本發(fā)明涉及一種鍍膜玻璃,具體涉及一種高紅外反射全固態(tài)電致變色玻璃及其制備方法。
背景技術(shù):
鍍膜玻璃具有節(jié)能減排及裝飾幕墻的雙重功效,推出市場后,深受人們喜愛,Low-E玻璃也叫做低輻射鍍膜玻璃,傳統(tǒng)的LOW-E玻璃,裝上墻后可見光及紅外的透過率及反射率均固定,無法再改變,被稱之為被動節(jié)能;而目前電致變色玻璃,雖然能主動節(jié)能,但其對紅外的反射不論是著色成還是褪色態(tài)都不明顯。
技術(shù)實現(xiàn)要素:
本發(fā)明的一種高紅外反射全固態(tài)電致變色玻璃,采用主動節(jié)能與被動節(jié)能相復(fù)合,產(chǎn)品全波段透過率可調(diào),具有高紅外反射效果。
本發(fā)明另一目的是提供一種高紅外反射全固態(tài)電致變色玻璃的制備方法。
本發(fā)明是通過以下技術(shù)方案實現(xiàn)的:
一種高紅外反射全固態(tài)電致變色玻璃,包括第一玻璃基板和第二玻璃基板,所述第一玻璃基板和第二玻璃基板間設(shè)有中空腔,所述第一玻璃基板包括第一基板和依次設(shè)于所述第一基板和中空腔間的第一ITO層、WO3層、LiTaO3層、NiO層、Ag層、AZO層和第二ITO層。
優(yōu)選的,所述中空腔厚度為12mm,內(nèi)充氬氣或空氣。
優(yōu)選的,所述第一ITO層膜厚120~135nm,方阻<15歐。
優(yōu)選的,所述WO3層膜厚500~600nm。
優(yōu)選的,所述LiTaO3層膜厚500~600nm。
優(yōu)選的,所述NiO層膜厚50~100nm。
優(yōu)選的,所述Ag層膜厚8~12nm。
優(yōu)選的,所述AZO層膜厚300~400nm。
優(yōu)選的,所述第一基板和第二玻璃基板均為厚度4~8mm的浮法玻璃。
一種制備高紅外反射全固態(tài)電致變色玻璃的方法,包括以下步驟:
1)、磁控濺射第一ITO層,用交流電源、Ar氣作為保護(hù)氣體,磁控濺射氧化銦錫靶In2O3:SnO2=90:10(wt%),用Ar氣流量800SCCM;
2)、磁控濺射WO3層,用交流電源、Ar氣、O2氣作為保護(hù)氣體,磁控濺射鎢靶,氬氧流量比為400~425SCCM:600~630SCCM;
3)、磁控濺射LiTaO3層,用交流電源、Ar氣、O2氣作為保護(hù)氣體,磁控濺射鉭酸鋰靶,氬氧流量比為400~425SCCM:20~30SCCM;
4)、磁控濺射NiO層,用交流電源、Ar氣、O2氣作為保護(hù)氣體,磁控濺射鎢鎳靶W:Ni=8:92(wt%),氬氧流量比為380~400SCCM:600~625SCCM;
5)、磁控濺射Ag層,直流電源濺射,用Ar氣作為保護(hù)氣體,氣體流量500~550SCCM;
6)、制備AZO層,鋁摻雜的氧化鋅層;
7)、磁控濺射第二ITO層,用交流電源、Ar氣作為保護(hù)氣體,磁控濺射氧化銦錫靶In2O3:SnO2=90:10(wt%),用Ar氣流量800SCCM;
8)、合片,由第一基板、第一ITO層、WO3層、LiTaO3層、NiO層、Ag層、AZO層和第二ITO層組成第一玻璃基板,再由第一玻璃基板和第二玻璃基板隔出出中空腔進(jìn)行合片,制備得高紅外反射全固態(tài)電致變色玻璃。
與現(xiàn)有技術(shù)相比,本發(fā)明具有如下優(yōu)點:
1、本發(fā)明的高紅外反射全固態(tài)電致變色玻璃,氧化銦錫膜層具有透明導(dǎo)電功能,且抗化學(xué)性能穩(wěn)定,可有效對紅外進(jìn)行反射同時,可起到保護(hù)功能膜層的作用,具有LOW-E玻璃高紅外反射的被動節(jié)能效果;
2、本發(fā)明的高紅外反射全固態(tài)電致變色玻璃,具有電致變色的主動節(jié)能效果,對紅外線反射率達(dá)到80%以上,同時設(shè)計中空腔結(jié)構(gòu),有效降低產(chǎn)品的傳熱導(dǎo)系數(shù),同時還可防止Ag層被氧化;
3、本發(fā)明的高紅外反射全固態(tài)電致變色玻璃,可與智能家居互聯(lián),通過控制電路實現(xiàn)智能控制;
4、本發(fā)明的高紅外反射全固態(tài)電致變色玻璃制備方法,功能膜層依次沉積在玻璃基片上,膜層具有耐候性和耐腐蝕性能優(yōu)秀、輻射率低、表面電阻小、均勻性好、結(jié)合力強(qiáng)的優(yōu)點。
【附圖說明】
圖1是本發(fā)明結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實施方式】
如附圖1所示的一種高紅外反射全固態(tài)電致變色玻璃,包括第一玻璃基板1和第二玻璃基板2,所述第一玻璃基板1和第二玻璃基板2間設(shè)有中空腔3,所述第一玻璃基板1包括第一基板11和依次設(shè)于所述第一基板11和中空腔3間的第一ITO層12、WO3層13、LiTaO3層14、NiO層15、Ag層16、AZO層17和第二ITO層18。本發(fā)明的玻璃單元由兩塊不同的玻璃基板及電解質(zhì)層復(fù)合而成,每邊的玻璃基板均由多個膜層構(gòu)成,其中第一玻璃基板上復(fù)合有第一ITO層、WO3層、LiTaO3層、NiO層、Ag層、AZO層和第二ITO層等功能膜層,第一玻璃基板和第二玻璃基板間設(shè)置中空腔,實現(xiàn)被動節(jié)能的效果同時,可有效降低產(chǎn)品的傳熱導(dǎo)系數(shù),同時還可防止Ag層被氧化。
所述中空腔3厚度為12mm,內(nèi)充氬氣或空氣。在合片加工時,中空腔厚度優(yōu)選為12mm,且內(nèi)充氬氣或空氣,封閉的中空腔為負(fù)壓狀態(tài),可進(jìn)一步降低產(chǎn)品的傳熱導(dǎo)系數(shù),防止Ag層被氧化。
所述第一ITO層膜厚120~135nm,方阻<15歐。交流電源磁控濺射氧化銦錫靶In2O3:SnO2=90:10(wt%),制備第一ITO層膜,用Ar氣作為濺射氣體,氣體流量800SCCM,膜厚120~135nm,優(yōu)選為125nm,1m=109nm。
所述WO3層膜厚500~600nm。交流電源磁控濺射鎢靶,用Ar氣、O2作為濺射氣體,氣體流量控制在400~425SCCM:600~630SCCM,膜厚500-600nm,優(yōu)選為550nm。
所述LiTaO3層14膜厚500~600nm。采用交流電源磁控濺射鉭酸鋰靶,用Ar氣、O2作為濺射氣體,氣體流量控制在400~425SCCM:20~30SCCM,膜厚500-600nm,優(yōu)選為550nm。
所述NiO層膜厚50~100nm。采用交流電源磁控濺射鎢鎳靶W:Ni=8:92,用Ar氣、O2作為濺射氣體,氣體流量控制在380~400SCCM:600~625SCCM,膜厚50-100nm,優(yōu)選為60nm。
所述Ag層膜厚8~12nm。直流電源濺射,用Ar作為濺射氣體氣體流量500~550SCCM,膜厚8~12nm,優(yōu)選為12nm。
所述AZO層膜厚300~400nm。采用鋁摻雜的氧化鋅層,作為保護(hù)層,可進(jìn)一步降低輻射率,優(yōu)選為300nm。
所述第一基板11和第二基板12均為厚度4~8mm的浮法玻璃。優(yōu)選的第一基板和第二基板均選擇6mm的浮法玻璃。
一種制備高紅外反射全固態(tài)電致變色玻璃的方法,包括以下步驟:
1、磁控濺射第一ITO層12,用交流電源、Ar氣作為保護(hù)氣體,磁控濺射氧化銦錫靶In2O3:SnO2=90:10(wt%),用Ar氣流量800SCCM;
2、磁控濺射WO3層13,用交流電源、Ar氣、O2氣作為保護(hù)氣體,磁控濺射鎢靶,氬氧流量比為400~425SCCM:600~630SCCM;
3、磁控濺射LiTaO3層14,用交流電源、Ar氣、O2氣作為保護(hù)氣體,磁控濺射鉭酸鋰靶,氬氧流量比為400~425SCCM:20~30SCCM;
4、磁控濺射NiO層15,用交流電源、Ar氣、O2氣作為保護(hù)氣體,磁控濺射鎢鎳靶W:Ni=8:92(wt%),氬氧流量比為380~400SCCM:600~625SCCM;
5、磁控濺射Ag層16,直流電源濺射,用Ar氣作為保護(hù)氣體,氣體流量500~550SCCM;
6、制備AZO層17,鋁摻雜的氧化鋅層;
7、磁控濺射第二ITO層18,用交流電源、Ar氣作為保護(hù)氣體,磁控濺射氧化銦錫靶In2O3:SnO2=90:10(wt%),用Ar氣流量800SCCM;
8、合片,由第一基板11、第一ITO層12、WO3層13、LiTaO3層14、NiO層15、Ag層16、AZO層17和第二ITO層18組成第一玻璃基板1,再由第一玻璃基板1和第二玻璃基板2隔出出中空腔3進(jìn)行合片,制備得高紅外反射全固態(tài)電致變色玻璃。功能膜層依次沉積在第一玻璃基板上,膜層具有耐候性和耐腐蝕性能優(yōu)秀、輻射率低、表面電阻小、均勻性好、結(jié)合力強(qiáng)的優(yōu)點,增加中空腔有效降低產(chǎn)品的傳熱導(dǎo)系數(shù),同時還可防止Ag層被氧化。