專利名稱：光學品級的表面加工工具的制作方法
技術領域：
本發明涉及對于例如眼鏡玻璃的或照相設備鏡頭的或用來觀察遠處物體的儀器
的表面，或者對半導體基底的表面進行光學品級的表面加工。 所謂"表面加工"指的是旨在改變預先成型表面狀態的各種操作。這特別涉及旨在改變(降低或增大)表面粗糙度和/或降低其起伏的拋光、精磨或磨砂。
背景技術：
特別是通過日本專利申請2000-317， 797，通過法國專利申請2 834 662—對應于美國專利申請2005/0101235—和通過法國專利申請2 857 610—對應于美國專利申請2006/0154581，已經知道了一種光學表面的表面加工工具，該表面加工工具包括具有橫向端部的剛性支持體；可彈性壓縮的界面體，該可彈性壓縮的界面體連接至該剛性支持體，并具有第一橫向端部表面、第二橫向端部表面和從第一橫向端部表面的周邊延伸到第二橫向端部表面的周邊的側表面，該界面體的所述第一橫向端部表面壓靠并覆蓋剛性支持體的所述端部表面；以及柔性緩沖體，該柔性緩沖體適合于壓靠光學表面，且背對并正對該界面體的第二橫向端部表面地壓靠并至少部分覆蓋該剛性支持體的所述第二橫向端部表面。
為了降低光學表面的粗糙度，使該加工工具與該光學表面接觸，同時在該光學表面上保持該加工工具的足夠的壓力，以通過界面體的變形使緩沖體貼合光學表面的形狀。
在光學表面上噴灑一種流體的同時，驅動該光學表面使之相對于該加工工具旋轉(或相互旋轉)并且用該流體進行清理。 —般說來，驅動光學表面旋轉，該光學表面對工具的摩擦力足夠驅動該工具一起旋轉。 表面加工的操作需要磨料，該磨料可包含在緩沖體或者流體中。 在表面加工的過程中，可彈性壓縮的界面體可以補償在該工具的支持體的端部表
面和光學表面之間的曲率差別。 由此工具獲得的結果一般說來還是滿意的，但其很難避免某些外觀的缺陷，特別
是橘皮效應(英語為"orange skin")和巻曲效應(英語為"cottonmouton")。 為了克服這些外觀缺陷，已經建議使柔性緩沖體的直徑大于界面體的直徑，從而
使該緩沖體具有在橫向超出界面體的環形部分。 這樣的工具改善了表面的外觀，但在某些情況下，它還是存在著這種外觀缺陷。

發明內容
本發明的目的是提供一種就減少外觀缺陷而言性能特別良好的表面加工工具。
為此，提出一種具有光學品級的表面加工工具，該表面加工工具包括具有橫向端部表面的剛性支持體；可彈性壓縮的界面體，該可彈性壓縮的界面體連接至該剛性支持體，并且具有第一橫向端部表面、第二橫向端部表面和從第一端部表面的周邊延伸到第二端部表面的周邊的側表面，該可彈性壓縮的界面體的所述第一端部表面壓靠并覆蓋該剛性支持體的所述端部表面；以及柔性緩沖體，該柔性緩沖體適合于壓靠工作表面，且背對并正對所 述剛性支持體的所述端部表面地壓靠并至少部分覆蓋所述界面體的所述第二橫向端部表 面，該表面加工工具的特征在于，所述柔性環箍壓靠并部分覆蓋界面體的側表面，所述柔性 環箍從所述緩沖體的周邊一直延伸到自由端部，所述界面體的所述側表面的環形部分在所 述環箍的所述自由端部和所述界面體的第一端部表面之間是自由的。
該柔性環箍背對著該界面體的側面延伸部分。 因此，當該工具受到朝向工作面施加的應力時，柔性環箍就制約此壓力，使其以比
較均勻的方式分布在表面加工工具下面，特別是在避免出現峰值的邊緣附近。 該柔性環箍還限制界面體由于工具相對于工作表面移動的應力而造成的變形。 然而，界面體的側表面的自由環形部分能夠在此界面體上保持足夠的變形能力，
以使緩沖體能夠貼合工作表面的形狀。 該環箍的柔軟特性也參與了此變形能力，然而環箍在緩沖體的周邊和緩沖體的側 表面的環形自由部分之間的定位特別有利于限制當該工具受到朝向工作表面施加的力時 由緩沖體產生的側面隆起，該側面隆起比該工具的直徑的加大更大。 因此，按照本發明的工具一般具有比不包括柔性環箍的現有技術的工具更好的性 能。 在所有條件都相同的情況下，這能夠得到更好的表面狀態，特別是降低了橘皮效 應和巻曲效應。 按照本發明的工具，在所有條件都相同的情況下，還能夠使用更為有效的表面加 工參數，特別是增大了壓力和速度。 按照優選的特征，所述環箍與緩沖體制成一單體件。 因此，特別簡單而方便地得到按照本發明的工具，而在緩沖體和環箍之間存在有
利于該工具的耐用性和進行的表面加工的品級的連續性。 出于同樣的原因，優選 _所述環箍由在緩沖體的周邊通過折疊而折起的邊緣形成；
-所述環箍具有指向所述緩沖體的輪廓為V形的凹槽；-該工具包括杯形的殼體，該杯形的殼體的底壁形成所述緩沖體，而該杯形的殼體 的側壁形成所述環箍；-所述界面體是由模塑在所述杯形的殼體上的材料制造的；-所述環箍粘接在所述界面體上；-所述環箍是由模塑在所述界面體上的材料制造的；-所述界面體包括由可彈性壓縮的材料制造的板，但所述板的剛性大于形成所述 界面體的其余部分的主體的剛性，所述板間置于所述緩沖體和所述主體之間；
-所述主體具有包圍著所述板的周邊部分；-所述界面體的所述周邊部分在所述第二端部表面和所述側表面之間具有鈍邊。
按照另一個優選的特征，對于所得到結果的品級，在所述環箍的所述端部和所述 第一端部表面之間的距離為該界面體的所述第一端部表面和所述第二端部表面之間距離 的30%至70%。 在優選的第一實施方式中，所述支持體、所述界面體和所述緩沖體具有相近的直
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在優選的第二實施方式中，所述界面體和所述緩沖體具有比所述支持體的直徑更 大的相近的直徑，所述工具還包括布置在所述剛性支持體和所述界面體的周邊之間的彈性 回動部件。


現將參照附圖，通過詳細描述以下僅作為說明給出的且非限制性的優選的實施例 繼續闡述本發明，其中 圖1是按照本發明的表面加工工具的第一實施方式的正視圖；
圖2是與圖1相類似的、但為剖開的視圖； 圖3和圖4是與圖2相類似的視圖，但示出當工具分別受到沿著工作表面的移動
的應力，和當工具受到朝向工作表面施加的應力時該工具如何變形； 圖5和圖6是分別與圖3和圖4相類似的、但為現有技術的工具的視圖； 圖7和圖8是分別與圖2和圖6相類似的、按照本發明的工具的第二實施方式的
視圖； 圖9和圖10是與圖7相類似的、按照本發明的工具的第一實施方式和第二實施方 式的變型的視圖； 圖11是與圖1相類似的、按照本發明的工具的第一實施方式的變型的視圖；
圖12以分離的方式示出該工具的變型所包括的殼體，該殼體用于形成柔性緩沖 體和柔性環箍。
具體實施例方式
在圖1-圖4中所示的工具IO，包括剛性支持體11、可彈性壓縮的界面體12、柔性 緩沖體13和柔性環箍14。 支持體11，更通常而言是工具10，整體是回轉對稱的柱形，并且具有標注為X的對 稱軸線，該對稱軸線限定所謂的縱向。
支持體11具有端部表面15。 界面體12具有第一端部表面16、第二端部表面17和從第一端部表面16的周邊向
第二端部表面17的周邊延伸的側表面18。 端部表面15是橫向延伸的，并且在此是平面的。 在沒有應力時，界面體12和緩沖體13的形狀一般為直徑與表面15相同的盤形， 界面體12的厚度大于緩沖體13的厚度。 界面體12通過其第一端部表面16壓靠并覆蓋支持體11的端部表面15。 緩沖體13壓靠并覆蓋界面體12的表面17。 因此，支持體11和緩沖體13位于界面體12的兩側。 環箍14從緩沖體13的周邊一直延伸到自由端部20處，側表面18的環形部分21， 在環箍14的端部20和界面體12的表面16之間是自由的。 環箍14和緩沖體13是從厚度均勻的柔性材料盤得到的，其中，用來生成環箍14 的環形周邊帶等間距地具有凹槽，當此環形帶被折起以生成環箍14時，凹槽就生成凹槽
622。凹槽22具有指向緩沖體13的V形輪廓。 在支持體11和界面體12之間的連接，在此是在整個表面15和16上通過粘接而實現的。在由緩沖體13和環箍14形成的單體件(seule p"ce)的組合件之間的連接，在此是通過將整個緩沖體14和環箍14粘接在表面17和18上來實現的。
支持體11具有對著端部表面15開口、并在支持體11的厚度的一部分上軸向延伸的腔室25。 腔室25被居中地布置，并設置用來將工具10安裝在表面加工機的芯軸的頭部上。
腔室25具有整體成形為如一個球的3/4的球狀部分26、環形肋27和錐形部分28，環形肋27布置在部分26和部分28之間。 用于容納在腔室25中的芯軸頭部包括其形狀如部分26的球部和直徑小于肋27的柱狀部分。 在支持體11和表面加工機的芯軸之間的裝配，通過簡單的卡扣(encliquetage)
來實現，所述肋能夠變形，使芯軸頭部的球部嵌入到部分26中。 當芯軸頭部嚙合在腔室25中時，工具10與芯軸以球形鉸接的方式配合。 為了更加簡化顯示，工具10被示出施加在光學表面30上，該表面是平面的，當然
在實際中光學表面可以是曲面的(凹面的或凸面的)。 為了進行表面加工的操作，表面30所歸屬的透鏡31被安裝在旋轉的支持體(圖中未示出)上，工具10對著表面30施加足夠的力，以使緩沖體13與其形狀相貼合。
在此，工具IO本身是可自由旋轉的，然而相對于光學表面30是偏心的。
光學表面30與緩沖體13的相關摩擦力足以驅動工具10在與透鏡31圍繞著支持體ll的對稱軸線X相同的方向上旋轉。 按照緩沖體本身是否執行此功能，用非腐蝕性流體或腐蝕性流體噴灑光學表面30。 為了清理整個光學表面2，工具IO在表面加工的過程中，沿著徑向軌跡移動，工具10的旋轉軸線X與光學表面2的交點在兩個岐點(point derebroussement)之間進行往復運動。 因此，在表面加工工作的過程中，工具10相對于透鏡31同時受到朝向工作表面30施加的應力和沿著此表面移動的應力。 圖3示出當此工具10受到沿著工作表面30移動的應力40時，此工具如何變形。
當然，支持體11，由于其是剛性的，所以不會經受任何變形。 相反，界面體12是可彈性壓縮的，而且柔性的緩沖體13和環箍14是易于變形的。
移動應力40的施加傾向于在緩沖體13和支持體11之間造成橫向的偏移。
因此，在所示的實施例中 一其中應力40指向圖的右方，緩沖體13相對于支持體ll朝向圖的左方稍微偏移。 觀察到，這基本上是位于表面16和發生變形的環箍14的端部20之間的界面體12的部分。 被環箍14環繞著的界面體12的部分變形較少或者沒有任何變形，環箍14抵抗界面體12的側表面的變形。 圖4示出當此工具10受到朝向工作表面30施加的應力41時，此工具如何變形。
應力41傾向于使界面體12壓縮，并因此傾向于使側表面18具有凸起的形狀，由 此導致此側表面附近的剪切效應。 由于環箍14，側表面18的變形仍然是適度的，環箍14抵抗表面18的變形。 在圖4中，示出由工具10施加在表面30上的壓力的分布32。 觀察到，此壓力是比較均勻的，只是朝向工具的周邊稍有增大。 在圖5和圖6上示出的工具10'與工具10是相類似的，只是它不包括環箍14。使
用了與工具10同樣的數字標記，但具有一符號"'"。 在日本專利申請2000-317797中特別敘述了工具10'。 圖5示出當工具10'受到移動應力40時，它如何變形。 比較圖3和圖5，觀察到在緩沖體13'與支持體ll'之間的橫向偏移遠大于在緩沖 體12和支持體11之間的橫向偏移。 圖6示出當工具10'受到朝向表面30施加的應力時，它如何變形。
比較圖4和圖6，觀察到界面體12'的側表面18'更加凸出。 在表面18'附近的剪切效應因此遠大于在表面18附近的剪切效應，從而如壓力分 布32'所示，在此附近存在著壓力峰值，在某些情況下，該壓力峰值與壓力更小的區域相關。
環箍14通過抵抗界面體12的側向延伸，因此限制壓力，使其更好地分布在工具10 下面。 由于側表面18的部分21—該部分21在環箍14的端部20和界面體12的橫向表 面16之間保持自由，界面體的橫向表面保持足夠的變形能力，以使得緩沖體13能夠與表面 30的形狀貼合。 在所示的實施例中，在端部20和橫向表面16之間存在的距離稍大于在沒有應力 的情況下界面體12的厚度(表面16和表面17之間的距離)的一半。
實際上，表面16和端部20之間的距離，在沒有應力的情況下，為界面體12的厚度 的30% _70%，優選為大約50%。 由于環箍14產生對側向剪切的增大的阻力，工具IO具有比工具10'更好的總體 性能。 這就使得，在所有條件都一樣的情況下，能夠得到更好的表面狀態，特別是減小了 易由在該工具的邊緣附近的壓力峰值所造成的橘皮和巻曲效應。 在所有條件都一樣的情況下，工具10還能夠使用更有效的表面加工參數，特別是 增大的壓力和速度。 現將在圖7的基礎上描述工具10的一個變型110。對于類似的元件使用同樣的數 字標記，但增加了 100。 界面體112、緩沖體113和環箍114如界面體12、緩沖體13和環箍14 一樣設置， 只是它們的直徑遠大于剛性支持體111的直徑，并且設有彈性回動部件50和間置于界面體 112和回動部件50之間的可變形環體51。 由于界面體12的直徑遠大于支持體111的直徑，界面體112包括正對端部表面 115的中央部分112a和在橫向位于端部表面115之外的周邊部分112b。
同樣，緩沖體113具有正對支持體111的端部表面115的中央部分113a和在橫向 位于端部表面115之外的周邊部分113b。
環體51壓靠在與支持體111同一側的周邊部分112b上，使得該支持體被環體51 包圍。 在此，環體51是環形的，并以與支持體111同中心的方式布置。 回動部件50呈星形件的形狀，該星形件包括一個中央部分和多個分支，該分支的
每一個形成在橫向平面中徑向延伸的彈性柔性片。 星形件50被用螺釘(圖中未示出)固定至支持體lll，該螺釘的螺桿嚙合在設在 支持體111中的攻絲孔中，而這些螺釘的頭部在與支持體111相背對的一側支承在星形件 50上。 在圖8中所示的工具110'與工具101是相類似的，只是它不包括環箍114。使用 與工具101同樣的數字標記，但增加一符號"'"。 在對應于美國專利申請2005/0101235的法國專利申請2， 834， 662中特別描述了 工具101，。 當進行表面加工時，由于星形件的柔性薄片的變形，緩沖體113'變形以與光學表 面的形狀貼合。 考慮到支持體111'的剛性，正對端部表面115'的大部分材料被去掉，這就是說材 料的去掉主要是通過緩沖體113'的中央部分113a'進行的。 至于周邊部分，緩沖體113和界面體112的113b'和112b'，它們主要起著穩 定的作用，一方面是由于工具110'相對于傳統工具增大了承載力(portance)或穩定性 (assise)，而傳統工具的緩沖體和界面體將被限制在中央部分113a'和112a'上，另一方面 是由于回動部件50，該回動部件保持在緩沖體113的周邊部分113b'與光學表面30之間的 永久接觸。 可變形環體51'使得施加在界面體112'的周邊輪廓上的應力分布平滑，結果使得 由星形件的柔性片施加在緩沖體113'上的應力分布平滑。 如同由工具110'施加在表面30上的壓力分布132'所示，出于與工具10'同樣的 原因，在側表面118'附近存在有壓力峰值。 環箍114使得能夠避免此壓力峰值，并且在側表面118附近具有壓力分布，該壓力 分布具有接近于工具10的側表面附近的壓力分布32的形狀。 因此環箍114帶給工具110的有利效應類似于由環箍14帶給工具10的有利效應，
都與涉及朝向表面30施加的應力41與涉及相對于此表面移動的應力40的性能相關。 圖9中所示的工具110的變型中，界面體112包括可彈性壓縮材料制造的板55，但
是該板的剛性大于形成界面體112的其余部分的主體56的剛性。 除了環繞著板55的周邊部分57，板55間置在緩沖體113和主體56之間。 由于板55，界面體112可充分壓縮，以與工作表面貼合，并且以在端部表面117處
具有足夠使用特別柔軟的緩沖體113的性能。 周邊部分57使界面體112的周邊保持避免邊緣效應的變形能力。
在圖10上所示的工具的第二變型110與在圖9中所示的是相類似的，只是主體56 的周邊部分57具有倒角58，用來使端部表面117和側表面118之間的棱邊鈍化。該倒角 57有利于該工具110得到的表面狀態的品級。 在未示出的另一個變型中，倒角58被環形的連接倒圓角代替。
在未示出的變型中，如50的彈性回動部件和如112的界面體之間的配合方式是不 同的，其中，如在對應于美國專利申請2006/0154581的法國專利申請2857619中所描述的， 例如環體51被星形件50的連續周邊部分代替。在未示出的變型中，在如10的工具中設有如55的板和/或如58的鈍邊。
在圖11中所示的工具10的變型中，通過適當的材料的預成形以生成杯形的殼體 60，緩沖體13和環箍14制成一單體件，該杯形的殼體的底壁形成緩沖體13，而該杯形的殼 體的側壁形成環箍14。 在此，殼體60是通過熱成形塑性材料膜或浸漬了塑性材料的織物而得到的。
當然，在工具110中可以使用如60的殼體。 對于難以折疊的材料 一 即不適合通過折起這種材料制造的盤的邊緣而得到如14 或114的環箍的材料 一 而言，如60的殼體的設計是特別有意義的。 如果此界面體是分開制造的，或者當通過將界面體模塑在殼體中得到界面體時直 接制造的，那么杯形的殼體與如12或112界面體的連接是通過粘接實現的。
在未示出的一變型中，由如13或113的緩沖體和如14或114的環箍形成的組合 件是通過將如12或112的界面體用復制模制作而得到的。 在此最后的變型中，緩沖體和環箍是例如用LP型聚氨酯硬泡沫塑性材料制造的。
當其不是用復制模制作時，形成如13或113的緩沖體和如14或114的環箍的組
合件是由例如麂皮、水牛皮、織物制的拋光呢或toray公司商品名為C^moy⑧的已投放市
場的材料或者光滑或稍有結構(凹凸花紋)的塑性材料膜制造的。 如12或112的界面體是由密度220kg/m3，厚度9mm-12mm的聚氨酯泡沫塑性材料 制造的。 如在上面所指出，為簡化說明，光學表面30在附圖中被示出為平面的。 當然，在實際上，光學表面30不是平面的，而是曲面的，具有可能特別復雜的形
狀，例如這涉及到用于矯正老花、近視和散光的佩戴者的視力的漸進型玻璃的表面之一。 同樣，以分開的方式示出由工具相對于光學表面移動的應力40和朝向此表面施
加的應力21所導致的變形是分開表示的，而在實際上這兩種應力當然是同時施加的。 按照本發明的工具可用于對非光學表面一例如半導體材料制造的板的表面之
一 一進行光學品級的表面加工。 在一未示出的變型中，如13或113的緩沖體不覆蓋如17或117的整個表面，這是
由于例如緩沖體成形為花朵狀，具有一個實心的核，從該核徑向地延伸出多個花瓣。 在未示出的另一個變型中，如13或113的緩沖體和如14或114的環箍不是制成
一單體件，而是制成由分別連接至如17或117的端部表面和如18或118的側表面的分開
的兩部分。 在未示出的再一個變型中，表面加工工具與表面加工機的芯軸的頭部之間的配合 不是通過如25或125的腔室實現的；和/或該工具被芯軸驅動旋轉，通過萬向軸節該工具 被安裝在芯軸上。 在未示出的又一個變型中，如11或111的支持體的如15或115的端部表面不是 平面的，而是凹面的或凸面的。 當然，根據不同情況，許多其它的變型也是可能的，因此就本發明來說，并不限于描述和介紹過的實施例'
權利要求
光學品級的表面加工工具，所述表面加工工具包括具有橫向端部表面(15、115)的剛性支持體(11、111)；可彈性壓縮的界面體(12，112)，所述可彈性壓縮的界面體連接至所述剛性支持體(11、111)并且具有第一橫向端部表面(16、116)、第二橫向端部表面(17、117)和從所述第一橫向端部表面(16、116)的周邊延伸到所述第二橫向端部表面(17、117)的周邊的側表面(18、118)，所述可彈性壓縮的界面體(12、112)的所述第一橫向端部表面(16、116)壓靠并覆蓋所述剛性支持體(11、111)的所述橫向端部表面(15、115)；以及柔性緩沖體(13、113)，所述柔性緩沖體適合于壓靠工作表面(30)，且背對并正對所述剛性支持體(11，111)的所述橫向端部表面(15，115)地壓靠并至少部分覆蓋所述界面體(12、112)的所述第二橫向端部表面(17、117)，其特征在于，柔性的環箍(14、114)壓靠并部分覆蓋所述界面體的側表面(18、118)，所述柔性的環箍(14、114)從所述緩沖體(13、113)的周邊一直延伸到自由端部(20、120)，所述界面體(12、112)的所述側表面(18、118)的環形部分(21、121)在所述環箍(14、114)的所述自由端部(20、120)和所述界面體(12、112)的第一橫向端部表面(16、116)之間是自由的。
2. 按照權利要求l所述的表面加工工具，其特征在于，所述環箍(14、114)與所述緩沖體(13、113)制成一單體件。
3. 按照權利要求1或2所述的表面加工工具，其特征在于，所述環箍(14、114)是由在所述緩沖體(13、113)的周邊通過折疊而折起的邊緣形成。
4. 按照權利要求1至3中任一項所述的表面加工工具，其特征在于，所述環箍(14、114)具有指向所述緩沖體的輪廓呈V形的凹槽(22)。
5. 按照權利要求1或2所述的表面加工工具，其特征在于，所述表面加工工具包括杯形的殼體(60)，所述杯形的殼體的底壁形成所述緩沖體(13、113)，而所述杯形的殼體的側壁形成所述環箍(14、114)。
6. 按照權利要求5所述的表面加工工具，其特征在于，所述界面體(12、112)由模塑在所述殼體(60)上的材料制造。
7. 按照權利要求1至5中任一項所述的表面加工工具，其特征在于，所述環箍(14、114)粘接在所述界面體(12、 112)上。
8. 按照權利要求1或2所述的表面加工工具，其特征在于，所述環箍(14、114)由模塑在所述界面體(12、112)上的材料制造。
9. 按照權利要求1或8所述的表面加工工具，其特征在于，所述界面體(112)包括由可彈性壓縮的材料制造的板(55)，但所述板的剛性大于形成所述界面體(112)的其余部分的主體(56)的剛性，所述板(55)間置于所述緩沖體(113)和所述主體(56)之間。
10. 按照權利要求9所述的表面加工工具，其特征在于，所述主體(56)具有包圍著所述板(55)的周邊部分(57)。
11. 按照權利要求10所述的表面加工工具，其特征在于，所述界面體(112)的所述周邊部分(57)在所述第二橫向端部表面(117)和所述側表面(118)之間具有鈍邊(58)。
12. 按照權利要求1至11中任一項所述的表面平面工具，其特征在于，所述環箍(14、114)的所述自由端部(20、120)和所述第一橫向端部表面(16,116)之間的距離為所述界面體(12、112)的所述第一橫向端部表面(16、116)和所述第二橫向端部表面(17、117)之間距離的30%至70%。
13. 按照權利要求1至12中任一項所述的表面加工工具，其特征在于，所述支持體 (11)、所述界面體(12)和所述緩沖體(13)具有相近的直徑。
14. 按照權利要求1至12中任一項所述的表面加工工具，其特征在于，所述界面體 (112)和所述緩沖體(113)具有比所述支持體(111)的直徑更大的相近的直徑，所述表面 加工工具還包括布置在所述剛性支持體(111)和所述界面體的周邊之間的彈性回動部件 (50)。
全文摘要
本發明涉及一種表面加工的工具，該表面加工工具包括剛性支持體(11)，連接至此剛性支持體的可彈性壓縮的界面體(12)，適合于壓靠工作表面(30)的柔性緩沖體(13)，壓靠并部分覆蓋該界面體(12)的側表面(18)的柔性環箍(14)，該界面體(12)的所述側表面(18)的環形部分(21)在所述環箍(14)和所述支持體(11)之間是自由的。
文檔編號B24B13/02GK101743093SQ200880024772
公開日2010年6月16日 申請日期2008年6月30日 優先權日2007年7月16日
發明者J·斯特凡娜 申請人:埃西勒國際通用光學公司