專利名稱:單/多晶硅棒切割機的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域:
本實用新型涉及切割機領(lǐng)域,特別是一種對單/多晶硅晶棒進行切割的單/多晶 硅棒切割機。
背景技術(shù):
隨著全球各國能源結(jié)構(gòu)的調(diào)整,綠色能源的推廣使硅片市場的供需已極度不平 衡。硅原料的供不應(yīng)求,而切割加工能力的落后和嚴(yán)重不足構(gòu)成了產(chǎn)業(yè)鏈的瓶頸,由此嚴(yán)重 阻礙了太陽能的發(fā)展。現(xiàn)的切割機在對單/多晶硅晶棒進行切段時,特別是對小直徑晶棒進行分段,并 且要求每段尺寸均一,能夠?qū)崿F(xiàn)多品種小直徑規(guī)格晶棒的切割要求,在操作方面能夠方便, 安全,定位可靠,切割尺寸穩(wěn)定等。一般都是將晶棒的一端用工裝置固定,另一端則是沒有 固定,只是將晶棒的下方墊上木塊之類的東西來進行填塞穩(wěn)固,由于木塊與切割機臺面是 不固定的,因此,在切割過程中會出現(xiàn)晶棒移動現(xiàn)象,影響了切割質(zhì)量,特別是在晶棒快要 切斷時,會出現(xiàn)崩邊的情況,切下段時就要把崩邊部分切除,產(chǎn)生廢品,有時甚至?xí)罃囡w 起來打傷工人。另外,現(xiàn)有的切割機在切割刀片上面沒有防塵罩,工人在切割時會有粉塵吸入,影 響健康。
實用新型內(nèi)容為了解決上述問題,本實用新型提供一種單/多晶硅棒切割機。一種單/多晶硅棒切割機,特別是能夠?qū)崿F(xiàn)多品種小直徑規(guī)格晶棒的切割要求的 切割機,包括晶硅固定裝置、切割系統(tǒng)和冷卻系統(tǒng)。所述切割系統(tǒng)包括控制器、砂輪片、電機和連桿;所述晶硅固定裝置包括用于夾緊 晶棒不讓其在切割時發(fā)生移動的固定夾緊工裝,所述固定夾緊工裝可調(diào)整位置地設(shè)置在切 割機的臺面上。所述冷卻系統(tǒng)包括噴嘴、冷卻水回收器和壓力裝置;所述切割系統(tǒng)和冷卻系 統(tǒng)都設(shè)在機架上;另外,工作臺上設(shè)有防塵罩和刻度尺。控制器為手輪,手輪通過連桿與砂輪片連接,手輪上有刻度,根椐晶棒的直徑,確 認(rèn)手輪給進的速度及大約的時間,是利用手輪來控制砂輪片的行進速度來完成晶棒的切 割。控制器還可以是伺服機,根據(jù)晶棒的直徑在控制器上設(shè)定砂輪片的轉(zhuǎn)動速度和給進距罔。防塵罩為一罩體,該罩體為C型防塵罩,罩體的兩側(cè)對稱設(shè)有通孔,該通孔用以通 過晶棒進行切割,切割時沿砂輪片切線飛出的晶硅粉未和水就會被防塵罩擋住不會拋到外 面影響工人的健康和污染環(huán)境。冷卻系統(tǒng)通過冷卻水回收器將嘴出的水回收,通過壓力裝置將回收水通過噴嘴再 噴出,使水循環(huán)使用節(jié)約水資源。本實用新型能達到如下效果1.操作簡單,晶棒切割時尺寸穩(wěn)定;2.機械工裝保證了,加工產(chǎn)品時,晶棒不會飛出傷害到操作人員;[0016]3.減少切割時,產(chǎn)生的粉塵對人體的傷害。
圖1為本實用新型的切割時的示意圖;圖2為本實用新型的另一側(cè)視圖;圖3為本實用新型的另一示意圖。
具體實施方式
以下結(jié)合附圖來說明本實用新型。請參閱圖1至圖3,一種單/多晶硅棒切割機,包括晶硅固定裝置、切割系統(tǒng)和冷卻 系統(tǒng)。所述切割系統(tǒng)可以包括控制器、砂輪片9、電機4和連桿18。由于切割系統(tǒng)是現(xiàn)有 技術(shù),上述結(jié)構(gòu)僅是舉例之用,在此就不再詳細(xì)說明。晶硅固定裝置包括第一固定夾緊工裝111、第二固定夾緊工裝112、第三固定夾緊 工裝113、第四固定夾緊工裝114。第一固定夾緊工裝111、第二固定夾緊工裝112、第三固定 夾緊工裝113、第四固定夾緊工裝114裝置設(shè)在切割機的工作臺1上。并且,本實例中第一 固定夾緊工裝111、第二固定夾緊工裝112、第三固定夾緊工裝113、第四固定夾緊工裝114 可以是活動地設(shè)置在工作臺1。也就是說,第一固定夾緊工裝111、第二固定夾緊工裝112、 第三固定夾緊工裝113、第四固定夾緊工裝114它們之間的位置是可以調(diào)整的,實現(xiàn)這種功 能的結(jié)構(gòu)非常多,比如,通過在臺面上不同的距離設(shè)上一些定位孔,螺絲從定位孔中將固定 夾緊工裝與臺面緊固的方式,通過這種方式,來達到調(diào)整它們之間距離的效果,上述的結(jié)構(gòu) 僅為舉例之用,并非用于限定本實用新型。在本實例中,第一固定夾緊工裝111、第二固定夾緊工裝112設(shè)在砂輪片9的左側(cè), 第三固定夾緊工裝113、第四固定夾緊工裝114設(shè)在砂輪片9的右側(cè)。所述冷卻系統(tǒng)包括朝向砂輪片9的噴嘴6、冷卻水回收器7和壓力裝置(未示), 所述切割系統(tǒng)和冷卻系統(tǒng)都設(shè)在機架2上。壓力裝置的一端與噴嘴6相連,另一端放在冷 卻水回收器7中。另外,工作臺1上設(shè)有防塵罩12和刻度尺13,防塵罩12上設(shè)置一用于穿設(shè)過晶棒 8的通孔14。機架2的下端設(shè)有腳輪5。并且,防塵罩12設(shè)置在砂輪片9切割硅棒8時伸 出臺面的位置實施例1根據(jù)晶棒8的尺寸選擇合適的砂輪片9,調(diào)整所有的固定夾緊工裝,檢查冷卻系統(tǒng) 是否完好,將晶棒8穿過防塵罩12的通孔14,利用刻度尺13量好需要切割的長度,將第一 固定夾緊工裝111和第二固定夾緊工裝112分別固定住被切下部分的兩端,第三固定夾緊 工裝113和第四固定夾緊工裝114分別固定住晶棒8的剩余部分的兩端,固定完成后,打開 冷卻系統(tǒng),從噴嘴6中向砂輪片9噴水進行冷卻,搖動手輪3,通過連桿18將砂輪片向晶棒 9方向移動,真至將晶棒切割完成。實施例2控制器為伺服機(圖中未示),伺服機通過控制器6進行設(shè)定砂輪的轉(zhuǎn)數(shù)與行程,伺服機控制連桿的行程。根據(jù)晶棒8的尺寸選擇合適的砂輪片9,調(diào)整固定夾緊工裝,檢查冷卻系統(tǒng)是否完 好,將晶棒8穿過防塵罩12的通孔14,利用刻度尺13量好需要切割的長度,將第一固定夾 緊工裝111和第二固定夾緊工裝112分別固定住被切下部分的兩端,第三固定夾緊工裝113 和第四固定夾緊工裝114分別固定住晶棒8的剩余部分的兩端,固定完成后,打開冷卻系 統(tǒng),從噴嘴6中向砂輪片9噴水進行冷卻,伺服機根據(jù)事先設(shè)定的行程,通過連桿18將砂輪 片向晶棒方向移動,直至將晶棒切割完成。上面結(jié)合附圖對本實用新型的一個較佳實施例進行了詳細(xì)說明,但本實用新型并 不限制于上述實施例,在不脫離本申請的權(quán)利要求的精神和范圍情況下,本領(lǐng)域的技術(shù)人 員可以作出各種修改和改型。
權(quán)利要求一種單/多晶硅棒切割機,包括用于切割晶硅的切割系統(tǒng)及冷卻系統(tǒng),其特征在于,還包括晶硅固定裝置,所述晶硅固定裝置包括用于夾緊晶棒不讓其在切割時發(fā)生移動的固定夾緊工裝,所述固定夾緊工裝可調(diào)整位置地設(shè)置在切割機的臺面上。
2.如權(quán)利要求1所述的單/多晶硅棒切割機,其特征在于,切割系統(tǒng)包括用于切割晶硅 的砂輪片,固定夾緊工裝包括第一固定夾緊工裝、第二固定夾緊工裝、第三固定夾緊工裝和 第四固定夾緊工裝,并且,第一固定夾緊工裝、第二固定夾緊工裝、第三固定夾緊工裝和第 四固定夾緊工裝分別設(shè)置在砂輪片的兩側(cè)。
3.如權(quán)利要求2所述的單/多晶硅棒切割機,其特征在于,冷卻系統(tǒng)包括用以向砂輪片 噴水降溫的噴嘴,噴嘴的噴頭方向朝向砂輪片。
4.如權(quán)利要求1所述的單/多晶硅棒切割機,其特征在于,在臺面上還設(shè)有C型防塵 罩,該防塵罩的兩側(cè)各開有一通孔。
專利摘要一種單/多晶硅棒切割機,該切割機包括晶棒固定裝置、切割系統(tǒng)和冷卻系統(tǒng),所述切割系統(tǒng)包括控制器、砂輪片、電機和連桿;所述晶棒固定裝置包括若干固定夾緊工裝,固定夾緊工裝分別設(shè)在砂輪片的左右兩側(cè),固定夾緊工裝置設(shè)在工作臺上,所述冷卻系統(tǒng)包括噴嘴、冷卻水回收器和壓力裝置,所述切割系統(tǒng)和冷卻系統(tǒng)都設(shè)在機架上;另外,工作臺上設(shè)有防塵罩和刻度尺,利用固定夾緊工裝分別將晶棒的待切部分和切除部分固定,利用手輪推動砂輪片向上行進將晶棒切割,工作臺上還設(shè)有防塵罩,避免工作操作時吸入粉塵,設(shè)有冷卻系統(tǒng)可提高晶棒的切割質(zhì)量和延長砂輪片的使用壽命。
文檔編號B24B55/02GK201677411SQ200920287130
公開日2010年12月22日 申請日期2009年12月31日 優(yōu)先權(quán)日2009年12月31日
發(fā)明者夏孝平, 賀賢漢 申請人:上海漢虹精密機械有限公司