硅片顯影定影裝置制造方法
【專利摘要】一種硅片顯影定影裝置，它包括槽體、槽蓋、吹氣泵、吸氣泵、氣體罐、流量調(diào)節(jié)閥和氣體分流裝置，所述吹氣泵的進(jìn)氣端與氣體罐連通，其出氣端與所述氣體分流裝置連通，在出氣端與氣體分流裝置連通的管道上設(shè)置所述流量調(diào)節(jié)閥；所述吸氣泵的進(jìn)氣端與槽體連通，其出氣端與所述氣體罐連通；所述氣體分流裝置設(shè)置在槽體底部。本實用新型通過在槽體內(nèi)設(shè)置氣體分流裝置，在顯影定影液中通入氣體，利用氣泡的沖擊力對硅片進(jìn)行清洗，同時，氣體可回收利用，不僅不會對環(huán)境造成污染，而且使用成本低。
【專利說明】硅片顯影定影裝置

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型涉及硅片顯影定影裝置。

【背景技術(shù)】
[0002]目前，硅片加工工藝中的顯影定影設(shè)備主要是硅片浸沒晃動顯影定影設(shè)備，這種設(shè)備需要在顯影定影液中將硅片晃動清洗，雖然能大批量處理硅片，但晃動過程中容易導(dǎo)致硅片破碎損壞。還有一種是采用噴嘴在硅片上噴灑顯影定影液，同時硅片低速旋轉(zhuǎn)，這種設(shè)備處理硅片數(shù)量少，而且設(shè)備成本高。
實用新型內(nèi)容
[0003]為了克服上述現(xiàn)有技術(shù)存在的缺點，本實用新型的目的在于提供一種處理硅片效率高，結(jié)構(gòu)簡單，成本低的硅片顯影定影裝置。
[0004]為了解決上述問題，本實用新型采用以下技術(shù)方案:一種硅片顯影定影裝置，其特征在于，它包括槽體、槽蓋、吹氣泵、吸氣泵、氣體罐、流量調(diào)節(jié)閥和氣體分流裝置，所述吹氣泵的進(jìn)氣端與氣體罐連通，其出氣端與所述氣體分流裝置連通，在出氣端與氣體分流裝置連通的管道上設(shè)置所述流量調(diào)節(jié)閥；所述吸氣泵的進(jìn)氣端與槽體連通，其出氣端與所述氣體罐連通；所述氣體分流裝置設(shè)置在槽體底部。
[0005]優(yōu)選的，所述氣體分流裝置為分流管，所述分流管上設(shè)置有若干出氣孔。
[0006]作為本實用新型的另一個優(yōu)選實施例，所述氣體分流裝置為設(shè)置在所述槽體底部的盒體，所述盒體的上表面設(shè)置有若干出氣孔。
[0007]本實用新型的有益效果是:它通過在槽體內(nèi)設(shè)置氣體分流裝置，在顯影定影液中通入氣體，利用氣泡的沖擊力對硅片進(jìn)行清洗，同時，氣體可回收利用，不僅不會對環(huán)境造成污染，而且使用成本低。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0008]下面結(jié)合附圖和實施例對本實用新型做進(jìn)一步的說明:
[0009]圖1為本實用新型第一實施例的俯視結(jié)構(gòu)示意圖；
[0010]圖2為本實用新型第二實施例的主視結(jié)構(gòu)示意圖。
[0011]圖中，I槽體、2槽蓋、3吹氣泵、4吸氣泵、5氣體罐、6流量調(diào)節(jié)閥、7氣體分流裝置。

【具體實施方式】
[0012]下面結(jié)合附圖對本實用新型做進(jìn)一步詳細(xì)描述:
[0013]如圖1和圖2所示，本實用新型的第一實施例和第二實施例均包括槽體1、槽蓋2、吹氣泵3、吸氣泵4、氣體罐5、流量調(diào)節(jié)閥6和氣體分流裝置7。
[0014]所述吹氣泵3的進(jìn)氣端通過管道與氣體罐5連通，吹氣泵3的出氣端與所述氣體分流裝置7通過管道連通，為了調(diào)節(jié)氣體分流裝置7的氣體流量，在出氣端與氣體分流裝置7連通的管道上設(shè)置所述流量調(diào)節(jié)閥6。
[0015]所述吸氣泵4的進(jìn)氣端與槽體I的上端連通，吸氣泵4的出氣端與所述氣體罐5連通。所述氣體分流裝置7設(shè)置在槽體I底部。
[0016]為了保證清洗時氣體不泄露，槽蓋2的邊緣設(shè)置有密封條，且槽蓋2采用較厚的鋼板，槽蓋2蓋在槽體I上時與槽體I緊密配合。
[0017]對本實用新型的第一實施例，如圖1所示，首先需要說明的是，圖1中并未畫出槽蓋2。本實施例中所述氣體分流裝置7為分流管，所述分流管上設(shè)置有若干出氣孔，分流管的形狀可以多種多樣，圖1中所示的也不是唯一的形狀，例如還可以是彎曲的“S”型，分流管可以是直接放置在槽體I的底部，也可以焊接在槽體I的底部。
[0018]對本實用新型的第二實施例，如圖2所示，它的氣體分流裝置7為設(shè)置在所述槽體I底部的盒體，所述盒體的上表面設(shè)置有若干出氣孔，盒體的大小與槽體I的底部相同，盒體可以直接焊接在槽體I底部，也可以放置在槽體I底部。
[0019]由于氮氣穩(wěn)定性較強，不會與顯影定影液反應(yīng)，因此氣體罐5內(nèi)裝入氮氣，使用時，將硅片籃放置在槽體I內(nèi)，倒入顯影定影液，蓋上槽蓋2，打開吸氣泵和吹氣泵，開始對硅片清洗。氣體在氣體罐5和槽體I內(nèi)循環(huán)。
[0020]以上所述只是本實用新型的優(yōu)選實施方式，對于本【技術(shù)領(lǐng)域】的普通技術(shù)人員來說，在不脫離本實用新型原理的前提下，還可以做出若干改進(jìn)和潤飾，這些改進(jìn)和潤飾也被視為本實用新型的保護范圍。
【權(quán)利要求】
1.一種硅片顯影定影裝置，其特征在于，它包括槽體、槽蓋、吹氣泵、吸氣泵、氣體罐、流量調(diào)節(jié)閥和氣體分流裝置，所述吹氣泵的進(jìn)氣端與氣體罐連通，其出氣端與所述氣體分流裝置連通，在出氣端與氣體分流裝置連通的管道上設(shè)置所述流量調(diào)節(jié)閥；所述吸氣泵的進(jìn)氣端與槽體連通，其出氣端與所述氣體罐連通；所述氣體分流裝置設(shè)置在槽體底部。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的硅片顯影定影裝置，其特征在于，所述氣體分流裝置為分流管，所述分流管上設(shè)置有若干出氣孔。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的硅片顯影定影裝置，其特征在于，所述氣體分流裝置為設(shè)置在所述槽體底部的盒體，所述盒體的上表面設(shè)置有若干出氣孔。
【文檔編號】G03F7/30GK204028566SQ201420406632
【公開日】2014年12月17日 申請日期:2014年7月23日 優(yōu)先權(quán)日:2014年7月23日
【發(fā)明者】許玉雷 申請人:濟南晶博電子有限公司