技術特征：

技術總結
本發明公開了一種極紫外光的二維單級衍射光柵，包括：透明基底以及位于所述透明基底表面的柵條層；所述柵條層具有多個透光柵條以及多個不透光柵條；所述透光柵條以及所述不透光柵條在第一方向上交替分布，且所述透光柵條以及所述不透光柵條均沿第二方向延伸，所述第一方向垂直于所述第二方向；在所述第一方向上，所述透光柵條相對的兩邊均為鋸齒形；且所述透光柵條在所述第一方向上的寬度處處相同。本發明技術方案通過鋸齒形的透光柵條與不透光柵條實現衍射，透光柵條的寬度不變，并設置隨機分布的透光柵條，使得不透光柵條的寬度滿足預設的隨機分布，可以在實現對預設波段實現衍射的同時消除高次諧波。

技術研發人員：劉子維;浦探超;史麗娜;謝常青;王冠亞;李海亮;牛潔斌;劉明
受保護的技術使用者：中國科學院微電子研究所
技術研發日：2017.05.23
技術公布日：2017.07.18