技術特征：

技術總結
本發明為準分子激光退火工序用激光束調節模塊，上述準分子激光退火工序用激光束調節模塊用于調節向基板照射的激光束的長度，上述準分子激光退火工序用激光束調節模塊包括：激光束切割機，與上述激光束的移動方向垂直地配置，在內部設有包括制冷劑的冷卻單元；制冷劑供給部，形成于上述激光束切割機的一側，用于向上述冷卻單元的內部循環供給上述制冷劑；檢測部，用于檢測上述冷卻單元的溫度；以及控制部，用于控制上述制冷劑的溫度及流量。

技術研發人員：崔東奎;白種化;樸宰顯;金炳秀
受保護的技術使用者：AP系統股份有限公司
技術研發日：2017.02.15
技術公布日：2017.09.12