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一種曝光能量均勻性標定結構的制作方法

文檔序號:11317597閱讀:638來源:國知局
一種曝光能量均勻性標定結構的制造方法與工藝

本實用新型屬于光學設備技術領域,具體涉及一種曝光能量均勻性標定結構。



背景技術:

目前市場上能量標定時,多采用毛玻璃來降低激光能量,以避免能量太強對測量光電池有損害,但毛玻璃在激光長時間照射后對光能的阻擋效率會發生變化,導致測量結果隨時間推移而變化,無法精確評價曝光能量的實時情況。



技術實現要素:

本實用新型的目的是提供一種曝光能量均勻性標定結構,用帶有小孔的機加件代替了毛玻璃來阻擋激光,解決了毛玻璃在激光長時間照射后對光能的阻擋效率發生變化進而影響曝光能量精確度的問題。

本實用新型所采用的技術方案是:

本實用新型提供一種曝光能量均勻性標定結構,其包括帶有小孔的機加件以及光電池,所述光電池設置在機加件遠離小孔的一側。

本實用新型的特點還在于,

所述小孔的孔徑大小為0.5~2.0mm。

所述機加件密封不透光。

所述機加件的頂部與曝光面處于同一平面。

所述帶有小孔的機加件以及光電池均設置在平臺上,通過移動平臺使小孔在曝光面區域內移動。

與現有技術相比,使用時,用帶有小孔的機加件代替毛玻璃來阻擋激光,隨著時間推移沒有光損現象發生,保證了對激光的阻擋效率,使標定結果不會隨時間變化。

附圖說明

圖1是本實用新型實施例提供一種曝光能量均勻性標定結構的結構示意圖;

圖2是本實用新型實施例提供一種曝光能量均勻性標定結構的光傳播示意圖。

具體實施方式

為了使本實用新型的目的、技術方案及優點更加清楚明白,以下結合附圖及實施例,對本實用新型進行進一步詳細說明。應當理解,此處所描述的具體實施例僅僅用以解釋本實用新型,并不用于限定本實用新型。

本實用新型實施例提供一種曝光能量均勻性標定結構,如圖1及圖2所示,其包括帶有小孔的機加件1以及光電池2,所述光電池2設置在機加件1遠離小孔的一側,這樣,用帶有小孔的機加件來阻擋激光,隨著時間推移沒有光損現象發生,保證了對激光的阻擋效率,使標定結果不會隨時間變化。

所述小孔的孔徑大小為0.5~2.0mm,這樣,通過調整孔徑大小可以控制通過的激光能量。

所述機加件1密封不透光,這樣,不會產生光損現象。

所述機加件1的頂部與曝光面處于同一平面,所述帶有小孔的機加件1以及光電池2均設置在平臺上,這樣,通過移動平臺使小孔在曝光面區域移動,可以精確的監測曝光面每一個點的能量情況。

本實用新型的工作過程為:將該標定結構安裝在平臺上,使機加件1的頂部與曝光面處于同一平面,通過移動平臺使小孔處于曝光面區域內,在曝光面會聚的激光經過小孔后會發散,單位面積的能量會降低,將對光電池2的損害降到最低,同時通過調整孔徑大小可以控制通過的激光能量,而機加件1也不會隨時間推移而變化,通過移動平臺使小孔在曝光面區域移動,可以非常精確的監測曝光面每一個點的能量情況。

光照射到光電池上,感應器會產生電流,通過測量電流值換算出對應的功率值,從而得到曝光能量值。

采用上述方案,與現有技術相比,使用時,用帶有小孔的機加件代替毛玻璃來阻擋激光,隨著時間推移沒有光損現象發生,保證了對激光的阻擋效率,使標定結果不會隨時間變化。

以上所述,僅為本實用新型較佳的具體實施方式,但本實用新型的保護范圍并不局限于此,任何熟悉本技術領域的技術人員在本實用新型揭露的技術范圍內,可輕易想到的變化或替換,都應涵蓋在本實用新型的保護范圍之內。因此,本實用新型的保護范圍應該以權利要求的保護范圍為準。

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