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一種二維亞微米蝶形金屬微結(jié)構(gòu)的飛秒激光直寫制備方法與流程

文檔序號:12363864閱讀:來源:國知局
技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開了一種二維亞微米蝶形金屬微結(jié)構(gòu)的飛秒激光直寫制備方法,技術(shù)方案包括以下步驟:第一步,金屬靶樣品材料的拋光和安裝;第二步,可變延遲時(shí)間的線偏振和角向偏振雙脈沖飛秒激光的獲取;第三步,雙脈沖飛秒激光的點(diǎn)聚焦;第四步,金屬靶樣品材料位置的調(diào)節(jié);第五步,物鏡焦點(diǎn)位置的確定;第六步,金屬靶樣品材料表面的調(diào)整;第七步,二維亞微米蝶形金屬微結(jié)構(gòu)的制備;本發(fā)明通過巧妙利用微納米加工平臺的分光方法形成兩個(gè)同色共線傳輸、時(shí)間延遲可調(diào)的線偏振和角向偏振飛秒激光脈沖,采用物鏡點(diǎn)聚焦方式,方便快速地在金屬表面直寫制備出條紋方向彎曲的二維亞微米蝶形金屬微結(jié)構(gòu)。

技術(shù)研發(fā)人員:喬紅貞;舒方杰;楊濤;李莉;冀園園
受保護(hù)的技術(shù)使用者:商丘師范學(xué)院
文檔號碼:201710168152
技術(shù)研發(fā)日:2017.03.21
技術(shù)公布日:2017.05.31

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