一種二硝基二苯胺重氮樹脂、含有該樹脂的光刻膠組合物及其制備方法
【專利摘要】本發(fā)明涉及一種二硝基二苯胺重氮樹脂、含有上述重氮樹脂的光刻膠組合物及其制備方法，所述組合物由包括4-6重量份的成膜樹脂、10-15重量份的重氮樹脂、0.1-1重量份的背景染料的原料在200-300重量份的有機(jī)溶劑中溶解形成。該二硝基二苯胺重氮樹脂作為感光劑，運(yùn)用于LCD負(fù)性光刻膠中，抗干法刻蝕能力強(qiáng)，分辨率高，能夠提高光刻膠與膜層的附著力，顯影過程中光刻膠不脫落，省去使用增粘劑HMDS的工藝過程。
【專利說明】-種二硝基二苯胺重氮樹脂、含有該樹脂的光刻膠組合物 及其制備方法

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001] 本發(fā)明涉及顯示制造領(lǐng)域，具體涉及一種二硝基二苯胺重氮樹脂、含有上述重氮 樹脂的光刻膠組合物及其制備方法。

【背景技術(shù)】
[0002] 光刻膠是大規(guī)模集成電路工業(yè)中進(jìn)行光刻過程的關(guān)鍵功能材料。光刻膠經(jīng)紫外光 照射后，發(fā)生一系列化學(xué)反應(yīng)，使得曝光前后光刻膠在顯影液中的溶解速率產(chǎn)生變化，再經(jīng) 過顯影、堅(jiān)膜、蝕刻和去膜等過程就能夠?qū)⑻囟ǖ母呔葓D形轉(zhuǎn)移到待加工的基板表面。
[0003] 根據(jù)光刻工藝的不同，光刻膠可分為正性光刻膠和負(fù)性光刻膠兩大類。隨著大規(guī) 模集成電路工業(yè)的飛速發(fā)展、集成電路產(chǎn)品及品種的多樣化W及光刻工藝的不斷改進(jìn)，對(duì) 光刻工藝過程中使用的關(guān)鍵材料，特別是光刻膠的要求更高，光刻膠的種類及性能更加多 樣化、專業(yè)化。
[0004] 目前已經(jīng)將重氮蔡釀樹脂應(yīng)用于LCD光刻膠中，但是由于重氮蔡釀樹脂存在熱穩(wěn) 定性差、不易保存、易于潮解等缺點(diǎn)，因此，亟需提供一種熱穩(wěn)定高、抗干法刻蝕能力強(qiáng)、分 辨率高的光刻膠。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0005] 本發(fā)明的目的是提供一種熱穩(wěn)定性高、能夠提高光刻膠抗干法刻蝕能力和分辨率 的重氮樹脂W及含有該重氮樹脂的光刻膠組合物。
[0006] 為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明一方面提供一種重氮樹脂，所述的重氮樹脂結(jié)構(gòu)如下 式所示：

【權(quán)利要求】
1. 一種重氮樹脂，其特征在于，其結(jié)構(gòu)式如下式所示：
其中，η為2以上的整數(shù)； IT為六氟磷酸根、十二烷基苯磺酸根、十二烷基磺酸根、對(duì)甲苯磺酸根、均三甲苯磺酸 根或萘磺酸根陰離子； W為CH2或
X為氫、甲氧基或甲基； Y為硝基； Z為甲基或乙基。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的重氮樹脂，其特征在于，η為2-10的整數(shù)。
3. 根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的重氮樹脂，其特征在于，IT為均三甲苯磺酸根陰離子。
4. 根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的重氮樹脂，其特征在于，W為CH2或
5. 根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的重氮樹脂，其特征在于，X為氫。
6. 根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的重氮樹脂，其特征在于，Z為甲基。
7. 根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的重氮樹脂，其特征在于，IT為均三甲苯磺酸根陰離子，W 為CH2 g
X為氫，Z為甲基。
8. -種光刻膠組合物，其特征在于，所述組合物由包括4-6重量份的成膜樹脂、10-15 重量份的權(quán)利要求1-7任一項(xiàng)所述的重氮樹脂、0. 1-1重量份的背景染料的原料在200-300 重量份的有機(jī)溶劑中溶解形成。
9. 根據(jù)權(quán)利要求8所述的光刻膠組合物，其特征在于，所述的成膜樹脂包括環(huán)氧樹脂、 聚乙烯醇縮醛樹脂和聚氨酯樹脂中的一種或幾種。
10. 根據(jù)權(quán)利要求8所述的光刻膠組合物，其特征在于：所述的背景染料為堿性艷藍(lán)、 結(jié)晶紫、維多利亞純藍(lán)、靛藍(lán)、甲基紫、孔雀石綠或油溶藍(lán)中的一種或幾種。
11. 根據(jù)權(quán)利要求8所述的光刻膠組合物，其特征在于：所述的有機(jī)溶劑為乙二醇單甲 醚、乙二醇單乙醚、丙二醇單乙醚、甲乙酮、醋酸丁酯、二氧六環(huán)、N-甲基吡咯烷酮、甲醇或四 氫呋喃中的一種或幾種。
12. -種權(quán)利要求8-11所述的光刻膠組合物的制備方法，其特征在于： 將背景染料溶于有機(jī)溶劑中，待徹底溶解后，再加入成膜樹脂、重氮樹脂，然后過濾。
13. 根據(jù)權(quán)利要求12所述的制備方法，其特征在于： 采用濾紙進(jìn)行所述過濾。
14. 一種權(quán)利要求8-11所述的光刻膠組合物的使用方法，其特征在于： 在曝光時(shí)，曝光區(qū)域的無水膠印版受到紫外光照射，感光層中的重氮樹脂發(fā)生感光反 應(yīng)，生成陽離子自由基，并與成膜樹脂交聯(lián)結(jié)合； 顯影時(shí)，曝光部分因交聯(lián)而保留，而未曝光部分因未發(fā)生反應(yīng)而被顯影液除去，得到陰 圖圖像。
15. 根據(jù)權(quán)利要求14所述的使用方法，其中： 曝光部分的光刻膠與SiO2表面通過氫鍵粘合在一起，未曝光部分的光刻膠在顯影后去 除。
16. 根據(jù)權(quán)利要求14或15所述的使用方法，其中： 所述顯影液以1-5質(zhì)量份的Na2SiO3,8-10質(zhì)量份的苯甲醇，4-8質(zhì)量份的十二烷基硫 酸鈉溶解在80-120質(zhì)量份的水中形成。
【文檔編號(hào)】G03F7/004GK104262193SQ201410476040
【公開日】2015年1月7日 申請(qǐng)日期:2014年9月17日 優(yōu)先權(quán)日:2014年9月17日
【發(fā)明者】汪建國 申請(qǐng)人:京東方科技集團(tuán)股份有限公司