技術總結
本發(fā)明為一種高速激光蝕刻藍寶石鏡片的方法，在對藍寶石片進行切割時，會通入輔助氣體SF6，藍寶石的主要成分為Al2O3，皮秒激光器對藍寶石片進行切割時產生高溫，此時SF6中的氟離子會與鋁離子發(fā)生反應，因為一個SF6分子中含有6個氟離子，因此可以與6個鋁離子發(fā)生反應，因此使用SF6作為輔助氣體較現(xiàn)在常用的氮氣能減少用量，并且氟的還原性比氮的還原性強，因此氟離子與鋁離子發(fā)生反應的速度更快，因此使用SF6可以加快切割速度，并且在加快切割速度的同時能夠避免藍寶石鏡片周邊的毛刺產生。

技術研發(fā)人員：杜彥召
受保護的技術使用者：廣東富源科技股份有限公司
文檔號碼：201611103747
技術研發(fā)日：2016.12.05
技術公布日：2017.05.31