技術特征：

技術總結
通過曝光產生酸、且對顯影液的溶解性因酸的作用而發生變化的抗蝕劑組合物，其特征在于，含有對顯影液的溶解性因酸的作用而發生變化的基材成分(A)、和通過曝光產生酸的產酸劑成分(B)，產酸劑成分(B)包含通式(b1)所示的化合物(B1)。通式(b1)中，Rb1表示包含極性基團的碳原子數7～30的帶橋鍵的脂環式基團。Yb1表示可具有取代基(其中，排除選自芳香族烴基和乙烯基的取代基)的碳原子數9以上的直鏈狀烴基。Vb1表示氟代亞烷基。m為1以上的整數，Mm+表示m價的有機陽離子。[化1]

技術研發人員：長峰高志;遠藤浩太朗;生川智啟
受保護的技術使用者：東京應化工業株式會社
技術研發日：2016.12.20
技術公布日：2017.07.25