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一種透射式激光光束整形系統的制作方法

文檔序號:12115807閱讀:來源:國知局

技術特征:

1.一種透射式激光光束整形系統,其特征在于,包括透射式相位調制鏡、空間濾波鏡和透射式準直鏡;

所述透射式相位調制鏡的激光入射面為高度不同的、凹凸間隔的同心圓環面,相鄰的凸面與凹面分別對應入射激光束相鄰的峰;所述透射式相位調制鏡的出射激光聚焦形成聚焦光斑,所述聚焦光斑包括主峰和旁瓣;

所述空間濾波鏡設于透射式相位調制鏡出射激光聚焦光斑處,空間濾波鏡中心部位有光孔;所述主峰從光孔穿過,旁瓣則被空間濾波鏡反射吸收;

所述透射式準直鏡的前焦面位于空間濾波鏡中心處;透射式準直鏡用于對空間濾波鏡的出射激光進行準直。

2.如權利要求1所述的透射式激光光束整形系統,其特征在于,所述透射式相位調制鏡的激光入射面的凸面與凹面的高度差Δ滿足:

其中,n為透射式相位調制鏡材料對入射激光的折射率,λ是入射激光的波長,k為正整數。

3.如權利要求1或2所述的透射式激光光束整形系統,其特征在于,所述透射式相位調制鏡的出射面為凸面,將出射激光聚焦形成聚焦光斑。

4.如權利要求1或2所述的透射式激光光束整形系統,其特征在于,所述透射式相位調制鏡的出射面為平面;所述透射式激光光束整形系統還包括單透鏡,所述單透鏡設于透射式相位調制鏡的出射面與空間濾波鏡之間,空間濾波鏡設于單透鏡的焦點處。

5.如權利要求1或2所述的透射式激光光束整形系統,其特征在于,所述空間濾波鏡的光孔大小可調;通過調整所述光孔的大小來調整輸出激光的能量大小。

6.如權利要求1或2所述的透射式激光光束整形系統,其特征在于,所述空間濾波鏡的光孔周圍設有一個不透明的圓錐面,所述圓錐面鍍有增反膜;

所述透射式相位調制鏡的入射光的主峰從所述光孔穿過,旁瓣則被不透明圓錐面反射,被反射的光線照射到另一角度的不透明圓錐面上被吸收。

7.如權利要求1或2所述的透射式激光光束整形系統,其特征在于,所述空間濾波鏡內部設有水冷通道,通過水冷降低吸收光線的圓錐面的溫度。

8.如權利要求1或2所述的透射式激光光束整形系統,其特征在于,所述透射式相位調制鏡與透射式準直鏡的各表面均鍍有增透膜。

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