專利名稱：一種束流位置監測器的焊接工藝的制作方法
技術領域：
本發明涉及一種焊接工藝，特別是一種束流位置監測器的焊接工藝。
背景技術：
束流位置監測器BPM是用于高能帶電粒子加速器中探測束流在真空管道中水平和垂直位置的儀器，其以高精度、高分辨率的特點而得到廣泛的應用，用它測量電子束流在加速器中運行時的運動軌跡，是進行閉軌校正的有效手段。從真空管道橫截面上看，束流位置監測器的結構通常是在真空管道內呈均勻分布的四個電極，電極形狀呈鈕扣型或條帶型。由于高能粒子加速器對束流運動軌跡控制要求很高，反應到束流位置監測器，就是對其束流電極約2微米的位置精度和整體BPM的真空度要求很高。傳統的束流位置監測器的焊接是用氬弧焊焊接腔體與法蘭和電極，其優點是焊接費用低，缺點是很容易損壞真空束流電極，電極耦合系數的一致性差。一般來說，一個束流位置監測器有4個真空束流電極，其價格占整個束流位置監測器成品價的56%左右，任何一個電極出現問題，將導致整個束流位置監測器不可恢復性的報廢。

發明內容
發明目的針對上述問題，本發明的目的是提供一種對束流位置監測器的腔體與法蘭和電極的焊接工藝，提高電極的位置精度和整體束流位置監測器的真空度。技術方案一種束流位置監測器的焊接工藝，采用電子束焊接機在超真空狀態下焊接腔體與腔體、腔體與法蘭、腔體與電極，焊接前先對腔體和電極進行真空清洗，部件焊接順序為先焊接腔體與電極，然后焊接腔體與腔體，最后焊接腔體與法蘭；焊接完成后，進行真空檢漏。真空檢漏時，真空漏氣率小于1. OX 10_8帕斯卡升/秒為焊接合格。有益效果與現有技術相比，本發明的優點是采用電子束焊接束流位置監測器腔體與法蘭和電極時，不會造成電極陶瓷窗損壞，四個電極的耦合系數一致性很好，同時束流位置監測器兩端法蘭的平行度和與束軸的垂直度精度高，減小了在法蘭與腔體焊接過程中引入的誤差，大大提高了束流位置監測器的性能和制造成功率，經真空測試表明，整體束流位置監測器的平均真空度達到2. O X 10_9帕斯卡升/秒，遠高于通常要求的10_8級帕斯卡升/秒。
具體實施例方式下面結合具體實施例，進一步闡明本發明，應理解這些實施例僅用于說明本發明而不用于限制本發明的范圍，在閱讀了本發明之后，本領域技術人員對本發明的各種等價形式的修改均落于本申請所附權利要求所限定的范圍。束流位置監測器在監測使用過程中，束流經過諧振腔時，激勵起諧振腔的特征模式。圓柱形諧振腔的偶極模式TMllO模的電場相對于腔軸具備奇對稱性，TMllO模偏軸距離r處的電場強度為
權利要求
1.一種束流位置監測器的焊接工藝，其特征在于采用電子束焊接機在超真空狀態下焊接腔體與腔體、腔體與法蘭、腔體與電極，焊接前先對腔體和電極進行真空清洗，部件焊接順序為先焊接腔體與電極，然后焊接腔體與腔體，最后焊接腔體與法蘭；焊接完成后， 進行真空檢漏。
2.根據權利要求1所述的一種束流位置監測器的焊接工藝，其特征在于真空檢漏時， 真空漏氣率小于1. OX 10_8帕斯卡升/秒為焊接合格。
全文摘要
本發明公開了一種束流位置監測器的焊接工藝，采用電子束焊接機在超真空狀態下焊接腔體與腔體、腔體與法蘭、腔體與電極，焊接前先對腔體和電極進行真空清洗，焊接完成后，進行真空檢漏。本發明的優點是采用電子束焊接束流位置監測器腔體與法蘭和電極時，不會造成電極陶瓷窗損壞，四個電極的耦合系數一致性很好，同時束流位置監測器兩端法蘭的平行度和與束軸的垂直度精度高，減小了在法蘭與腔體焊接過程中引入的誤差，大大提高了束流位置監測器的性能和制造成功率，經真空測試表明，整體束流位置監測器的平均真空度達到2.0×10-9帕斯卡升/秒，遠高于通常要求的10-8級帕斯卡升/秒。
文檔編號B23K15/06GK103028833SQ20121055543
公開日2013年4月10日 申請日期2012年12月19日 優先權日2012年12月19日
發明者孫安, 張力平, 張海龍, 劉克, 薛培培 申請人:江蘇安德信超導加速器科技有限公司, 南京大學, 長安大學, 江蘇德佐電子科技有限公司