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基于折反式紅外成像光學系統的裝調方法與流程

文檔序號:11132590閱讀:來源:國知局

技術特征:

1.基于折反式紅外成像光學系統的裝調方法,其特征是,該方法由以下步驟實現:

步驟一、采用激光干涉儀(1)了出射平行光束,將光斑均調整至第一離軸反射鏡(2)、第二離軸反射鏡(3)、第一平面反射鏡(4)、第二平面反射鏡(6)反射表面的中心;并根據激光干涉儀反饋的波前信息,將第一離軸反射鏡(2)、第二離軸反射鏡(3)、第一平面反射鏡(4)、第二平面反射鏡(6)的波前誤差RMS調整至60nm-180nm;

步驟二、采用激光跟蹤儀(9)對步驟一所述的第一離軸反射鏡(2)、第二離軸反射鏡(3)、第一平面反射鏡(4)、第二平面反射鏡(6)進行位置定位,并根據定位基準安裝第三透射鏡(8),采用第三透射鏡(8)前表面返回光束在激光干涉儀(1)上形成干涉條紋;通過調整第三透射鏡(8)的徑向平移將干涉條紋的中心移至激光干涉儀的靶面中心位置,消除第三透射鏡(8)的徑向位置誤差;將紅外探測器置于所述第三透射鏡(8)的焦點處,以紅外探測器的成像質量為標準,通過調整第三透射鏡(8)與光軸的夾角消除角度傾斜誤差;

步驟三、采用激光跟蹤儀(9)和紅外探測器安裝調整第二透射鏡(7),采用第二透射鏡(7)前表面返回光束在激光干涉儀(1)上形成的干涉條紋,通過調整第二透射鏡(7)的徑向平移將干涉條紋的中心移至激光干涉儀(1)的靶面中心位置,消除第二透射鏡(7)的徑向位置誤差;將所述紅外探測器(10)放置在第二透射鏡(7)和第三透射鏡(8)的聯合焦點處,以成像質量為標準通過調整第二透射鏡(7)與光軸的夾角消除角度傾斜誤差;

步驟四、采用激光跟蹤儀(9)和紅外探測器(10)安裝調整第一透射鏡(5),采用第一透射鏡(5)前表面返回光束在激光干涉儀(1)上形成的干涉條紋,通過調整第一透射鏡(5)的徑向平移將干涉條紋的中心移至激光干涉儀(1)的靶面中心位置,消除第一透鏡(5)的徑向誤差,將紅外探測器(10)放置在系統像面處,并根據紅外探測器(10)成像質量消除第一透射鏡(5)的角度傾斜誤差;實現折反式紅外成像系統的裝調。

2.根據權利要求1所述的基于折反式紅外成像光學系統的裝調方法,其特征在于,步驟一中,設定所述激光干涉儀(1)鏡頭焦比為1.5。

3.根據權利要求1或2所述的基于折反式紅外成像光學系統的裝調方法,其特征在于,所述激光干涉儀(1)的測量精度高于0.01λ,λ為波長,并且能夠安裝適合被檢測系統焦比的測量鏡頭。

4.根據權利要求3所述的基于折反式紅外成像光學系統的裝調方法,其特征在于,所述激光跟蹤儀(9)的測量誤差為0.015mm。

5.根據權利要求4所述的基于折反式紅外成像光學系統的裝調方法,其特征在于,所述第一離軸反射鏡(2)、第二離軸反射鏡(3)、第一平面反射鏡(4)和第二平面反射鏡(6)的面型均為非球面、球面或者平面。

6.根據權利要求5所述的基于折反式紅外成像光學系統的裝調方法,其特征在于,所述第一離軸反射鏡(2)、第二離軸反射鏡(3)、第一平面反射鏡(4)和第二平面反射鏡(6)進行光學鍍膜,在可見光波段具有10%的反射率。

7.根據權利要求6所述的基于折反式紅外成像光學系統的裝調方法,其特征在于,所述第一離軸反射鏡(2)、第二離軸反射鏡(3)、第一平面反射鏡(4)、第二平面反射鏡(6)、第一透射鏡(5)、第二透射鏡(7)和第三透射鏡(8)能夠實現兩維傾斜和三維平移調整。

8.根據權利要求7所述的基于折反式紅外成像光學系統的裝調方法,其特征在于,所述第一透射鏡(5)、第二透射鏡(7)和第三透射鏡(8)的安裝精度為0.1mm-0.015mm。

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