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雙面膜曝光結構的制作方法

文檔序號:11856432閱讀:1519來源:國知局

本實用新型涉及將薄膜覆于ITO Film和金屬軟膜表面,通過曝光、顯影和蝕刻制作軟膜電路,廣泛應用觸摸屏Senser、精密FPC和軟性電池等柔性電子產品應用技術領域,尤其是卷對卷制作雙面柔性電子線路上的曝光結構。



背景技術:

近年來,隨著材料等基礎產業的技術進步,使電路的設計和生產技術獲得了較大發展,各種新的設計理念得到了廣泛的應用和推廣,電子產品的市場趨勢皆走向追求輕薄化,使用電路的基材由傳統的玻璃、硅晶圓轉向薄化玻璃、金屬箔與塑膠基板等軟性材料取代,亦即現在泛稱的軟性電子(或可撓式電子)。工藝設備由于應軟性材料的不同,需要導入卷對卷 ( RTR ) 的傳輸設備,制作電子線路具有配線密度高、重量輕、厚度薄的特點。在雙面電路板在生產時,需要采用覆膜機將干膜貼合在導電基材表面,然后經紫外光對MASK照射曝光后,見光的干膜分解,在堿性顯液中溶解,導電基材表面留下與MASK一樣的圖案,然后用蝕刻液噴淋導電基材,沒有干膜保護的導電層被蝕刻,再除去基材上的殘留干膜,使導電電路裸露出來,這是制作電路過程。而現有的是單面導電基板進行單面覆膜機,采用覆膜、曝光、顯影、蝕刻和除膜,完成A面導電電路工作,同樣方法,用另一卷膜制作B面導電電路,用A、B面導電電路組合在一起形成雙面電路,工序繁瑣,工作效率低,不良率高。



技術實現要素:

本實用新型的目的在于克服現有技術的缺陷,提供一種雙面膜曝光結構,實現雙面覆膜曝光,無需翻轉重復單面工作,優化工藝,提升工作效率及工作質量。

為達到上述目的,本實用新型采用如下技術方案:

雙面膜曝光結構,該結構具有:

一曝光工位,該曝光工位可實現上下兩面曝光;

一上端球面鏡和一下端球面鏡分別設置在曝光工位的上下端,該上端球面鏡將相應地紫外光投射到曝光工位的上表面,而下端球面鏡將相應地紫外光投射到曝光工位的下表面。

上述方案進一步是:所述上端球面鏡和下端球面鏡投射同一光源發出的紫外光,上端球面鏡和下端球面鏡采用先后投射的工作模式。

上述方案進一步是:在光源和上端球面鏡、下端球面鏡之間有光學模組導光,光學模組至少包括:反光罩、第一冷鏡、第二冷鏡、復眼,反光罩收集光源發出的紫外光形成一束光,第一冷鏡導引反光罩發出的集束紫外光,通過復眼和第二冷鏡投射到上端球面鏡,或者通過復眼投射到下端球面鏡;第二冷鏡設置在復眼與上端球面鏡及下端球面鏡之間,第二冷鏡可以水平移動。

與現有技術對比,本實用新型提供了一種雙面膜曝光結構,實現雙面膜曝光,無需翻轉重復單面曝光工作,優化工藝,提升工作效率及工作質量。結構簡單,投資成本低,使用及維護簡便,符合產業利用,極大提升機器設備的運行效,以及降低運行成本。

附圖說明:

附圖1為本實用新型較佳實施例結構示意圖。

具體實施方式:

以下將結合附圖對本實用新型的構思、具體結構及產生的技術效果作進一步說明,以充分地了解本實用新型的目的、特征和效果。

參閱圖1所示,系本實用新型的較佳實施例示意圖,本實用新型有關一種雙面膜曝光結構,該結構具有一曝光工位1,由雙面膜曝光結構100上相應工位構造,該曝光工位1可實現上下面曝光,即相應基材上下面覆好感光膜后,水平進入曝光工位1,即可實現上下面曝光,無需翻轉重復單面工作,優化工藝,提升工作效率及工作質量。一上端球面鏡2和一下端球面鏡3分別設置在曝光工位1的上下端,該上端球面鏡2將相應地紫外光投射到曝光工位1的上面,而下端球面鏡3相應地紫外光投射到曝光工位1的下面,實現雙面膜曝光工作。

圖1所示,本實施例中,所述上端球面鏡2和下端側球面鏡3投射同一光源9發出的紫外光,上端球面鏡2和下端球面鏡3采用先后投射的工作模式。即曝光工位1的上下面分開曝光,充分利用同一光源9,結構簡單,投資成本低。本實施例還進一步地,在光源9和上端球面鏡2、下端球面鏡3之間有光學模組導光,光學模組至少包括反光罩4、第一冷鏡5、復眼7和第二冷鏡6。第二冷鏡6設置在復眼7與上端球面鏡2及下端球面鏡3之間,第二冷鏡6可以水平移動。工作時,反光罩4收集光源9發出的此紫外光形成一束光,紫外光束經過第一冷鏡5時,其中部分紅外光透過冷鏡5,剩下大部分純凈的紫外光改變方向,反射到復眼7前面的快門8上;當快門8打開,而第二冷鏡6移到旁邊,紫外光束經過復眼7發散多束光線,投射在下端球面鏡3上,反射形成平行光照射在曝光工位1下面,對基材下面的感光干膜進行曝光操作。當第二冷鏡6移到中央位置(第二冷鏡6移動時快門8先關閉,等移動到位后快門8再打開),紫外光束經過復眼7發散多束光線,投射在第二冷鏡6上,再反射上端球面鏡2上,形成平行光照射在曝光工位1上面,對基材上面的感光干膜進行曝光操作。同時下端球面鏡3停止工作,達到上端球面鏡2和下端球面鏡3之間切換工作,如此循環。

以上結合實施方式對本實用新型做了詳細說明,只為說明本實用新型的技術構思及特點,其目的在于讓熟悉此項技術的人了解本實用新型的內容并加以實施,并不能以此限定本實用新型的保護范圍,故凡根據本實用新型精神實質所做的等效變化或修飾,都應涵蓋在本實用新型的保護范圍內。

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