專利名稱：大尺寸超薄石英玻璃片雙面拋光加工方法
技術領域：
本發明涉及一種石英玻璃片的加工方法，特別是一種大尺寸超薄石英玻璃片雙面拋光加工方法。
背景技術：
隨著科技的快速發展，精密機械行業所用的閥片，油泵葉片，氣缸活塞環，鋼型密封圈等金屬件的雙面拋光研磨及光電行業所需的硅、鍺、石英晶體等硬脆性非金屬件的雙面研磨拋光需求急速增長，為適應此需要，機械制造業生產了各種規格型號的游星式雙面研磨拋光機，滿足了上述所求。金屬件因有剛性，再薄再大也不會損壞，而晶體等硬脆性物質直徑有幾毫米到100毫米左右，厚度均在Imm以上，因此不存在工藝操作問題，但在加工超薄石英玻璃片的研磨拋光片中損壞率特別高，為此需摸索一套特殊的工藝操作程序。

發明內容
本發明所要解決的技術問題是針對現有技術的不足，提供一種工藝更為合理、有效提高成品率、可操作性強的大尺寸超薄石英玻璃片雙面拋光加工方法。本發明所要解決的技術問題是通過以下的技術方案來實現的。本發明是一種大尺寸超薄石英玻璃片雙面拋光加工方法，其特點是該方法適用于直徑Φ為100-200mm，厚度為0. 2-0. 5mm的石英玻璃片的研磨拋光；
(1)在進行工件加工之前對工件進行清洗，除去上道加工中留下的粗粒度磨料，且對磨料進行定期過濾，除去玻璃碎屑和粗粒度(比本工藝標準技術要求的粒度粗的磨料)磨料；
(2)細磨和拋光在相同機型的雙面研磨拋光機上進行，將雙面細磨后的加工件全數轉入雙面拋光，不同次加工的細磨件不能同一次進行拋光；
(3)研磨時研磨壓力為0.01-0. 03Mpa，轉數為6-8/min，每件石英玻璃片的研磨時間為 50-80 min ；
(4)當研磨過程中，保持雙面研磨拋光機的游星輪平整，當游星輪受熱變形時，將其置于電熱板上加溫到110-120°C，上面壓平模或平板8-10小時，將游星輪處理平整；
(5)工件加工后使用超聲波清洗，清洗最后放在質量比為1:1的酒精與乙醚混合液中浸泡2-3分鐘，即可。本發明中所述的雙面研磨拋光機可以為現在技術中公開的常用雙面研磨拋光機。本發明工藝是根據光學玻璃研磨拋光原理，即研磨拋光的質量及效率與被加工件受到的壓力、磨盤的轉數等而研發的操作工藝，從而在雙面研磨拋光機上可以對超薄大平面石英片進行研磨拋光，保證了被加工件的高成品率，提高了效率。經實驗表明，本發明工藝的成品率可達97%左右。
具體實施例方式以下進一步描述本發明的具體技術方案，以便于本領域的技術人員進一步地理解本發明，而不構成對其權利的限制。實施例1，一種大尺寸超薄石英玻璃片雙面拋光加工方法，該方法適用于直徑Φ 為100-200mm，厚度為0. 2-0. 5mm的石英玻璃片的研磨拋光；
(1)在進行工件加工之前對工件進行清洗，除去上道加工中留下的粗粒度磨料，且對磨料進行定期過濾，除去玻璃碎屑和粗粒度磨料；
(2)細磨和拋光在相同機型的雙面研磨拋光機上進行，將雙面細磨后的加工件全數轉入雙面拋光，不同次加工的細磨件不能同一次進行拋光；
(3)研磨時研磨壓力為0.OlMpa，轉數為6/min，每件石英玻璃片的研磨時間為50 min ；
(4)當研磨過程中，保持雙面研磨拋光機的游星輪平整，當游星輪受熱變形時，將其置于電熱板上加溫到110°C，上面壓平模或平板8-10小時，將游星輪處理平整；
(5)工件加工后使用超聲波清洗，清洗最后放在質量比為1:1的酒精與乙醚混合液中浸泡2分鐘，即可。實施例2，一種大尺寸超薄石英玻璃片雙面拋光加工方法，該方法適用于直徑Φ 為100-200mm，厚度為0. 2-0. 5mm的石英玻璃片的研磨拋光；
(1)在進行工件加工之前對工件進行清洗，除去上道加工中留下的粗粒度磨料，且對磨料進行定期過濾，除去玻璃碎屑和粗粒度磨料；
(2)細磨和拋光在相同機型的雙面研磨拋光機上進行，將雙面細磨后的加工件全數轉入雙面拋光，不同次加工的細磨件不能同一次進行拋光；
(3)研磨時研磨壓力為0.03Mpa，轉數為8/min，每件石英玻璃片的研磨時間為80 min ；
(4)當研磨過程中，保持雙面研磨拋光機的游星輪平整，當游星輪受熱變形時，將其置于電熱板上加溫到120°C，上面壓平模或平板8-10小時，將游星輪處理平整；
(5)工件加工后使用超聲波清洗，清洗最后放在質量比為1:1的酒精與乙醚混合液中浸泡3分鐘，即可。實施例3，一種大尺寸超薄石英玻璃片雙面拋光加工方法，該方法適用于直徑Φ 為100-200mm，厚度為0. 2-0. 5mm的石英玻璃片的研磨拋光；
(1)在進行工件加工之前對工件進行清洗，除去上道加工中留下的粗粒度磨料，且對磨料進行定期過濾，除去玻璃碎屑和粗粒度磨料；
(2)細磨和拋光在相同機型的雙面研磨拋光機上進行，將雙面細磨后的加工件全數轉入雙面拋光，不同次加工的細磨件不能同一次進行拋光；
(3)研磨時研磨壓力為0.02Mpa，轉數為7/min，每件石英玻璃片的研磨時間為65 min ；
(4)當研磨過程中，保持雙面研磨拋光機的游星輪平整，當游星輪受熱變形時，將其置于電熱板上加溫到115°C，上面壓平模或平板8-10小時，將游星輪處理平整；
(5)工件加工后使用超聲波清洗，清洗最后放在質量比為1:1的酒精與乙醚混合液中浸泡2分鐘，即可。
權利要求
1. 一種大尺寸超薄石英玻璃片雙面拋光加工方法，其特征在于該方法適用于直徑φ 為100-200mm，厚度為0. 2-0. 5mm的石英玻璃片的研磨拋光；(1)在進行工件加工之前對工件進行清洗，除去上道加工中留下的粗粒度磨料，且對磨料進行定期過濾，除去玻璃碎屑和粗粒度磨料；(2)細磨和拋光在相同機型的雙面研磨拋光機上進行，將雙面細磨后的加工件全數轉入雙面拋光，不同次加工的細磨件不能同一次進行拋光；(3)研磨時研磨壓力為0.01-0. 03Mpa，轉數為6-8/min，每件石英玻璃片的研磨時間為 50-80 min ；(4)當研磨過程中，保持雙面研磨拋光機的游星輪平整，當游星輪受熱變形時，將其置于電熱板上加溫到110-120°C，上面壓平模或平板8-10小時，將游星輪處理平整；(5)工件加工后使用超聲波清洗，清洗最后放在質量比為1:1的酒精與乙醚混合液中浸泡2-3分鐘，即可。
全文摘要
本發明是一種大尺寸超薄石英玻璃片雙面拋光加工方法，該方法適用于直徑Φ為100-200mm，厚度為0.2-0.5mm的石英玻璃片的研磨拋光；工件加工之前對工件進行清洗，細磨和拋光在相同機型的雙面研磨拋光機上進行；研磨時研磨壓力為0.01-0.03Mpa，轉數為6-8/min，每件石英玻璃片的研磨時間為50-80min；當研磨過程中，保持雙面研磨拋光機的游星輪平整；工件加工后使用超聲波清洗，清洗最后放在質量比為11的酒精與乙醚混合液中浸泡2-3分鐘，即可。本發明工藝保證了被加工件的高成品率，提高了效率，其成品率可達97%左右。
文檔編號B24B37/08GK102528645SQ20121003369
公開日2012年7月4日 申請日期2012年2月15日 優先權日2012年2月15日
發明者劉夢云, 王曉東, 蔡桂芳, 費立格 申請人:蔡桂芳