專利名稱：成膜裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種在被成膜材料上進(jìn)行成膜材料的成膜的成膜裝置。
背景技術(shù)：
作為這個(gè)領(lǐng)域的技術(shù)，以往已知有下述專利文獻(xiàn)I中記載的成膜裝置。該成膜裝置為在真空容器內(nèi)容納被成膜材料并在被成膜材料表面進(jìn)行成膜材料的成膜的裝置。專利文獻(xiàn)I :日本特開2007-217767號(hào)公報(bào)這種成膜裝置中，為了控制被成膜材料在真空容器內(nèi)的移動(dòng)，需要檢測在預(yù)定位置上有無被成膜材料。作為這種檢測構(gòu)件可想到，例如對(duì)載置被成膜材料的托盤等照射光來進(jìn)行檢測的類型的傳感器等。但是，將這種類型的傳感器配置在真空容器的外側(cè)而利用 時(shí)，需要至少在真空容器的壁上設(shè)置透射感測光的透射部。可是，真空容器中漂浮著成膜材料因此透射部上也有可能附著成膜材料。并且,成膜材料附著并沉積于透射部，由此失去該透射部的透光性，有無法確保基于傳感器的檢測功能的情況。

發(fā)明內(nèi)容
鑒于上述問題本發(fā)明的目的在于，提供一種能夠確保檢測有無被成膜材料的檢測功能的成膜裝置。本發(fā)明的成膜裝置在被成膜材料上進(jìn)行成膜材料的成膜，其特征在于，具備有成膜室，容納被成膜材料并進(jìn)行成膜處理；傳送構(gòu)件，設(shè)置在成膜室的內(nèi)部，傳送被成膜材料；窗部，設(shè)置在劃分成膜室的壁部且具有透射光的透射部，可實(shí)現(xiàn)光從成膜室的外部向內(nèi)部的投射；檢測構(gòu)件，設(shè)置在成膜室的外部，使感測光透射窗部的透射部來投射，從而檢測成膜室的內(nèi)部有無被成膜材料；及沉積抑制構(gòu)件，抑制成膜材料向透射部的沉積。該成膜裝置中，通過沉積抑制構(gòu)件抑制成膜材料向透射部的沉積，因此能夠抑制因沉積的成膜材料引起的感測光的透射狀態(tài)惡化，其結(jié)果，能夠確保檢測有無被成膜材料的檢測功能。并且，具體而言，沉積抑制構(gòu)件可使附著于透射部的成膜材料蒸發(fā)，并且抑制成膜材料向透射部的附著。更具體而言，沉積抑制構(gòu)件可具備加熱透射部的加熱部。根據(jù)該結(jié)構(gòu)，能夠加熱附著于透射部的成膜材料并使之蒸發(fā)來抑制附著。另外，加熱部可設(shè)置在比壁部更靠成膜室的內(nèi)部的一側(cè)。若在比壁部更靠內(nèi)部的一側(cè)設(shè)置加熱部，則能夠抑制加熱所涉及的透射部周圍結(jié)構(gòu)的復(fù)雜化。并且，作為具體結(jié)構(gòu)可設(shè)為如下窗部具備筒狀部，所述筒狀部設(shè)置在比壁部更靠成膜室的內(nèi)部的一側(cè)，并且使感測光通過空心部，在筒狀部的空心部設(shè)置有透射部，加熱部被設(shè)置為包圍筒狀部的端部的側(cè)面和透射部。根據(jù)該結(jié)構(gòu)，加熱部的熱通過筒狀部有效地傳遞至透射部。并且，加熱部可設(shè)置在比壁部更靠成膜室的外部的一側(cè)。若將加熱部設(shè)置在比壁部更靠外部的一側(cè)，則能夠節(jié)省成膜室內(nèi)的空間。并且，作為具體結(jié)構(gòu)可設(shè)為如下窗部具備筒狀部，所述筒狀部設(shè)置在比壁部更靠成膜室的外部的一側(cè)，并且使感測光通過空心部，在筒狀部的空心部設(shè)置有透射部，加熱部被設(shè)置為包圍筒狀部的端部的側(cè)面和透射部。根據(jù)該結(jié)構(gòu)，加熱部的熱通過筒狀部有效地傳遞至透射部。并且，作為具體結(jié)構(gòu)可設(shè)為如下窗部具備筒體，所述筒體設(shè)置在比透射部更靠成膜室的內(nèi)部的一側(cè)且具有使感測光通過的空心部；及第2透射部，設(shè)置在空心部內(nèi)，透射感測光，透射部通過筒體和第2透射部而與漂浮有成膜材料的空間隔開，第2透射部被設(shè)置為可相對(duì)于筒體自如地裝卸。這時(shí)，第2透射部作為沉積抑制構(gòu)件發(fā)揮作用。并且，由于第2透射部從筒 體裝卸自如，因此即使在第2透射部沉積有成膜材料時(shí)，也能夠輕松更換第2透射部，并能夠確保感測光的透射狀態(tài)。并且，成膜材料可為硒。硒具有較厚地附著于透射部的性質(zhì)，并且附著時(shí)光的透射度也較低，因此容易阻礙光在透射部中的透射。因此，當(dāng)成膜材料為硒時(shí)，上述沉積抑制構(gòu)件的必要性尤其高。發(fā)明效果根據(jù)本發(fā)明的成膜裝置，能夠確保檢測有無被成膜材料的檢測功能。


圖I是從側(cè)方觀察本發(fā)明的第I實(shí)施方式所涉及的成膜裝置的截面圖。圖2是從上方觀察圖I的成膜裝置的截面圖。圖3是說明圖I的成膜裝置中進(jìn)行的多元蒸鍍法的圖。圖4是具備CIGS發(fā)電層的CIGS太陽能電池的截面圖。圖5是進(jìn)行基于靜止成膜方法的多元蒸鍍法的成膜裝置的截面圖。圖6是從側(cè)方觀察本發(fā)明的第2實(shí)施方式所涉及的成膜裝置的截面圖。圖7是從上方觀察圖6的成膜裝置的截面圖。圖8是從側(cè)方觀察本發(fā)明的第3實(shí)施方式所涉及的成膜裝置的截面圖。圖9是從上方觀察圖8的成膜裝置的截面圖。圖中1、201、301_成膜裝置，2-成膜室，3-腔室，3a_壁，5-托盤，7-傳送裝置(傳送構(gòu)件)，11-移動(dòng)式傳感器(檢測構(gòu)件)，13、213、313-視口(窗部)，21-玻璃隔板，23、223-筒狀部，23a、223a-筒狀部的空心部，27,227-防粘玻璃(透射部)，31、231、331_加熱器(加熱部、沉積抑制構(gòu)件)，327-防粘玻璃(第2透射部)，351-筒體，351a-筒體的空心部，W-工件(被成膜材料)。
具體實(shí)施例方式以下，參考附圖對(duì)本發(fā)明所涉及的成膜裝置的優(yōu)選實(shí)施方式進(jìn)行詳細(xì)說明。另外，必要時(shí)，如各圖所示，設(shè)定將Z軸作為鉛垂軸且XY平面作為水平面的XYZ坐標(biāo)系，將X、Y、Z方便地使用于簡單說明中。并且，使Z方向朝上并將包括“上”、“下”的概念的詞語使用于說明中。(第I實(shí)施方式)
圖I及圖2所示的成膜裝置I為如下裝置其具備有將真空的成膜室2劃分在內(nèi)部的腔室3，通過多元蒸鍍法(MSD)對(duì)容納在成膜室2的工件(被成膜材料)W實(shí)施以硒等作為成膜材料的成膜處理。例如，成膜裝置I以在作為太陽能電池的材料的玻璃基板上成膜硒蒸鍍膜的用途使用。如圖3所示，在成膜室2內(nèi)傳送實(shí)施掩模的工件W的同時(shí)進(jìn)行本實(shí)施方式的成膜裝置I中進(jìn)行的多元蒸鍍法。如附圖所示，在成膜裝置I的成膜室2內(nèi)，在工件W的傳送路上方配置有加熱器44。另外，工件W的傳送路的下方，2個(gè)硒蒸鍍?cè)磫卧?5、45向Y方向排列而設(shè)置。硒蒸鍍?cè)磫卧?5、45中連接有設(shè)置在成膜室2外的硒蒸鍍?cè)?5a。并且，硒蒸鍍?cè)磫卧?5、45的下方設(shè)置有其他蒸鍍物質(zhì)(銅、銦、鎵)的蒸鍍?cè)?6、47、48。另外，在圖3中，蒸鍍?cè)?6、47、48向與紙面垂直的Y方向排列因此看起來重疊，但從平面觀察，在2個(gè)硒蒸鍍?cè)磫卧?5、45之間，向Y方向依次排列有蒸鍍?cè)?6、47、48。載置工件W的托盤5上設(shè)置有開口部(未圖示)，從硒蒸鍍?cè)磫卧?5及蒸鍍?cè)?6、47、48產(chǎn)生的蒸鍍物質(zhì)通過上述開口部主要蒸鍍?cè)诠ぜ的下表面，并在工件W上形成硒蒸鍍膜。如圖I及圖2所示，成膜裝置I的成膜室2內(nèi)設(shè)置有托盤5，為了在成膜室2內(nèi)移動(dòng)上述工件W，在上表面載置工件W并進(jìn)行移動(dòng)；及傳送裝置7，傳送該托盤5。傳送裝置7將馬達(dá)作為動(dòng)力源是公知的，在成膜室2內(nèi)，能夠向Y方向連續(xù)傳送向Y方向排列的多個(gè)托盤5。在托盤5的傳送下游存在可開閉的門扇，所述門扇有來自成膜室2的出口并用于控制成膜室2內(nèi)的壓力。例如，為了控制該門扇開閉的時(shí)刻等，需要檢測托盤5是否到達(dá)了預(yù)定的位置，甚至檢測工件W是否存在于預(yù)定的位置。因此，成膜裝置I具備有檢測托盤5是否存在于成膜室2內(nèi)的預(yù)定位置上的檢測構(gòu)件。該檢測構(gòu)件具備有設(shè)置在成膜室2的外部的移動(dòng)式傳感器(檢測構(gòu)件)11和使從該移動(dòng)式傳感器11射出的感測光通過并引導(dǎo)于成膜室2的內(nèi)部的視口(窗部)13。通過視口 13的存在，可實(shí)現(xiàn)從成膜室2的外部的移動(dòng)式傳感器11向成膜室2內(nèi)部的透射。移動(dòng)式傳感器11及視口 13設(shè)置在腔室3的隔壁中與YZ平面平行的壁3a。從移動(dòng)式傳感器11朝向成膜室2的內(nèi)部射出的感測光通過視口 13向X方向射出。該感測光的光軸以符號(hào)“A”圖示。具有如下位置關(guān)系在與壁3a對(duì)置的壁3d上設(shè)置有位于光軸A上的視口 13’及受光部17，上述感測光透射視口 13’入射至受光部17。雖然省略了視口 13’的詳細(xì)圖示，但視口 13’可具有與視口 13相同的結(jié)構(gòu)。通過感測光入射于上述受光部17，從而可識(shí)別在移動(dòng)式傳感器11與受光部17之間的預(yù)定位置不存在托盤5。并且，成膜室2內(nèi)的預(yù)定位置存在托盤5時(shí)，托盤5的遮光部5a位于光軸A并遮擋上述感測光，由此感測光不會(huì)入射于受光部17，可識(shí)別在預(yù)定位置存在托盤5。接著，對(duì)上述視口 13進(jìn)行更詳細(xì)的說明。以下，在視口 13的構(gòu)成要件的說明中，有時(shí)將成膜室2的內(nèi)部的一側(cè)(在圖I、圖2中為左側(cè))作為“前”并將成膜室2的外部的一側(cè)(在圖I、圖2中為右側(cè))作為“后”來在位置關(guān)系的說明中使用“前”、“后”的詞語。視口 13具備有隔開成膜室2的真空與外部的大氣的透明的玻璃隔板21。玻璃隔板21通過0型圈21a固定于壁3a的外側(cè)且位于光軸A上,透射感測光。玻璃隔板21為例 如厚度6mm以上的透明的耐熱玻璃。另外，視口 13在玻璃隔板21的前方具備有位于比壁3a更靠成膜室2的內(nèi)部的一側(cè)的SUS制筒狀部23。光軸A通過筒狀部23的空心部23a。筒狀部23的后端側(cè)埋入于壁3a，在筒狀部23的前端側(cè)，位于光軸A上的防粘玻璃(透射部)27嵌入于空心部23a內(nèi)。防粘玻璃27透射感測光。另外，筒狀部23的上部設(shè)置有連通孔23b，因此空心部23a內(nèi)與成膜室2相同地也成為真空。通過以上視口 13的結(jié)構(gòu)，從移動(dòng)式傳感器11射出的感測光透射玻璃隔板21，通過空心部23a，并且通過防粘玻璃27照射至成膜室2內(nèi)。成膜室2中漂浮著成膜材料，若在如玻璃隔板21或防粘玻璃27之類的透明部件上附著并沉積成膜材料，則感測光的透射狀態(tài)惡化，導(dǎo)致無法檢測有無托盤5。該成膜裝置I中，通過在玻璃隔板21的前方設(shè)置防粘玻璃27，抑制成膜材料向玻璃隔板21的沉積，但是這時(shí)，成膜材料向防粘玻璃27的附著或沉積產(chǎn)生同樣的問題。因此，期望抑制成膜材料向防粘玻璃27的沉積的構(gòu)件。尤其在成膜裝置I中作為成膜材料使用的硒，具有較厚地附著于防粘玻璃27等的性質(zhì)，并且，附著時(shí)光的透射度也較低，因此容易阻礙光在防粘玻璃27中的透射。因此，使用硒作為成膜材料時(shí)，抑制沉積的必要性尤其高。因此，成膜裝置I的視口 13具備有用于加熱防粘玻璃27的加熱器(加熱部、沉積抑制構(gòu)件)31。加熱器31卷繞在筒狀部23的前端側(cè)的側(cè)面的周圍。并且，通過從供電部 33向加熱器31供電，加熱筒狀部23來間接地加熱防粘玻璃27。加熱器31以包圍筒狀部23側(cè)面與防粘玻璃27的方式設(shè)置，因此加熱器31的熱有效地傳遞至防粘玻璃27。並且，筒狀部23為SUS制，這也成為提高傳熱效率的主因。另外，以包圍加熱器31周圍的方式設(shè)置有反射來自加熱器31的放射熱的反射板35，其進(jìn)一步提高向防粘玻璃27的傳熱效率。根據(jù)該結(jié)構(gòu)，防粘玻璃27被加熱，因此附著于防粘玻璃27的成膜材料通過防粘玻璃27的熱而升華(蒸發(fā))。并且，想要附著于防粘玻璃27的成膜材料也在附著后升華，因此，成膜材料向防粘玻璃27的附著本身被抑制。因此，能夠抑制成膜材料向防粘玻璃27的沉積，并能夠抑制因沉積的成膜材料引起的感測光的透射狀態(tài)惡化。其結(jié)果，能夠確保移動(dòng)式傳感器11的檢測功能，可準(zhǔn)確地控制工件W的傳送。另外，為了得到這種作用效果，想到硒的蒸發(fā)溫度(120°C )，防粘玻璃27的加熱溫度設(shè)為約150°C。并且，使用其他成膜材料時(shí)，考慮該成膜材料的蒸發(fā)溫度來適當(dāng)設(shè)定防粘玻璃27的加熱溫度即可。并且，由于加熱器31、筒狀部23及防粘玻璃27設(shè)置于比壁3a更靠成膜室2的內(nèi)部的一側(cè)的位置，因此在視口 13中真空密封成膜室2的結(jié)構(gòu)也不會(huì)變得復(fù)雜，能夠抑制組件件數(shù)的增加。在此，作為用于確保感測光的透射狀態(tài)的其他結(jié)構(gòu)，也可想到省略防粘玻璃27，設(shè)置加熱玻璃隔板21的加熱構(gòu)件的結(jié)構(gòu)。但是，由于玻璃隔板21為從大氣密封真空的成膜室2的玻璃，因此通過0型圈21a來安裝。因此，采用加熱玻璃隔板21的結(jié)構(gòu)時(shí)，為了避免因0型圈21a的熱劣化引起的密封功能的劣化，需要采用由熱劣化較少的材質(zhì)構(gòu)成的特殊的0型圈21a。若采用這種特殊的0型圈21a，則能夠直接加熱玻璃隔板21來抑制成膜材料向玻璃隔板21的附著，并能夠省略防粘玻璃27或其周圍的構(gòu)成要件來減少組件件數(shù)。與此相對(duì)，上述的成膜裝置I設(shè)為如下結(jié)構(gòu)，為了不設(shè)置如上述的特殊的0型圈，將防粘玻璃27設(shè)置在玻璃隔板21的前方，在防粘玻璃27與玻璃隔板21之間形成成膜材料稀薄的空間(空心部23a)之后，加熱防粘玻璃27。由于防粘玻璃27不是壓力互不相同的空間彼此的隔板且不需要0型圈，因此即使加熱防粘玻璃27也不會(huì)發(fā)生如0型圈劣化之類的問題。以上說明的成膜裝置I作為優(yōu)選的一應(yīng)用例，例如在CIGS太陽能電池的CIGS發(fā)電層的成膜中使用。圖4中示出CIGS太陽能電池的一例。如該圖所示，CIGS太陽能電池70以在鈉鈣玻璃71上依次成膜并層疊Mo里面電極72、CIGS發(fā)電層73、緩沖層74及透明導(dǎo)電膜75而成。Mo里面電極72通過濺射法成膜，CIGS發(fā)電層73通過硒化法或多元蒸鍍法成膜，緩沖層74通過濺射法成膜，透明導(dǎo)電膜75通過RPD法、濺射法或CVD法成膜。其中，CIGS發(fā)電層73的成膜利用多元蒸鍍法通過成膜裝置I進(jìn)行。另外，除了利用成膜裝置I的方法之外，作為一般的其他多元蒸鍍法還有無需傳送工件而使之靜止來進(jìn)行的靜止成膜法。如圖5所示，靜止成膜方法，在成膜裝置51的成膜室52內(nèi)設(shè)置實(shí)施掩模的工件W來進(jìn)行。例如，在成膜室52內(nèi)，在工件W的上方依次配置溫度傳感器53及加熱器54,在工件W的下方依次配置具有開口部56a的開口板56及擋板
58。并且,在擋板的下方配置第I 第n蒸鍍?cè)?0a、60b、60c、......。在生成硒蒸鍍膜時(shí)，
第I 第n蒸鍍?cè)?成膜材料)應(yīng)用銅、銦、鎵及硒。由于多元蒸鍍法為公知的方法，因此省略更詳細(xì)的說明。 (第2實(shí)施方式)圖6及圖7所示的成膜裝置201具備有視口 213來代替上述成膜裝置I中的視口13。以下，在成膜裝置201中，對(duì)與前述的成膜裝置I相同或相等的構(gòu)成部分附加相同的符號(hào)來省略重復(fù)的說明。視口 213具有貫穿腔室3的壁3a的防粘管251。光軸A通過防粘管251的空心部251a。防粘管251的后端部的正后方設(shè)置有防粘玻璃(透射部)227。另外，視口 213具備有設(shè)置在防粘管251的后方的SUS制筒狀部(筒狀部)223。防粘玻璃227在筒狀部223的前端部嵌入于空心部223a。并且，在筒狀部223的后方設(shè)置玻璃隔板221，該玻璃隔板221的后方設(shè)置有移動(dòng)式傳感器11。根據(jù)以上視口 213的結(jié)構(gòu)，從移動(dòng)式傳感器11射出的感測光透射玻璃隔板221，并通過筒狀部223的空心部223a，透射防粘玻璃227，并通過防粘管251的空心部251a照射至成膜室2的內(nèi)部。另外，與成膜裝置I (圖I)相同，在與壁3a對(duì)置的壁3d上設(shè)置有位于光軸A上的視口 13’及受光部17，但省略其圖示。并且，由于在該成膜裝置201中，防粘管251的空心部251a暴露在成膜室2內(nèi)的成膜材料中，因此，成膜材料附著在空心部251a的內(nèi)壁面。因此，以定期更換防粘管251的方式運(yùn)用，以免附著沉積于空心部251a的成膜材料遮擋感測光。另外，視口 213具備有用于加熱防粘玻璃227的加熱器(加熱部、沉積抑制構(gòu)件)231。加熱器231卷繞在筒狀部223的前端側(cè)的側(cè)面的周圍。并且，通過從供電部233向加熱器231供電，加熱筒狀部223來間接地加熱防粘玻璃227。由于加熱器231以包圍筒狀部223側(cè)面與防粘玻璃227的方式設(shè)置，因此加熱器231的熱有效地傳遞至防粘玻璃227。并且，筒狀部223為SUS制，這也成為提高傳熱效率的主因。另外，以包圍加熱器231的周圍的方式設(shè)置有反射來自加熱器231的放射熱的反射板235，其進(jìn)一步提高向防粘玻璃227的傳熱效率。并且，這種視口 213的結(jié)構(gòu)中，由于筒狀部223、防粘玻璃227及加熱器231設(shè)置在成膜室2的外部，因此用于容納這些的真空殼體部253從壁3a向外側(cè)突出而設(shè)置。玻璃隔板221通過0型圈221a安裝于真空殼體部253的后端部，從大氣密封真空的成膜室2。為了抑制因加熱器231的熱引起的0型圈221a的劣化，冷卻真空殼體253的后端部，為此使冷卻水流動(dòng)的冷卻水路253a設(shè)置在真空殼體部253的后端部。
成膜裝置201中，通過加熱器231加熱防粘玻璃227，由此發(fā)揮與前述的成膜裝置I相同的作用效果。即，能夠抑制感測光的透射狀態(tài)惡化，并能夠確保移動(dòng)式傳感器11的檢測功能，可準(zhǔn)確地控制工件W的傳送。并且，采用將筒狀部223、防粘玻璃227及加熱器231設(shè)置在比壁3a更靠成膜室2的外部的一側(cè)的結(jié)構(gòu)，因此能夠節(jié)省成膜室2的內(nèi)部空間。另夕卜，在已有的成膜裝置追加視口時(shí)，即使成膜室2的內(nèi)部沒有額外空間的情況下也能夠在壁3a的外側(cè)安裝視口 213的上述各要件。(第3實(shí)施方式)如圖8及圖9所示的成膜裝置301具備有視口 313來代替上述成膜裝置I中的視口 13。以下，在成膜裝置301中，對(duì)與前述的成膜裝置1、201相同或相等的構(gòu)成部分附加相同的符號(hào)而省略重復(fù)的說明。視口 313具備有設(shè)置在玻璃隔板21的前方的防粘管(筒體)351。光軸A通過防粘管351的空心部351a。防粘管351的后端側(cè)插入于形成在壁3a的貫穿孔3b。在防粘管 351的長邊方向中央部裝卸自如地安裝有防粘玻璃(第2透射部)327。例如，成為在防粘管351形成從上方插入與YZ平面平行的板狀防粘玻璃327的狹縫，在該狹縫中能夠拔插防粘玻璃327的結(jié)構(gòu)。防粘玻璃327以將防粘管351的空心部351a分割成前后的方式插入，并配置成橫切光軸A。來自移動(dòng)式傳感器11的感測光透射玻璃隔板21，并通過貫穿孔3b。另外，感測光在通過防粘管351的空心部351a時(shí)透射防粘玻璃327而照射于成膜室2內(nèi)。另外，與成膜裝置I (圖I)相同，與壁3a對(duì)置的壁3d設(shè)置有位于光軸A上的視口 13’及受光部17，但省略其圖示。根據(jù)該結(jié)構(gòu)，在玻璃隔板(透射部)21的前方設(shè)置防粘管351，且在該防粘管351的空心部351a存在防粘玻璃(沉積抑制構(gòu)件)327，因此玻璃隔板21從成膜材料漂浮的成膜室2的空間隔開。因此，在成膜室2中漂浮的成膜材料很難到達(dá)玻璃隔板21。因此，能夠抑制成膜材料向玻璃隔板21的沉積，并抑制因沉積于玻璃隔板21的成膜材料引起的感測光的透射狀態(tài)惡化。這時(shí)，成膜材料比較容易與防粘玻璃327接觸，即使成膜材料沉積在該防粘玻璃327的情況下也能夠輕松地裝卸并更換防粘玻璃327，且能夠恢復(fù)感測光的透射狀態(tài)。并且，通過定期更換防粘玻璃327，能夠良好地維持感測光在防粘玻璃327中的透射狀態(tài)。其結(jié)果，能夠確保移動(dòng)式傳感器11的檢測功能，可準(zhǔn)確地控制工件W的傳送。本發(fā)明不限定于上述的第I 第3實(shí)施方式。例如，在第I及第2實(shí)施方式中，為了加熱防粘玻璃27、227可利用高頻加熱器。并且，也可在防粘玻璃27、227中內(nèi)置加熱器并直接由加熱器加熱。并且，作為抑制成膜材料的附著或沉積的構(gòu)件，不限于防粘玻璃27、227的加熱，也可使防粘玻璃27、227帶電。并且，第I 第3實(shí)施方式中，為了間接地檢測有無工件W，而檢測有無托盤5，但是也可對(duì)工件W照射感測光來直接檢測有無工件W。并且，第I 第3實(shí)施方式中，使用透射型傳感器作為檢測構(gòu)件，但也可使用反射型傳感器。并且，第I 第3實(shí)施方式中，在利用多元蒸鍍法(MSD)的成膜裝置中應(yīng)用了本發(fā)明，但也可應(yīng)用于利用其他成膜法(例如等離子體成膜法、濺射法)的成膜裝置中。
權(quán)利要求
1.一種成膜裝置，其在被成膜材料上進(jìn)行成膜材料的成膜，其特征在于，具備有 成膜室，容納所述被成膜材料并進(jìn)行成膜處理； 傳送構(gòu)件，設(shè)置在所述成膜室的內(nèi)部，傳送所述被成膜材料； 窗部，設(shè)置在劃分所述成膜室的壁部上且具有透射光的透射部，可實(shí)現(xiàn)光從所述成膜室的外部向內(nèi)部的投射； 檢測構(gòu)件，設(shè)置在所述成膜室的外部，使感測光透射所述窗部的所述透射部來投射，從而檢測所述成膜室的內(nèi)部有無所述被成膜材料；及 沉積抑制構(gòu)件，抑制所述成膜材料向所述透射部的沉積。
2.如權(quán)利要求I所述的成膜裝置，其特征在于， 所述沉積抑制構(gòu)件使附著于所述透射部的成膜材料蒸發(fā)，并且抑制所述成膜材料向所述透射部的附著。
3.如權(quán)利要求I或2所述的成膜裝置，其特征在于， 所述沉積抑制構(gòu)件具備有加熱所述透射部的加熱部。
4.如權(quán)利要求3所述的成膜裝置，其特征在于， 所述加熱部設(shè)置在比所述壁部更靠所述成膜室的內(nèi)部的一側(cè)。
5.如權(quán)利要求4所述的成膜裝置，其特征在于， 所述窗部具備筒狀部，所述筒狀部設(shè)置在比所述壁部更靠所述成膜室的內(nèi)部的一側(cè)，并且使所述感測光通過空心部， 在所述筒狀部的所述空心部設(shè)置有所述透射部， 所述加熱部被設(shè)置為包圍所述筒狀部的所述端部的側(cè)面和所述透射部。
6.如權(quán)利要求3所述的成膜裝置，其特征在于， 所述加熱部設(shè)置在比所述壁部更靠所述成膜室的外部的一側(cè)。
7.如權(quán)利要求6所述的成膜裝置，其特征在于， 所述窗部具備筒狀部，所述筒狀部設(shè)置在比所述壁部更靠所述成膜室的外部的一側(cè)，并且使所述感測光通過空心部， 在所述筒狀部的所述空心部設(shè)置有所述透射部， 所述加熱部被設(shè)置為包圍所述筒狀部的所述端部的側(cè)面和所述透射部。
8.如權(quán)利要求I所述的成膜裝置，其特征在于， 所述窗部具備 筒體，所述筒體設(shè)置在比所述透射部更靠所述成膜室的內(nèi)部的一側(cè)并具有使所述感測光通過的空心部；及 第2透射部，設(shè)置在所述空心部內(nèi)，透射所述感測光， 所述透射部通過所述筒體和所述第2透射部而與漂浮有所述成膜材料的空間隔開， 所述第2透射部被設(shè)置為可相對(duì)于所述筒體自如地裝卸。
9.如權(quán)利要求I或2所述的成膜裝置，其特征在于， 所述成膜材料為硒。
全文摘要
本發(fā)明提供一種能夠確保檢測有無被成膜材料的檢測功能的成膜裝置。一種成膜裝置(1)，其在工件(W)上進(jìn)行成膜材料的成膜，該成膜裝置具備有成膜室(2)，容納工件(W)并進(jìn)行成膜處理；傳送裝置(7)，設(shè)置在成膜室(2)的內(nèi)部，傳送工件(W)；視口(13)，設(shè)置在劃分成膜室(2)的壁(3a)上且具有透射光的防粘玻璃(27)，可實(shí)現(xiàn)光從成膜室(2)的外部向內(nèi)部的投射；移動(dòng)式傳感器(11)，設(shè)置在成膜室(2)的外部，使感測光透射視口(13)的防粘玻璃(27)來投射從而檢測成膜室(2)的內(nèi)部有無工件(W)；及加熱器(31)，用于抑制成膜材料向防粘玻璃(27)的沉積。
文檔編號(hào)C23C14/00GK102653852SQ20121005197
公開日2012年9月5日 申請(qǐng)日期2012年3月1日 優(yōu)先權(quán)日2011年3月3日
發(fā)明者伊藤秀彥, 飯尾逸史 申請(qǐng)人:住友重機(jī)械工業(yè)株式會(huì)社