應裝置，用于接收光信號并將不同強度的光信號轉換為不同的電信號，并將所述電信號傳送給所述控制單元；所述控制單元用于根據所述電信號控制所述光柵驅動單元。本實用新型可避免因線寬測量機中光源隨時間的衰減而導致測量結果準確性變差的問題，可控性高，且實現方法簡單。
【專利說明】一種線寬測量機
【技術領域】
[0001]本實用新型涉及液晶顯示【技術領域】中的線寬測量技術，尤其涉及一種線寬測量 機。
【背景技術】
[0002]現有的TFT液晶顯示器的制備過程中所使用的線寬測量機的結構如圖1所示，包 括:測試鏡頭固定梁11、測試鏡頭12、光纖13、光柵14和光源15組成的燈箱16、信息處理 器17、測試機臺18。其中，所述測試鏡頭12設置于所述測試鏡頭固定梁11下部、所述測試 鏡頭12可沿平行于所述測試鏡頭固定梁11的方向在所述測試鏡頭固定梁11水平移動，所 述測試鏡頭固定梁11可在垂直于自身的水平方向上移動；所述測試鏡頭12通過光纖13與 所述燈箱16相連,光纖13將燈箱16發出的測試光傳輸到測試鏡頭12,所述燈箱16中的 光柵14用于控制光源15發出的光線通過量，并與濾光片共同作用提供單色光；所述信息處 理器17與所述燈箱16以及所述測試鏡頭12電連接；如圖2 (a)所示，所述燈箱16中還包 括濾光片110。實際應用過程中，待測試基板19至于所述測試機臺18上。目前，所述光源 15通常為鹵素燈，但由于其使用壽命有限，且在使用過程中照度會持續衰減，進而導致到達 測試鏡頭12的光量變弱而最終導致測試準確性變差。
[0003]現有技術通過定期的手動校正來實現消除因光源衰減造成的測量誤差。其做法是 定期在線寬測量機上通過手動模式對各個薄膜晶體管液晶顯示器的掃描式電子顯微鏡標 準片或標準掩膜版進行測量，通過調節測量時使用的光柵光量通過條件，使之與掃描式電 子顯微鏡標準片或標準掩膜版上的線寬相吻合，然后通過信息處理器修改測試程式中光柵 光量通過條件，即光柵位置。這種方法的不足之處在于:
[0004]I)由于每種型號的TFT液晶顯示器均需要單獨制備特殊的SEM標準片或者標準掩 膜版，因此，程序繁瑣且實現較困難；
[0005]2)線寬測量機的光源使用壽命一般在2000小時左右，由于其衰減并非是等量衰 減，故在2000小時內需多次校準，不但費時費力，測量結果可控性也較差；
[0006]3)校準工作為全手動方法進行,無法避免人為的誤差。
[0007]綜上所述，有待提出一種可控性較高的避免因線寬測量機中光源隨時間的衰減而 導致測量結果準確性變差的問題。
實用新型內容
[0008]有鑒于此，本實用新型的主要目的在于提供一種線寬測量機，可避免因線寬測量 機中光源隨時間的衰減而導致測量結果準確性變差的問題，可控性高。
[0009]為達到上述目的，本實用新型的技術方案是這樣實現的:
[0010]本實用新型提供了一種線寬測量機，包括光柵、測試鏡頭；所述線寬測量機還包 括:照度感應裝置、控制單元以及光柵驅動單元；其中，所述控制單元與所述照度感應裝置 相連，[0011]所述照度感應裝置，用于接收光信號并將不同強度的光信號轉換為不同的電信號，并將所述電信號傳送給所述控制單元；所述控制單元用于根據所述電信號控制所述光柵驅動單元。
[0012]其中，所述光柵驅動單元為電機，用于驅動所述光柵進行旋轉。
[0013]其中，所述照度感應裝置與所述控制單元電連接。
[0014]上述方案中，所述照度感應裝置設置于所述測試機臺上表面任一一角的位置。
[0015]上述方案中，所述照度感應裝置的感應面與所述測試鏡頭所在平面平行。
[0016]本實用新型提供的線寬測量機包括:照度感應裝置、控制單元以及光柵驅動單元；其中，所述控制單元與所述照度感應裝置相連，所述照度感應裝置，用于接收光信號并將不同強度的光信號轉換為不同的電信號，并將所述電信號傳送給所述控制單元；所述控制單元用于根據所述電信號控制所述光柵驅動單元。在實際進行線寬測量時，控制模塊通過照度測試時記錄的照度值與光柵旋轉位置的對應關系找到測試程式中設定的照度值，并通過所述光柵驅動單元將所述光柵旋轉到與所述測試程式中設定的照度值對應的位置處，因此，可實現測試鏡頭端的照度值保持為測試程式中設定的照度值不變，進而保證線寬測量結果的穩定性，消除由于光源衰減造成的測量準確性變差的問題。
[0017]此外，由于本實用新型只需在所述測試機臺上設置一個照度感應裝置，并設置所述控制單元和光柵驅動單元，由于光源光量的衰減可以通過照度感應裝置測試后不斷補正，保證測試鏡頭端的測試光量不變，因此光源的使用壽命得到延長，直至達到其使用的安全電壓范圍。
[0018]另外，由于本實用新型的光柵旋轉位置的調整均通過所述控制單元和光柵驅動單元的結合自動調節，相對于現有的手動調節，大大降低了設備校準所用時間和工作量；本實用新型在照度測試后即可及時進行光柵位置的調節，不需人為參與，因此測量結果的可控性高。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0019]圖1為現有線寬測量機的結構示意圖；
[0020]圖2 Ca)為現有線寬測量機中燈箱的結構示意圖；
[0021]圖2 (b)為所述燈箱中光柵的平面結構示意圖；
[0022]圖2 (C)為所述燈箱中濾光片的平面結構示意圖；
[0023]圖3為現有燈箱中光柵開口率與光柵閉合位置的關系；
[0024]圖4為現有光源的光強隨時間增加而衰減的曲線圖；
[0025]圖5為現有光源光量衰減前后固定光柵位置與光強對應關系圖；
[0026]圖6為本實用新型實施例所述線寬測量機的結構示意圖；
[0027]圖7為本實用新型實施例所述光柵的不同旋轉位置與照度間的對應關系；
[0028]圖8為利用本實用新型所述線寬測量機進行線寬測量實施例一的流程示意圖；
[0029]圖9為利用本實用新型所述線寬測量機進行線寬測量實施例二的流程示意圖。
[0030]附圖標記說明:
[0031]11測試鏡頭固定梁；12、22測試鏡頭；13光纖；14、24光柵；15光源；16、26燈箱；17、27信息處理器；18、28測試機臺；19待測試基板；110濾光片；211照度感應裝置；212控制單元；213光柵驅動單元。
【具體實施方式】
[0032]本實用新型的基本思想是:在所述測試機臺上設置照度感應裝置，并在所述信息處理器內設置與所述照度感應裝置相連控制模塊，以及設置與所述光柵相連的光柵驅動單元，所述照度感應裝置，用于接收光信號并將不同強度的光信號轉換為不同的電信號，并將所述電信號傳送給所述控制單元；所述控制單元用于根據所述電信號控制所述光柵驅動單
J Li ο
[0033]進行線寬測量時，控制模塊通過照度測試時記錄的照度值與光柵旋轉位置的對應關系找到測試程式中設定的照度值，并通過所述光柵驅動單元將所述光柵旋轉到與所述測試程式中設定的照度值對應的位置處，從而實現測試鏡頭端的照度值保持為測試程式中設定的照度值不變，進而保證線寬測量結果的穩定性，消除由于光源衰減造成的測量準確性變差的問題。
[0034]下面對圖1所示現有的線寬測量機的應用方法進行簡單描述，如下:
[0035]使用過程中，由光源15發出測試光經由光柵14旋轉到測試程式中定義的位置來控制所需的光量，再經由光纖15傳輸到測試鏡頭12，然后再經由測試鏡頭12照射到測試機臺18上的待測試基板19上。傳輸到測試鏡頭12的光量由信息處理器17對燈箱16進行自動調節和控制。
[0036]對待測試基板19進行測量時，信息處理器17讀取自身內部存儲的測試程式，之后通過控制燈箱中的光柵14的位置，使得最終發出的光線達到測試程式中所需的光量條件后，即可開始測量，直至測量結束。光柵14通過旋轉閉合的不同位置來達到測試程式中限定的條件，在光源照度穩定的條件下光柵閉合與光線通過量的比例如圖3所示，光柵14全閉合狀態，即:開口率為O時，光線通過量(光強)為O ;光柵14全打開狀態，即:開口率為100時，光線通過量為100，開口率在O?100之間對應測試程式中定義的具體光柵14的旋轉位置。
[0037]普通線寬測量機測試程式中定義的線寬測量條件為:編輯測試程式時，光量條件(光強)與光柵14打開位置相對應，在測試程式編輯完成后進行光量測試時，系統通過讀取測試程式中已經設定的光量條件即其對應的光柵位置，并驅動光柵達到該位置實現所需的光量條件。但是隨著光源15的衰減會造成在固定的光柵位置所通過的光的光強隨使用時間的增加而顯著降低，如圖4所示，進而導致測試時其光量條件與測試程式編輯時不一致，且使用時間越長則這種差異就越大，如圖5所示，在光源15的初始條件下，光柵開口率在50數值時對應的光強是50，而經過2000小時的衰減后光柵開口率在數值50時對應的光強則是35，已經不能達到50光強所需的條件。
[0038]由上可知，由于燈箱16所發的光線光強降低，傳輸到測試鏡頭12的光量條件降低，則會使得測量時判定的線寬邊界遷移而導致測量結果出現偏差。
[0039]下面結合附圖及具體實施例對本實用新型作進一步詳細說明。
[0040]圖6為本實用新型實施例所述線寬測量機的結構示意圖,如圖6所示,在所述測試機臺28上設置有測量測試鏡頭22所接收的燈箱26所發出光線的照度值的照度感應裝置211，還設置有與所述照度感應裝置211電連接的控制單元212，所述控制單元212可設置于所述信息處理器27內(圖6所示)，還設置有與所述光柵24相連的光柵驅動單元213。其中，所述照度感應裝置211，用于接收光信號并將不同強度的光信號轉換為不同的電信號， 并將所述電信號傳送給所述控制單元212 ;所述控制單元212用于根據所述電信號控制所述光柵驅動單元213。
[0041]其中，所述光柵驅動單元213可為電機，用于驅動所述光柵24進行旋轉。
[0042]其中，所述照度感應裝置211設置于所述測試機臺28上表面任一一角的位置，例如圖6中所示的測試機臺28的左上角的位置，以便在線寬測量前對測試鏡頭22所接收的燈箱26所發出光線的照度值進行測試。
[0043]優選實施例中所述照度感應裝置211的感應面與測試鏡頭22的鏡頭所在平面平行。
[0044]下面舉例說明所述控制模塊在照度測試時記錄各個照度值與光柵的不同旋轉位置的對應關系的方法，如圖7所示，將燈箱26中光柵24的不同旋轉位置與照度值一一對應。
[0045]將燈箱中光柵不同旋轉位置與照度一一對應，由于光強與照度之間存在對應關系，且從現有技術可知，光柵的旋轉位置與光強之間存在對應關系，因此可得光柵不同旋轉位置與照度的對應關系。如圖7所示，光源的光量衰減前，進行照度測試時，光柵旋轉位置 0對應的照度值為0，旋轉位置10對應照度值為a，…，旋轉位置50對應照度值為e，…， 旋轉位置100對應的照度值為i ;光源的光量衰減后，經過再次照度測試時，重新將照度值與光柵的旋轉位置進行一一對應，光柵旋轉位置0對應的照度值為0，旋轉位置10對應照度值為b，…，旋轉位置50對應的照度值為d，…，旋轉位置100對應照度值為h。這樣，即使光源光量衰減后，只要經過一次照度測試就可重新對應照度與光柵旋轉位置的對應關系， 確保進行線寬測量時測試鏡頭22處的照度值保持不變，進而保證測試結果的穩定性，消除由于光源衰減造成的測量誤差。
[0046]下面舉例對本實用新型所述線寬測量機的應用方法進行描述。
[0047]圖8為利用本實用新型所述線寬測量機進行線寬測量實施例一的流程示意圖，現有技術中進行線寬測量時，待測試基板19至于所述測試機臺18后，信息處理器17讀取 存儲的測試程式后直接控制光柵旋轉到測試程式中設置的光強對應的旋轉位置即開始測量， 不論光源光量是否衰減，其光柵旋轉位置始終是測試程式中定義的固定位置；而在本實用新型實施例一中，如圖8所示，在光柵旋轉之前添加了照度測試的過程，照度測試完成后， 光柵旋轉到測試程式中定義的與照度值對應的旋轉位置。與現有技術相比，現有技術中測試程式定義的是線寬測量時光柵的旋轉位置固定，不會隨著光源的衰減而變化，而本實施例中測試程式定義的則是線寬測量時的照度值，通過旋轉光柵找到對應的照度值后才開始進行線寬測量，雖然光源隨使用時間增加光量會衰減，但照度固定則可通過增大光柵的開口而實現照度不變。
[0048]圖9為利用本實用新型所述線寬測量機進行線寬測量實施例二的流程示意圖，與實施例一不同的是，本實施例中將照度測試過程由實施例一中的每次線寬測量前的測試改為定期測試。雖然光源，如鹵素燈衰減較快，但在短時間內變化較小，即可將照度測試設定為每24小時測試一次、或每12小時測試一次，則可在提高測試準確度的同時降低測試所需時間。[0049]在實際進行線寬測量時，控制模塊通過照度測試時記錄的照度值與光柵旋轉位置的對應關系找到測試程式中設定的照度值，并通過所述光柵驅動單元將所述光柵旋轉到與所述測試程式中設定的照度值對應的位置處，因此，可實現測試鏡頭端的照度值保持為測試程式中設定的照度值不變，進而保證線寬測量結果的穩定性，消除由于光源衰減造成的測量準確性變差的問題。
[0050]此外，由于本實用新型只需在所述測試機臺上設置一個照度感應裝置，并設置所述控制單元和光柵驅動單元，由于光源光量的衰減可以通過照度感應裝置測試后不斷補正，保證測試鏡頭端的測試光量不變，因此光源的使用壽命得到延長，直至達到其使用的安全電壓范圍。
[0051]另外，由于本實用新型的光柵旋轉位置的調整均通過所述控制單元和光柵驅動單元的結合自動調節，相對于現有的手動調節，大大降低了設備校準所用時間和工作量；本實用新型在照度測試后即可及時進行光柵位置的調節，不需人為參與，因此測量結果的可控性高。
[0052]以上所述，僅為本實用新型的較佳實施例而已，并非用于限定本實用新型的保護范圍。
【權利要求】
1.一種線寬測量機，包括光柵、測試鏡頭；其特征在于，所述線寬測量機還包括:照度感應裝置、控制單元以及光柵驅動單元；其中，所述控制單元與所述照度感應裝置相連， 所述照度感應裝置，用于接收光信號并將不同強度的光信號轉換為不同的電信號，并將所述電信號傳送給所述控制單元；所述控制單元用于根據所述電信號控制所述光柵驅動單元。
2.根據權利要求1所述的線寬測量機，其特征在于，所述光柵驅動單元為電機，用于驅動所述光柵進行旋轉。
3.根據權利要求1所述的線寬測量機，其特征在于，所述照度感應裝置與所述控制單元電連接。
4.根據權利要求1、2或3所述的線寬測量機，其特征在于，所述照度感應裝置設置于所述測試機臺上表面任一一角的位置。
5.根據權利要求1、2或3所述的線寬測量機，其特征在于，所述照度感應裝置的感應面與所述測試鏡頭所在平面平行。
【文檔編號】G02F1/13GK203454970SQ201320229568
【公開日】2014年2月26日 申請日期:2013年4月27日 優先權日:2013年4月27日
【發明者】龔長勇, 孫林, 汪雄, 魯成祝, 黃炳相 申請人:合肥京東方光電科技有限公司, 京東方科技集團股份有限公司