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紅外截止濾光片及其制備方法與流程

文檔序號:12457694閱讀:來源:國知局

技術特征:

1.一種紅外截止濾光片,其特征在于,包括由白玻璃(101)和鍍制在所述白玻璃(101)的一個面上的紅外截止膜層(102)所組成的基板(1),鍍制在所述白玻璃(101)的另一個面上的旋涂層(2)和鍍制在所述旋涂層(2)上的減反射膜層(3);

所述旋涂層(2)包括均由有機物構成的底層(201)和吸收層(202)。

2.根據權利要求1所述的紅外截止濾光片,其特征在于,所述紅外截止膜層(102)和所述減反射膜層(3)均是由高折射率材料層和低折射率材料層交替沉積鍍制而成。

3.根據權利要求2所述的紅外截止濾光片,其特征在于,所述高折射率材料層可由TiO2、Ti3O5、Ta2O5、H4中的一種構成或者幾種組成。

4.根據權利要求2或3所述的紅外截止濾光片,其特征在于,所述低折射率材料層可由SiO2、MgF2中的一種構成或者兩種組成。

5.根據權利要求4所述的紅外截止濾光片,其特征在于,所述紅外截止膜層(102)的鍍制層數為43-50層。

6.根據權利要求5所述的紅外截止濾光片,其特征在于,所述紅外截止膜層(102)的鍍制厚度為5μm-7μm。

7.根據權利要求4所述的紅外截止濾光片,其特征在于,所述減反射膜層(3)的鍍制層數為8-10層。

8.根據權利要求7所述的紅外截止濾光片,其特征在于,所述減反射膜層(3)的鍍制厚度為0.4μm-0.7μm。

9.制備如權利要求1-8之一所述的紅外截止濾光片的方法,其特征在于,包括以下步驟:

(a)采用超聲波清洗工藝清洗白玻璃(101);

(b)在白玻璃(101)的一個面上鍍制紅外截止膜層(102);

(c)采用等離子清洗工藝清洗基板(1);

(d)采用超聲波清洗工藝清洗基板(1);

(e)在基板(1)的未鍍制紅外截止膜層(102)的一面上鍍制旋涂層(2);

(f)在旋涂層(2)上蒸鍍減反射膜層(3)。

10.根據權利要求9所述的制備紅外截止濾光片的方法,其特征在于,所述(b)步驟中,采用電子槍蒸發、離子源輔助的真空鍍膜方法沉積鍍制紅外截止膜層(102)。

11.根據權利要求9所述的制備紅外截止濾光片的方法,其特征在于,所述(c)步驟中,等離子清洗工藝的功率為300-450W,作用時間為100-600s。

12.根據權利要求9所述的制備紅外截止濾光片的方法,其特征在于,所述(e)步驟包括以下步驟:

(e1)在基板(1)的未鍍制紅外截止膜層(102)的一面上滴入少許結合劑,高速旋轉,利用離心力將結合劑均勻地涂布在基板的表面上,同時將多余結合劑甩出,從而形成底層(201);

(e2)烘烤涂布好底層(201)的基板(1);

(e3)在底層(201)上滴入紅外吸收膠水,低速旋轉,利用離心力將紅外吸收膠水均勻地涂布底層(201)之上,同時將多余的紅外吸收膠水甩出,從而形成吸收層(202);

(e4)烘烤涂布好吸收層(202)的基板(1);

(e5)采用超聲波清洗工藝清洗烘烤后的基板(1)。

13.根據權利要求12所述的制備紅外截止濾光片的方法,其特征在于,所述(e1)步驟中,旋轉速度為3000-5500rpm。

14.根據權利要求12所述的制備紅外截止濾光片的方法,其特征在于,所述(e2)步驟中,采用無塵烘箱烘烤,烘烤溫度為80-200℃,烘烤時為2-10min。

15.根據權利要求12所述的制備紅外截止濾光片的方法,其特征在于,所述(e3)步驟中,旋轉速度為200-1000rpm,旋轉時間為8-15s。

16.根據權利要求12所述的制備紅外截止濾光片的方法,其特征在于,所述(e4)步驟中,采用無塵烘箱烘烤,烘烤溫度為80-200℃,烘烤時間為60-120min。

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