專利名稱：一種熱反射板結構的制作方法
技術領域：
本發明涉及一種反射板結構，特別涉及一種熱反射板結構。
背景技術：
在現有技術的真空鍍膜過程中，通常需要將襯底加熱到一定的溫度，以提高所鍍膜層的品質，如非晶硅薄膜太陽能電池在鍍透明導電氧化物膜和非
晶硅膜時需要將玻璃襯底加熱至150-300°C。在連續性的生產線作業過程中，通常使用紅外加熱的方式將襯底加熱到所需的溫度。在使用紅外燈管加熱襯底的過程中，為了減少相應的紅外線輻射，同時增加熱能的利用率，需要使用熱反射板將紅外線輻射限制在一定范圍內，目前通常使用不銹鋼板作為熱反射層，如圖1所示，其中1為襯底，2為紅外加熱燈管，3為不銹鋼反射板。
現有技術在加熱襯底l的過程中，如圖l所示紅外加熱過程中，為了提高熱能的利用率，通常在紅外加熱燈管2上方加上不銹鋼反射板3，將向上方輻射的紅外線反射回來，同時還減少了熱輻射對真空腔體的加熱。使用不銹鋼紅外線反射板3后，紅外線沿紅外線反射光路7被反射，熱能的利用率提高，減小了對紅外燈管加熱功率的要求，降低了單位能耗。
但是圖1所示的熱反射板在高溫下，如六七百度時，因不銹鋼片熱膨脹系數過大，經常會出現大幅變形而擠壓、損壞紅外加熱燈管的問題，如圖2所示，在加熱過程中，位于紅外燈管上方的不銹鋼反射板3在高溫下易發生變形，不銹鋼反射板3在六七百度時變形已極為嚴重，變形后的不銹鋼反射板3擠壓紅外燈管2易使其破裂，該問題在不銹鋼反射板3面積較大時尤為嚴重。為解決此問題，常用的方案是增加不銹鋼反射板3與紅外燈管2之間的距離，并增加不銹鋼反射板3的厚度，但是這樣會增加熱輻射被限制的空間，對紅外燈管2的功率要求增大，此外，在長期使用過程中，不銹鋼反射板3仍會發生變形，同時整個體系的單位能耗也無謂增加。
綜上可知，現有技術的缺點是-1. 在對襯底加熱的過程中，不銹鋼反射板容易受熱變形，壓迫并破壞紅外燈管，造成經濟損失和不安全因素。
2. 加大不銹鋼熱反射板與紅外燈管之間的間距后，增加了熱輻射被限制的空間，對紅外燈管的功率要求增大。
3. 加大不銹鋼熱反射板與紅外燈管之間的間距后，部分熱能被浪費，加熱效果不佳，整個體系的單位能耗增加。

發明內容
本發明的目的是提供一種熱反射板結構，能夠防止不銹鋼反射板受熱變形而損壞紅外燈管，確保生產安全。能有效地提高加熱效果，減小能耗。
本發明的構思是由于石英玻璃是透紫外線、可見光、近紅外線性能最
好的玻璃，能耐1200。C的高溫，硬度大而且受熱形變極小，本發明使用石英
玻璃架托住不銹鋼反射板而構建的紅外線反射裝置，避免不銹鋼反射板因為受熱變形而接觸下方燈管。此外，石英玻璃自身也能反射一部分紅外線，反
射率約8%，使得它與不銹鋼片組成的復合體系熱反射性能更為優異。采用石英玻璃托架作支撐力，只需用很薄的不銹鋼片來反射紅外線，減少了不銹鋼的用量，融合了石英玻璃在高溫下強度高和不銹鋼反射板的熱反射性能好的優點。
本發明提供一種熱反射板結構，包括依次疊加的若干紅外加熱燈管、不銹鋼反射板，還包括石英玻璃托架，該托架設置于靠近不銹鋼反射板下方。優選地，所述該托架包括支撐平面和支撐腳，支撐平面覆蓋紅外加熱燈管。
優選地，所述支撐腳設置在支撐平面的邊緣。
顯而易見，石英玻璃能反射部分紅外輻射；同時由于，支撐力來自于石英玻璃托架，只需很薄的不銹鋼片；較之于使用厚的不銹鋼反射板，該設計方案成本低；石英玻璃托架和不銹鋼片結合構架的熱反射裝置壽命更長。一種熱反射板結構的應用，該熱反射板結構用于加熱大面積襯底。優選地，該熱反射板結構用于非晶硅薄膜太陽能電池的制備、透明導電玻璃的制備、Low-E (Low Eradiation,低輻射)玻璃的制備、以及TFT-LCD(Thin Film Transistor Liquid Crystal Display, 薄膜場效應晶體管液晶顯示器)的制備等過程中襯底的加熱。優選地，所述襯底可以是剛性襯底(普通玻璃，石英玻璃，鈉鈣玻璃，不銹鋼等)，也可以是柔性襯底(鈦，有機聚合物等)。
本發明由于采用了以上技術方案，使之與現有技術相比，具有以下優點和積極效果
1. 防止在對襯底加熱的過程中，不銹鋼反射板受熱變形，避免了經濟損失并減少了不安全因素。
2. 減少了熱輻射對真空腔體的加熱，即減小了對紅外燈管的功率要求。
3. 充分利用熱能，提高加熱效果，減小整個體系的單位能耗。
4. 減少了不銹鋼板的厚度，降低了成本。


此處所說明的附圖用來提供對本發明的進一步理解，構成本申請的一部分，本發明的示意性實施例及其說明用于解釋本發明，并不構成對本發明的不當限定。
在附圖中-
圖1是現有技術的熱反射板結構示意圖。
圖2是現有技術的熱反射板受熱變形的示意圖。圖3是本發明的熱反射板結構示意圖。附圖標號-襯底[2]紅外加熱燈管[3]不銹鋼反射板 [4]石英玻璃托架[5]支撐平面[6]支撐腳 [7]紅外線反射光路
具體實施例方式
如圖3所示，使用本發明對襯底進行加熱。本裝置從下到上依次疊加一根紅外加熱燈管2、石英玻璃托架4、不銹鋼反射板3。石英玻璃托架4包括支撐平面5和支撐腳6，支撐平面5覆蓋紅外加熱燈管2。石英玻璃托架4的支撐腳6設置在支撐平面5邊緣。石英玻璃托架4的支撐腳的高度大于襯底到石英玻璃托架4的高度，完全覆蓋紅外加熱燈管2和紅外加熱燈管2下方的襯底1。
在加熱過程中，紅外加熱燈管2不斷發出紅外線，紅外線沿紅外線反射光路7先后被石英玻璃托架4和不銹鋼反射板3反射到襯底。在使用了一段時間后，溫度到達700度以上時，不銹鋼反射板3因受熱發生膨脹，產生形 變，而石英玻璃硬度大和膨脹系數低，其在700度是幾乎不產生形變，也不 會因為受不銹鋼反射板3的擠壓而產生形變。由于受到石英玻璃托架4的保 護，不銹鋼反射板3的形變不會觸及到紅外加熱燈管2，整個系統能繼續安 全工作。
本發明充分利用石英玻璃優異的高溫穩定性，石英玻璃在IOO(TC以下形 變極小，用石英制造托架托住不銹鋼熱反射板，充分利用石英玻璃高溫下強 度高和不銹鋼熱反射板的反射性能好的優點，因支撐力主要來自于石英玻璃 托架，只需使用很薄的不銹鋼片即可。
本發明充分利用石英玻璃光透過性好，硬度大，膨脹系數低，耐高溫， 化學穩定性好的優點，用優質石英玻璃制造托架，用托架托住很薄的不銹鋼 片來反射加熱過程中的紅外輻射。石英玻璃硬度大和膨脹系數低的優點，彌 補了不銹鋼反射板的不足，解決了加熱過程中，不銹鋼反射板的因熱膨脹系 數過大發生大幅形變而損壞紅外加熱燈管的問題，可以應用于非晶硅薄膜太 陽能電池的制備，透明導電玻璃的制備，Low-E玻璃的制備，以及TFT-LCD 的制備等。
最后應當說明的是以上實施例僅用以說明本發明的技術方案而非對其 限制；盡管參照較佳實施例對本發明進行了詳細的說明，所屬領域的普通技 術人員應當理解依然可以對本發明的具體實施方式
進行修改或者對部分技 術特征進行等同替換；而不脫離本發明技術方案的精神，其均應涵蓋在本發 明請求保護的技術方案范圍當中。
權利要求
1、一種熱反射板結構，包括依次疊加的若干紅外加熱燈管(2)、不銹鋼反射板(3)，其特征在于還包括托架(4)，該托架(4)設置于靠近不銹鋼反射板(3)下方。
2、 如權利要求1所述的熱反射板結構，其特征在于所述托架(4)是石英玻璃托架。
3、 如權利要求1或2所述的熱反射板結構，其特征在于所述該托架(4)包括支撐平面(5)和支撐腳(6)，支撐平面(5)覆蓋紅外加熱燈管(2)。
4、 如權利要求3所述的熱反射板結構，其特征在于所述支撐腳(6)設置在支撐平面(5)的邊緣。
5、 一種如權利要求l所述的熱反射板結構的應用，其特征在于該熱反射板結構用于加熱大面積襯底。
6、 一種如權利要求l所述的熱反射板結構的應用，其特征在于該熱反射板結構用于加熱生產非晶硅薄膜太陽能電池過程中的玻璃基片。
7、 一種如權利要求1所述的熱反射板結構的應用，其特征在于該熱反射板結構用于加熱透明導電玻璃鍍制過程中的玻璃基底。
8、 一種如權利要求1所述的熱反射板結構的應用，其特征在于該熱反射板結構用于加熱低輻射玻璃制備過程中的玻璃基底。
9、 一種如權利要求1所述的熱反射板結構的應用，其特征在于該熱反射板結構用于加熱薄膜場效應晶體管液晶顯示器制備過程中的襯底。
全文摘要
本發明公開了一種熱反射板結構，包括依次疊加的若干紅外加熱燈管、不銹鋼反射板，還包括石英玻璃托架，該托架設置于靠近不銹鋼反射板下方。本發明用石英玻璃托架托住不銹鋼熱反射板，防止襯底加熱過程中不銹鋼反射板受熱變形損壞紅外燈管，由于支撐力主要來自于石英玻璃托架，只需用很薄的不銹鋼片即可。石英玻璃耐高溫、強度高和不銹鋼反射板的熱反射性能好的雙重優點，提高加熱效果，減小能耗，延長熱反射結構使用壽命。
文檔編號C23C14/28GK101672454SQ20081004266
公開日2010年3月17日 申請日期2008年9月9日 優先權日2008年9月9日
發明者平 豐, 芃 夏, 施松林, 范振華, 范繼良 申請人:上海拓引數碼技術有限公司