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固態(tài)光掃描器的制作方法

文檔序號(hào):12115895閱讀:來源:國(guó)知局

技術(shù)特征:

1.一種固態(tài)光掃描器,其特征在于:它包括光偏轉(zhuǎn)材料,制冷器和加熱器,光偏轉(zhuǎn)材料的一個(gè)輸入端與外部光源輸入的光束相連,光偏轉(zhuǎn)材料的第二個(gè)輸入端與制冷器的輸出端相連,光偏轉(zhuǎn)材料的第三個(gè)輸入端與加熱器的輸出端相連,光偏轉(zhuǎn)材料的輸出端與外部掃描目標(biāo)相連;制冷器的輸入端與外部制冷器電源和控制電路相連;加熱器的輸入端與外部加熱器電源和控制電路相連。

2.如權(quán)利要求1所述的固態(tài)光掃描器,其特征在于:所述的光偏轉(zhuǎn)材料為具有高熱光系數(shù),低導(dǎo)熱系數(shù),高耐熱溫度的勻質(zhì)材料,為但不限于各種高分子聚合物,如聚甲基丙稀酸甲酯,聚碳酸酯,SU8等;熱光系數(shù)為-1.0x10-4K-1至-1.0x10-3K-1

3.如權(quán)利要求1所述的固態(tài)光掃描器,其特征在于:所述的光偏轉(zhuǎn)材料的外形為直平行六面體;直平行六面體的一組相對(duì)的矩形平面的表面粗糙度為0.01微米至0.8微米。

4.如權(quán)利要求1所述的固態(tài)光掃描器,其特征在于:所述的光偏轉(zhuǎn)材料的外形為直平行六面體;直平行六面體的一組相對(duì)的矩形平面的表面鍍有高透過率鍍膜,透過率為80%至100%。

5.如權(quán)利要求1所述的固態(tài)光掃描器,其特征在于:所述的光偏轉(zhuǎn)材料的外形為直平行六面體;直平行六面體的另一組相對(duì)的矩形平面的表面具有低粗糙度,分別與制冷器和加熱器的輸出平面緊密相連,其間的微小空隙采用導(dǎo)熱硅脂填充以提高導(dǎo)熱系數(shù)。

6.如權(quán)利要求1所述的固態(tài)光掃描器,其特征在于:所述的制冷器為基于帕爾帖效應(yīng)的半導(dǎo)體制冷器,制冷器的輸出平面與光偏轉(zhuǎn)材料的一組相對(duì)的矩形平面的表面緊密相連,其間的微小空隙采用導(dǎo)熱硅脂填充以提高導(dǎo)熱系數(shù)。

7.如權(quán)利要求1所述的固態(tài)光掃描器,其特征在于:所述的制冷器工作在恒定功率模式,用于在光偏轉(zhuǎn)材料的一側(cè)建立穩(wěn)定的低溫。

8.如權(quán)利要求1所述的固態(tài)光掃描器,其特征在于:所述的加熱器為電阻式加熱器,其的輸出平面與光偏轉(zhuǎn)材料的一組相對(duì)的矩形平面的表面緊密相連,其間的微小空隙采用導(dǎo)熱硅脂填充以提高導(dǎo)熱系數(shù)。

9.如權(quán)利要求1所述的固態(tài)光掃描器,其特征在于:所述的加熱器工作在變化功率模式,用于在光偏轉(zhuǎn)材料的另一側(cè)建立受外部控制電路控制的變化的高溫,從而在光偏轉(zhuǎn)材料內(nèi)實(shí)現(xiàn)變化的梯度溫度場(chǎng)。

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