本發明涉及一種全自動量產型納米壓印裝置。

背景技術：

納米壓印技術是微納米器件制作工藝中的一個重要技術，納米壓印技術最早由stephenychou教授在1995年率先提出，這是一種不同于傳統光刻技術的全新圖形轉移技術。納米壓印技術的定義為：不使用光線或者輻照使光刻感光成型，而是直接在硅襯底或者其他襯底上利用物理學的機理構造納米尺寸圖形。

目前納米壓印制作時，主要采用人工的方式搬運料片和軟膜板，勞動強度大，工作效率低，容易影響后期壓印效果。

技術實現要素：

為了解決上述技術問題，本發明提供了一種全自動量產型納米壓印裝置。

為了達到上述目的，本發明的技術方案如下：

本發明提供一種全自動量產型納米壓印裝置，包括：

底座，底座上設有導軌；

多個納米壓印機構，納米壓印機構設置于底座上且分布于導軌長度方向的兩側；

供料機構，包括料片供料機構和軟膜板供料機構，料片供料機構和軟膜板供料機構設置于底座上且位于導軌長度方向的一側；

物料移載機構，物料移載機構移動設置于導軌上，用于將料片和軟膜板在供料結構和納米壓印機構之間搬運。

本發明相較于現有技術，物料移載機構將料片和軟膜板在供料結構和納米壓印機構之間搬運，結構合理，省卻人力，實現自動搬運料片和軟膜板、以及自動壓印，多個納米壓印機構同時工作，大大提高工作效率。

其中，上述的納米壓印機構包括壓印機箱和壓印機構，壓印機箱設置于底座上，壓印機箱內設有料片定位機構和軟膜板定位機構，壓印機箱的側面上設有料片進出口和軟膜板進出口，壓印機構設置于壓印機箱內用于將軟膜板壓印至料片上。

在上述技術方案的基礎上，還可做如下改進：

作為優選的方案，上述的物料移載機構包括安裝基座、驅動機構、二連接曲柄機構和定位組件，安裝基座移動設置于導軌上，二連接曲柄機構對稱設置于安裝基座上，二連接曲柄機構包括第一連接臂和第二連接臂，第一連接臂長度方向的一端轉動設置于安裝基座上，第二連接臂長度方向的一端轉動設置于第一連接臂上，定位組件包括定位底座、料片取料組件和軟膜板取料組件，定位底座與二第二連接臂的自由端鉸接，料片取料組件、軟膜板取料組件設置于定位底座上，驅動機構與第一連接臂、第二連接臂連接用于驅動二第一連接臂繞其與安裝基座的連接點沿同一圓周方向轉動、以及用于驅動二個第二連接臂繞其與第一連接臂的連接點沿相反的圓周方向轉動。

采用上述優選的方案，二個第一連接臂的轉動使得料片和軟膜板在供料機構和納米壓印機構在導軌長度方向不同側的時候進行切換，二個第二連接臂的轉動完成供料機構取料和納米壓印機構上料工作。

作為優選的方案，上述的定位底座為圓柱結構，料片取料組件、軟膜板取料組件相對設置于圓柱結構的側面上。

采用上述優選的方案，料片取料組件、軟膜板取料組件設置于相對的側面上，通過二個第一連接臂的轉動帶動定位底座轉動，實現料片取料組件、軟膜板取料組件的取料。

作為優選的方案，上述的定位底座為圓柱結構，料片取料組件、軟膜板取料組件設置于圓柱結同一側的側面上或二者均設置于圓柱結相對的二側面上，料片取料組件設置于軟膜板取料組件的上方。其中，上述的安裝基座包括上基座、下基座和連接氣缸，下基座移動設置于導軌上，連接氣缸設置于下基座上且其輸出端與上基座連接。

采用上述優選的方案，料片取料組件、軟膜板取料組件設置于圓柱結同一側的側面上，通過上基座在豎直方向的移動，實現料片取料組件、軟膜板取料組件的取料。

作為優選的方案，上述的料片取料組件包括二取料桿，取料桿為裝夾料桿或吸附料桿。

采用上述優選的方案，取料桿為裝夾料桿，夾取料片；取料桿為吸附料桿，吸取料片，從而實現料片的取料。

作為優選的方案，上述的軟膜板取料組件包括吸盤手指，吸盤手指為電磁吸鐵機構或真空吸附機構。

根據實際情況，可以選擇，上述的吸盤手指包括吸盤底板和電磁線圈，吸盤底板內開設有安裝腔體，電磁線圈設置于安裝腔體內，電磁線圈與變頻電源連接；還可以選擇，上述的吸盤手指包括吸盤底板，吸盤底板的底部開設有吸附氣孔，吸盤底板內開設有連通吸附氣孔的連接通道，連接通道與真空泵連接。

采用上述優選的方案，軟膜板取料組件為電磁吸鐵機構或真空吸附機構，實現軟膜板的取料。

作為優選的方案，還設有料片定中心機構，料片定中心機構設置于料片供料機構的下方。

采用上述優選的方案，增加料片定位中心機構，對料片進行定位檢驗，避免料片產生偏移，保證搬運的穩定性。

附圖說明

圖1為本發明的整體結構示意圖。

圖2為本發明的結構俯視圖。

具體實施方式

下面結合附圖詳細說明本發明的優選實施方式。

為了達到本發明的目的，如圖1至圖2所示，在本發明的其中一種實施方式中提供一種全自動量產型納米壓印裝置，包括：

底座，底座上設有導軌；

三個納米壓印機構1，納米壓印機構設置于底座上且分布于導軌長度方向的兩側；

供料機構，包括料片供料機構3和軟膜板供料機構4，料片供料機構3和軟膜板供料機構4設置于底座上且位于導軌長度方向的一側；

物料移載機構2，物料移載機構2移動設置于導軌上，用于將料片和軟膜板在供料結構和納米壓印機構之間搬運。

本實施方式相較于現有技術，物料移載機構2將料片和軟膜板在供料結構和納米壓印機構之間搬運，結構合理，省卻人力，實現自動搬運料片和軟膜板、以及自動壓印，多個納米壓印機構同時工作，大大提高工作效率。

其中，上述的納米壓印機構1包括壓印機箱和壓印機構，壓印機箱設置于底座上，壓印機箱內設有料片定位機構和軟膜板定位機構，壓印機箱的側面上設有料片進出口和軟膜板進出口，壓印機構設置于壓印機箱內用于將軟膜板壓印至料片上。

為了進一步地優化本發明的實施效果，在本發明的另一種實施方式中，在前述內容的基礎上，上述的物料移載機構2包括安裝基座、驅動機構、二連接曲柄機構和定位組件，安裝基座移動設置于導軌上，二連接曲柄機構對稱設置于安裝基座上，二連接曲柄機構包括第一連接臂和第二連接臂，第一連接臂長度方向的一端轉動設置于安裝基座上，第二連接臂長度方向的一端轉動設置于第一連接臂上，定位組件包括定位底座、料片取料組件和軟膜板取料組件，定位底座與二第二連接臂的自由端鉸接，料片取料組件、軟膜板取料組件設置于定位底座上，驅動機構與第一連接臂、第二連接臂連接用于驅動二第一連接臂繞其與安裝基座的連接點沿同一圓周方向轉動、以及用于驅動二個第二連接臂繞其與第一連接臂的連接點沿相反的圓周方向轉動。

采用上述優選的方案，二個第一連接臂的轉動使得料片和軟膜板在供料機構和納米壓印機構在導軌長度方向不同側的時候進行切換，二個第二連接臂的轉動完成供料機構取料和納米壓印機構上料工作。

為了進一步地優化本發明的實施效果，在本發明的另一種實施方式中，在前述內容的基礎上，上述的定位底座為圓柱結構，料片取料組件、軟膜板取料組件相對設置于圓柱結構的側面上。

采用上述優選的方案，料片取料組件、軟膜板取料組件設置于相對的側面上，通過二個第一連接臂的轉動帶動定位底座轉動，實現料片取料組件、軟膜板取料組件的取料。

為了進一步地優化本發明的實施效果，在本發明的另一種實施方式中，在前述內容的基礎上，上述的定位底座為圓柱結構，料片取料組件、軟膜板取料組件設置于圓柱結同一側的側面上或二者均設置于圓柱結相對的二側面上，料片取料組件設置于軟膜板取料組件的上方。其中，上述的安裝基座包括上基座、下基座和連接氣缸，下基座移動設置于導軌上，連接氣缸設置于下基座上且其輸出端與上基座連接。

采用上述優選的方案，料片取料組件、軟膜板取料組件設置于圓柱結同一側的側面上，通過上基座在豎直方向的移動，實現料片取料組件、軟膜板取料組件的取料。

為了進一步地優化本發明的實施效果，在本發明的另一種實施方式中，在前述內容的基礎上，上述的料片取料組件包括二取料桿，取料桿為裝夾料桿或吸附料桿。

采用上述優選的方案，取料桿為裝夾料桿，夾取料片；取料桿為吸附料桿，吸取料片，從而實現料片的取料。

為了進一步地優化本發明的實施效果，在本發明的另一種實施方式中，在前述內容的基礎上，上述的軟膜板取料組件包括吸盤手指，吸盤手指為電磁吸鐵機構或真空吸附機構。

根據實際情況，可以選擇，上述的吸盤手指包括吸盤底板和電磁線圈，吸盤底板內開設有安裝腔體，電磁線圈設置于安裝腔體內，電磁線圈與變頻電源連接；還可以選擇，上述的吸盤手指包括吸盤底板，吸盤底板的底部開設有吸附氣孔，吸盤底板內開設有連通吸附氣孔的連接通道，連接通道與真空泵連接。

采用上述優選的方案，軟膜板取料組件為電磁吸鐵機構或真空吸附機構，實現軟膜板的取料。

為了進一步地優化本發明的實施效果，在本發明的另一種實施方式中，在前述內容的基礎上，還設有料片定中心機構5，料片定中心機構5設置于料片供料機構的下方。

采用上述優選的方案，增加料片定位中心機構5，對料片進行定位檢驗，避免料片產生偏移，保證搬運的穩定性。

以上所述的僅是本發明的優選實施方式，應當指出，對于本領域的普通技術人員來說，在不脫離本發明創造構思的前提下，還可以做出若干變形和改進，這些都屬于本發明的保護范圍。