本公開中給出的實施例一般地涉及無源對準用于復用/解復用多波長光信號的光學部件。更具體地，這里公開的實施例將光學部件布設在具有預先制造的腔體的襯底上。

背景技術：

接收器光學子組件(ROSA)和發送器光學子組件(TOSA)的成本很大程度上受到封裝成本的影響。封裝成本通常又受到在ROSA/TOSA內以高精度和高緊密度容限有源對準光學部件的需求的驅動。有源對準這些部件還會影響制造設備的成本、整體質量、產量、和可制造性。

多波長光學子組件通常基于使用薄膜濾光器(TFF)和反射鏡來實現波長分離或組合的解復用(在ROSA的情況下)和復用(在TOSA的情況下)。但是，濾光器和反射鏡需要通過有源調諧實現高精度的光對準。這種高精度的有源對準增加了裝配時間和成本。數據中心的成長增大了對于更便宜且更緊湊的光學子組件的需求。

附圖說明

通過參考附圖中示出了其中一些的實施例，可以獲得更詳細地理解本公開的上述特征的方式、以上簡要概括的本公開的更具體的描述。但是應該注意的是，示圖僅示出了本公開的典型實施例，因此不應該被認為限制本公開的范圍，因為本公開可以認可其他等效的實施例。

圖1示出了根據這里描述的一個實施例的對多波長光信號進行解復用的處理。

圖2示出了根據這里描述的一個實施例的將光信號復用為多波長光信號的處理。

圖3A是根據這里描述的一個實施例的具有用于光學部件的腔體的基座。

圖3B-3C是根據這里描述的一個實施例的具有對準的光學部件的基座。

圖4A-4C示出了根據這里描述的一個實施例的組裝光接收器的處理。

圖5是根據這里描述的一個實施例的具有集成槽的基座。

圖6A-6B示出了根據這里描述的一個實施例的組裝光發送器的處理。

圖7是根據這里描述的一個實施例的用于無源對準復用器/解復用器中的光學部件的方法。

圖8是根據這里描述的一個實施例的包括多個光學子組件的晶片。

為便于理解，在可能的情況下，使用相同的參考標號來指定附圖中共有的相同元件?？梢灶A見的是，在一個實施例中公開的元件可以在沒有具體引用的情況下被有利地用在其他實施例中。

具體實施方式

概述

本公開中給出的一個實施例是一種方法，該方法包括將反射鏡布設在第一腔體中，使得反射鏡和第一腔體的相應表面處于接觸狀態，并且促使反射鏡和第一腔體相互之間存在第一預定關系。該方法還包括將濾光器布設在第二腔體中，使得濾光器和第二腔體的相應表面處于接觸狀態，并且促使濾光器和第二腔體相互之間存在第二預定關系。另外，第一腔體和第二腔體被相對于彼此布置，從而布設反射鏡和濾光器使得反射鏡和濾光器被無源地對準，以使用入射到濾光器上的光信號來執行解復用功能和復用功能中的一種功能。

本公開中給出的另一實施例是一種光學設備，該光學設備包括具有第一腔體和第二腔體的襯底，第一腔體和第二腔體分別從相同表面延伸到襯底中。該設備包括布設在第一腔體中的反射鏡，其中反射鏡和第一腔體的相應表面處于接觸狀態并且將反射鏡和第一腔體布置為相互之間存在第一預定關系。該設備還包括布設在第二腔體中的至少一個濾光器，其中，濾光器和第二腔體的相應表面處于接觸狀態并且將濾光器和第二腔體布置為相互之間存在第二預定關系。另外，第一預定關系和第二預定關系無源地對準濾光器和反射鏡，以使用入射到濾光器上的光信號來執行解復用功能和復用功能中的一種功能。

本公開中描述的另一實施例是一種具有基座的光學設備，該基座包括第一襯底，該第一襯底包括分別從相同表面延伸到第一襯底中的第一腔體和第二腔體。該基座還包括布設在第一腔體中的反射鏡，其中，反射鏡和第一腔體的相應表面處于接觸狀態并且將反射鏡和第一腔體布置為相互之間存在第一預定關系。該基座包括布設在第二腔體中的至少一個濾光器，其中，濾光器和第二腔體的相應表面處于接觸狀態并且將濾光器和第二腔體布置為相互之間存在第二預定關系。另外，第一預定關系和第二預定關系無源地對準濾光器和反射鏡，以使用入射到濾光器上的光信號來執行解復用功能和復用功能中的一種功能。該光學系統包括具有第三腔體的第二襯底，第一襯底和第三腔體的相應表面處于接觸狀態并且將第一襯底和第三腔體布置為相互之間存在第三預定關系。該第二襯底還包括光學部件，該光學部件被配置為執行以下處理之一：接收來自濾光器的單波長光信號和向濾光器發送單波長光信號。

示例實施例

在ROSA中，接收到的多波長光信號可以被解復用為具有相應波長的多個光信號。也就是說，接收到的光信號中的各種波長被分離為具有不同波長的不同光信號。在TOSA中，具有相應波長的多個光信號可以被復用為單個多波長光信號。在一個實施例中，這些光學子組件包括與反射鏡對準以執行復用/解復用功能的多個濾光器。這里的實施例公開了光學子組件，其中，執行復用/解復用功能的光學部件被以無源方式而非有源方式對準。

在一個實施例中，基座被蝕刻為包括相應的腔體，這些腔體分別包括用于對準濾光器和反射鏡的至少兩條鄰邊。另外，這些腔體被布置在基座上，從而使得當濾光器和反射鏡被布設在這些腔體中并且接觸這兩條鄰邊時，它們以使能復用/解復用功能的方式對準。即，濾光器和反射鏡被以無源方式而非有源方式對準，其中，在有源方式中技術人員必須對這些子組件進行調諧?；S后可以被放置在包括ROSA或TOSA的其他部件的襯底上。在一個實施例中，襯底也被蝕刻為包括具有至少兩條鄰邊的腔體，以無源地將基座與布設在襯底上的光學部件對準。

圖1示出了根據這里描述的一個實施例的用于對多波長光信號進行解復用的光學系統100。通常，系統100使用鋸齒形解復用器將多波長光信號110(即，包括多個波長的信號)分離為具有不同波長的多個輸出光信號。在圖中示出的實施例中，光信號110包括四個不同波長(也被稱為通道)，這些波長被分離為四個不同輸出光信號121、122、123、124。

解復用系統100包括光源105、反射鏡120、多個濾光器115、透鏡125、以及接收器130。光源105可以是在朝向濾光器115A的方向發送多波長光信號110的光纖、準直器、透鏡等。由于光信號110中存在四個不同波長，所以系統100包括具有針對不同波長的相應通帶的四個不同的濾光器115。具體地，濾光器115可以分別允許不同范圍的波長通過，但是反射所有其他波長。這樣一來，濾光器115可以由不同材料或成分制成，因此可以具有不同的通帶。例如，與濾光器115B、115C、和115D相比，濾光器115A允許不同范圍的波長通過。但是，濾光器115的通帶可以重疊。在一個實施例中，濾光器可以包括薄膜濾光器。

如圖所示，光信號110照到濾光器115A，濾光器115A允許信號110中的一個波長通過濾光器115A，以生成第一輸出信號121。即，濾光器115A具有僅包括光信號110中的四個波長之一的通帶范圍。因此，具有該波長的光能通過濾光器115A的材料，而其他三個波長被反射向反射鏡120。反射鏡120和濾光器115被對準，以使得反射鏡120將光信號110的剩余三個波長反射到濾光器115B，濾光器115B僅允許剩余三個波長之一通過。該波長的光能通過濾光器115B，以生成第二輸出信號122。注意，濾光器115B的通帶不需要排除被移除以生成第一輸出信號121的波長，因為該波長已經被使用濾光器115A從光信號中分離出來。

光信號110中的兩個剩余波長被濾光器115B反射到反射鏡120，反射鏡120隨后將信號110反射到濾光器115C。濾光器115C具有僅允許兩個剩余波長之一通過濾光器115C以生成第三輸出信號123的通帶。剩余波長被從濾光器115C反射到反射鏡120上然后又被反射到濾光器115D上，濾光器115D具有允許最后的剩余波長通過以生成第四輸出光信號124的通帶。盡管不一定有最后的濾光器115D，但是優選地具有濾光器115D以確保不期望的波長隨后不被發送到系統100中的其他級并且維持與其他三個輸出信號121、122、和123相同的偏置。這樣，系統110將多波長光信號110解復用為具有四個不同波長的四個不同的輸出信號121、122、123、和124。

這些輸出信號隨后傳播通過相應的透鏡125和接收器130。在一個實施例中，接收器130是將輸出光信號121、122、123和124中的光能轉換為電信號的檢測器(例如，光電二極管)。在另一實施例中，接收器130是諸如四條光纖之類的波導。

另外，盡管本公開涉及具有相應波長的輸出信號121、122、123和124，但是在一些實施例中這些輸出信號可以包括某范圍的相應波長。然而，在一個實施例中，輸出信號121、122、123和124的波長范圍可以是非重疊的，即唯一的。

圖2示出了根據這里描述的一個實施例的用于將光信號復用為多波長光信號的光學系統200。通常，系統200使用鋸齒形復用器將具有不同波長的四個光信號210組合(即，復用)為多波長光信號225。四個光信號210可以被看作是隨后被組合在一起以生成光信號225的四個數據通道。當然，盡管圖1和圖2示出了四通道的光學系統，但是在復用或者解復用任意數目的通道時都可以使用這里的實施例。

如圖所示，光學系統200包括光源205、濾光器115、光學反射鏡120、透鏡230、以及光纜235。光源205可以是分別輸出信號210的經調制的激光器、準直器、光纜等。如上所述，光信號210中的每個信號包括不同于其他光信號210的波長(或者波長范圍)。另外，通過使用濾光器115和光學反射鏡120對上述解復用處理進行反轉，光學系統200可以將四個濾光器復用到多波長信號225中。

從底部開始，從光源205D輸出的光信號210D傳播通過濾光器115D。即，濾光器115D的材料具有允許信號210D的波長通過同時反射帶外波長的通帶。因此，如果光信號210D包括具有該通帶外部的波長的光信號，則該信號被反射，而只有具有該通帶內的波長的光能繼續通過濾光器115D并照到反射鏡120上。

從光源205C輸出的光信號210C被濾光器115C過濾，從而只有其通帶內的光被允許通過并且去往反射鏡120。另外，從濾光器115D輸出的光信號(由反射鏡120反射)照在濾光器115C的右側，但是由于該光信號在濾光器115C的通帶外部，所以其被反射并被與光信號210C組合在一起。因此，從濾光器115C傳播到反射鏡120的光信號包括光信號210D和光信號210C二者。

從光源205B輸出的光信號210B照到濾光器115B，假設信號210B在其通帶內，則光信號210B通過濾光器115B然后在其右側被輸出。另外，由于光信號210C和210D在濾光器115B的通帶外部，所以這些光信號與光信號210B一起被反射回反射鏡120。因此，在濾光器115B的右側，光信號210B、210C和210D已經被組合在一起，即被復用。

最后，從光源205A輸出的光信號210A照到濾光器115A，假設信號210A在其通帶內，則該光信號210A通過濾光器115A并且在其右側被輸出，其中信號210A被與光信號210B、210C和210D組合在一起。即，信號210B、210C和210D的相應波長在濾光器205A的通帶外部，因此在照到濾光器205A的右側時被反射并被與光信號210A組合在一起，以生成多波長光信號225。信號225隨后通過透鏡230，并且被引入到光纜235或者任何其他類型的波導或檢測器中。

為實現圖1和圖2中所示的解復用功能和復用功能，濾光器115和反射鏡120被根據它們相對于彼此的限定方位進行布置。例如，在光學系統100中，濾光器115和反射鏡120之間的布置使得從濾光器115的左側反射的光信號被反射鏡120反射到下一相鄰濾光器115上，從而使得光信號110可以被分離為不同的波長。類似地，在光學系統200中，濾光器115和反射鏡120被布置為使得通過較低濾光器115的光信號被反射鏡120反射到下一相鄰濾光器115的右側，并被組合在一起來形成多波長光信號225。

在一個實施例中，濾光器115和反射鏡120被以無源方式而非有源方式對準。如下面將描述的，襯底包括使得濾光器115和反射鏡120在被布設到襯底上時被無源地對準的對準特征。相反，有源對準技術可能需要技術人員反復地調整和測試光學系統以確定濾光器115和反射鏡120何時被對準。有源地對準部件需要技術人員花費數小時來執行，這會給包括光學系統100或200的任意部件增加大量成本。

圖3A是根據這里描述的一個實施例的具有用于光學部件的腔體的基座300。如圖所示，基座300包括腔體305和多個腔體310。在一個實施例中，腔體305被以基本匹配反射鏡的尺寸的寬度(W)和長度(L)尺寸蝕刻到基座300中。如這里所使用的，“基本匹配”的尺寸不一定意味著尺寸完全一樣，而是指尺寸足夠接近從而使得腔體被與部件(例如，反射鏡)相配合時反射鏡的位置被固定。即，在該實施例中，反射鏡緊緊地裝入腔體300，從而使得反射鏡采用腔體300的方位。另外，盡管基座300包括用于反射鏡的單一腔體305，但是如果反射鏡被分割成多個部分，則基座300可以包括用于這些部分中的每個部分的相應腔體。

類似地，多個腔體310可以具有與濾光器的尺寸基本匹配的尺寸，從而使得濾光器采用腔體310的方位。因此，腔體305和310可以被以如下方式形成在基座300上：當反射鏡120和濾光器115被布設在圖3B中所示的腔體中時，濾光器115和反射鏡120被對準，以執行在圖1和圖2中討論的解復用功能或復用功能。即，反射鏡120和濾光器115被無源地對準。在一個實施例中，在有源調諧過程中，技術人員不調整反射鏡120和濾光器115的位置和/或方位。

基座300的材料可以是半導體(例如，硅)、陶瓷、或者嵌入在塑料或者多聚物中的電路。在一個實施例中，基座300可以是具有用于將信號路由通過基座300的多個金屬化層的內插器(interposer)或者光具座。然而，基座300的材料不限于以上提到的材料。反而，基座300可以包括存在用于其的以下制造技術的任何材料，這樣的制造技術允許以足夠的精度形成腔體310和305來基本匹配濾光器115和反射鏡120的尺寸從而促成無源對準。

在一個實施例中，腔體305的長度和寬度可以在100nm到數十微米的范圍內。更具體地，長度和寬度可以在1微米到5微米的范圍內。在一個實施例中，每個腔體310的長度和寬度可以在100nm到數十微米的范圍內。更具體地，腔體310的長度和寬度可以在0.5微米到5微米之間。在一個實施例中，基座300的長度和寬度可以在1微米到數百微米的范圍內。更具體地，基座300的長度和寬度可以在1微米到數十微米的范圍內。

圖3C示出了具有不與濾光器115或反射鏡120的尺寸基本匹配的尺寸的腔體305和310。在該實施例中，腔體305和310包括被制造為無源地對準反射鏡120或濾光器115的至少兩條鄰邊。例如，濾光器115被布設在腔體310中中的一個腔體中，并且濾光器115的一個拐角被與腔體310的兩條鄰邊形成的拐角相配合。通過將濾光器115的拐角與兩條鄰邊形成的腔體310的拐角對準，濾光器115被無源對準。換句話說，腔體305和310分別包括被選擇以形成至少一個對準拐角320的至少兩條鄰邊。通過讓這兩個鄰側邊接觸濾光器115或反射鏡120上的兩條邊，光學部件被無源地對準。這樣一來，腔體305和310可以具有不與濾光器115和反射鏡120的尺寸基本匹配的尺寸，并且仍可以實現無源對準。例如，腔體305和310的寬度和長度可以超過布設在腔體中的濾光器115和反射鏡120的表面的寬度和長度，并且可以通過將濾光器115和反射鏡120的拐角對準到由腔體的兩條鄰邊限定的拐角來實現無源對準，該由腔體的兩條鄰邊限定的拐角被設計為對準光學部件以執行復用或解復用功能。

盡管圖中未示出，但是被選擇來形成對準拐角320的兩條鄰邊可以包括諸如從這些邊延伸以接觸并對準濾光器115和反射鏡120的凸起之類的對準特征。在一個實施例中，濾光器115或反射鏡120的拐角與對準拐角320相配合，但這并非要求。例如，濾光器115或反射鏡120的拐角可以被斜切，從而不會直接接觸由腔體305和310的兩條鄰邊形成的對準拐角320。

另外，圖3A-3C中示出的腔體305、310可以是具有任意數目的邊的任意形狀，只要至少兩條邊被選擇來與濾光器115或反射鏡120的相應表面對齊從而對準光學部件以執行解復用或復用功能即可。另外，腔體305、310不需要形成兩條邊相交的拐角，而可以形成允許腔體的邊與濾光器115或反射鏡120的相應表面對齊從而實現期望對準的任何特征。

圖4A-4C示出了根據這里描述的一個實施例的組裝光接收器的處理。在一個實施例中，光接收器是ROSA中的部件。如圖4A中所示，接收器包括襯底400、電子集成電路(IC)405、光電二極管的檢測器陣列410、以及腔體415。在前面的制造步驟中，IC 405和檢測器陣列410被安裝在襯底400上。在一個實施例中，襯底400包括提供檢測器陣列410和IC 405之間的信號通信的一個或多個金屬化層。另外，腔體415被蝕刻到襯底400中。在一個實施例中，腔體415具有與圖3A-3B中示出的基座300的尺寸基本匹配的長度和寬度尺寸。這樣一來，當基座300被布設在圖4B中所示的腔體415中時，基座300和布設在其上的部件被無源地與安裝在襯底400上的一個或多個部件(即檢測器陣列410)對準。替代地，腔體415可以具有不與基座300的尺寸基本匹配的尺寸，但是可以包括被選擇來形成對準拐角的兩條鄰邊?；?00可以被布設在腔體415中，并且被布置為使得基座300的相應邊接觸這兩條鄰邊，從而無源地將基座300的光學部件對準到布設在襯底400上的一個或多個光學部件。

在一個實施例中，由基座300上的濾光器和反射鏡執行的解復用功能被用來將包括四個不同波長的接收到的光信號分離為分別包括四個波長之一的四個光信號。如圖4C中所示，透鏡陣列420被布設在基座300上的濾光器和檢測器陣列410之間。陣列420可以包括分別與濾光器中相應的一個濾光器對準的四個單獨透鏡。這些透鏡將通過濾光器的四個光信號聚焦到檢測器陣列410中的光電二極管上。光電二極管將光信號變換為相應的電信號，隨后可以使用例如，位于IC 405上或者襯底400上接近檢測器陣列410的任意位置的跨阻放大器來放大這些電信號。放大后的電信號隨后可以被IC 405處理，并被發送到光接收器的其他部分。最終，電信號被變換為數據信號，這些數據信號被發送到外部計算設備(例如，服務器)。

圖5是根據這里描述的一個實施例的具有集成槽505的基座500。基座500與圖3中的基座300的不同在于，基座500包括用于將光源安裝到基座500上的集成槽505。槽505可以被布置為使得被布設在槽505中的光源被與布設在最下面的腔體310中的濾光器對準。因此，當光源發送多波長光信號時，圖1中所示的解復用功能被執行。另外，集成槽505允許光源被無源地對準。即，將光源布設在槽中可以將光源自動對準到最下面的濾光器。在一個實施例中，技術人員不需要有源地調節光源來將該光源對準到濾光器。當然，如果基座500而不是基座300被用在圖4A中所示的光接收器中，則腔體415的尺寸需要被修改，以適應包括集成槽505的基座500的寬度和長度尺寸。

盡管集成槽505包括V形槽，但是在另一實施例中，槽505可以是U形或者適于夾持并對準光源的任何其他形狀。例如，光源可以是被布設在槽505中的光纜的核心或準直器?？梢允褂铆h氧樹脂將光源固定到槽505中。

在一個實施例中，基座500可以由與基座300相同的材料制成。在一個示例中，基座500可以由半導體制成，其中，基座500的形成槽505的部分具有與限定腔體310和305的部分相同的晶體結構。例如，腔體305和310、以及集成槽505可以由單晶半導體襯底形成。

圖6A-6B示出了根據這里描述的一個實施例的組裝光發送器的處理。在一個實施例中，光發送器是TOSA中的部件。如圖6A中所示，發送器包括襯底600、電子IC 605、光源陣列610、腔體615、透鏡620、連接器625、以及光纜630。IC 605、光源陣列610、以及連接器625可以已經在先前的制造步驟中被安裝在襯底600上。在一個示例中，襯底600包括提供IC 605和光學陣列610之間的信號通信的一個或多個金屬化層。如圖所示，光源陣列610包括四個單獨的光源(例如，激光組件)。這些光源中的每個光源可以發送具有不同波長的光信號。IC 605可以提供使得光源發送它們各自的光信號的控制信號。

如圖6B中所示，圖3中所示的基座300被布設在腔體615內。在一個實施例中，腔體615具有與基座300的尺寸基本匹配的寬度和長度尺寸。這樣一來，當基座300被布設在腔體615中時，基座300和布設在其上的部件被無源地與安裝在襯底400上的一個或多個部件對準。例如，陣列610中的每個光源與基座300上的相應的一個濾光器對準。該對準是通過將腔體615蝕刻為具有與基座300的尺寸基本匹配的尺寸并且將腔體615布置在襯底600的使得陣列610中的光源的輸出與基座300上的濾光器中的相應的一個對準的位置處實現的。

一旦對準，基座300上的反射鏡和濾光器使用圖2中所示的復用功能將四個光信號組合為多波長光信號。該多波長光信號被發送到透鏡620，透鏡620隨后將該信號聚焦到連接器625和光纖630中。光纖隨后可以將該信號發送到位于圖6A和6B中所示的光發送器外部的光接收器。

圖7是根據這里描述的一個實施例的用于無源對準復用器/解復用器中的光學部件的方法700。在塊705，腔體被蝕刻到基座中，以用于放置光學反射鏡。在塊710，多個腔體被蝕刻到基座中，以用于放置濾光器。如上所述，這些腔體可以具有與反射鏡或濾光器的尺寸基本匹配的尺寸。這樣一來，當反射鏡和濾光器被布設到腔體中時，這些部件采用腔體的方位。另外，在塊705和710期間形成的腔體被蝕刻在相對于彼此的預定位置處，以使得布設在這些腔體中的濾光器和反射鏡執行復用/解復用功能。因此，在塊705和710期間用于形成腔體的技術或制造技術可以是以足夠的精度來形成具有與反射鏡和濾光器的尺寸基本匹配的尺寸的腔體并且將這些腔體相對于彼此布置從而使得當反射鏡和濾光器被布設在這些腔體中時能夠實現復用/解復用功能的任何技術。足以實現這些目的的制造技術的非限制性示例是半導體制造技術，該技術在硅的情況下一般可以提供具有22nm分辨率的特征。

在一個實施例中，在塊705形成的腔體被與在塊710期間蝕刻的多個腔體蝕刻在基座的同一表面中。另外，盡管被示出為兩個單獨塊，但是蝕刻用于反射鏡和濾光器的腔體可以在同一蝕刻步驟期間進行，因此這些腔體可以具有相同的深度。在另一示例中，在塊705形成的腔體與在塊710形成的腔體在不同時間被蝕刻。因此，這些腔體可以具有不同的深度。另外，在一個實施例中，在塊710期間形成的腔體的數目可以與濾光器的數目相同，即一對一的關系。替代地，濾光器可以被組合到單個結構中，而不是例如，四個單獨的結構。例如，四個濾光器可以由相同的材料形成，該材料隨后被處理以形成四個濾光器，或者可以使用膠粘劑將四個濾光器附接在一起，以形成單個結構。在任一種情況中，在塊710只形成具有與包括不同濾光器的單一結構基本匹配的尺寸的一個腔體，而不是形成用于每個濾光器的多個腔體。

在塊715，反射鏡和濾光器被布設在基座中的相應腔體中。由于腔體的尺寸與反射鏡和濾光器的尺寸基本匹配，所以一旦被布設，反射鏡和濾光器即被無源地對準，并且能夠執行如上所述的復用和解復用。

在塊720，基座被布設在光接收器或發送器中的襯底的腔體中。在一個實施例中，襯底中的腔體的尺寸與基座的尺寸基本匹配。因此，將基座布設在腔體中無源地將基座對準到襯底上的一個或多個部件。例如，如果襯底是光接收器的一部分，則基座被與襯底上的光源對準，從而使得光源所發送的多波長光信號入射到基座上的濾光器之一上。濾光器和反射鏡隨后對多波長信號執行解復用功能。替代地，如果襯底是光發送器的一部分，則基座可以被與分別將光信號發送到相應的濾光器上的多個光源對準。濾光器和反射鏡隨后執行復用功能來組合光信號。

在一個實施例中，基座或襯底可以包括諸如十字或圓形目標之類的一個或多個視覺對準特征(例如，框標)，這些視覺對準特征可以提高技術人員或者自動化機器將濾光器和反射鏡布設到基座上或者將基座放置到襯底上的能力。例如，對準特征可以被蝕刻到基座或襯底中，或者被形成在基座或襯底上。

圖8是根據這里描述的一個實施例的包括多個光學組件805的晶片800。如圖所示，組件805被在整個晶片800上重復。在一個實施例中，每個光學組件805是如圖3A中所示的基座300的基座。例如，半導體晶片800可以被蝕刻，以在每個組件805中形成腔體310和305。一旦腔體被形成，技術人員或自動化機器可以將濾光器和反射鏡放置在每個組件805的腔體中。晶片800隨后可以沿著豎直線815和水平線810被切分成小方塊，以分隔光學組件805。組件805隨后可以被安裝在圖4B和6B中所示的光接收器或發送器的襯底上。這樣，基座300可以在晶片級及而非單獨被制造。

在另一實施例中，每個光學組件805包括用于如圖4B和6B中所示的光接收器或發送器的襯底。晶片800可以被處理為包括例如在圖4A中所示的IC 405和檢測器陣列410之間路由電子信號的金屬化層。另外，組件805中的襯底可以被蝕刻為包括用于夾持基座300的腔體415。技術人員或自動化機器隨后可以將相應的基座300布設在每個光學組件805中的腔體415中。如上面討論的，基座300可以被形成在不同晶片上，并且隨后被切分成單獨組件，這些組件然后被布設在晶片800的組件805上。一旦發送器或接收器被組裝，晶片800就被沿著線810和815進行切分成，以形成單獨的發送器或接收器。如此一來，圖4B和6B中所示的光接收器或發送器可以在晶片級而非單獨被制造。

圖中的流程圖和框圖示出了根據各種實施例的系統、方法、以及計算機程序產品的可能實現方式的架構、功能、和操作。在這方面，流程圖或框圖中的每個塊可以表示代碼的模塊、段或部分，其可以包括用于實現(一個或多個)指定的邏輯功能的一個或多個可執行指令。還應該注意的是，在一些替代實施方式中，塊中所示的功能可以不按照圖中所示的順序進行。例如，取決于所涉及的功能，順序示出的兩個塊實際上可以基本同時執行，或者這些塊有時可以被按相反的順序執行。還將注意的是，框圖和/或流程圖圖示的每個塊、以及框圖和/或流程圖圖示的塊的組合可以通過執行指定功能或動作的基于專用硬件的系統、或者專用硬件和計算機指令的組合來實現。

因此，本公開的范圍由所附權利要求確定。