一種杜美絲微波加熱生產(chǎn)系統(tǒng)的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明公開(kāi)了一種杜美絲微波加熱生產(chǎn)系統(tǒng)，包括送絲裝置、微波燒結(jié)爐、微波氧化爐、過(guò)絲裝置和收絲裝置，送絲裝置依次送絲連接微波氧化爐和微波燒結(jié)爐，微波燒結(jié)爐收絲連接收絲裝置；所述微波燒結(jié)爐和微波氧化爐的微波發(fā)生器均由過(guò)絲裝置上過(guò)絲狀態(tài)控制呈啟閉狀態(tài)。通過(guò)控制杜美絲材料送絲速度、加熱溫度、氧化溫度確保無(wú)CuO、高純度、納米級(jí)Cu2O的快速生成，配合壓絲裝置實(shí)現(xiàn)空載停機(jī)保護(hù)，實(shí)現(xiàn)全程數(shù)字化控制，具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、性能可靠、操作方便，能源利用率高，使用成本低等優(yōu)點(diǎn)，該系統(tǒng)制備的杜美絲材料外層無(wú)CuO生成，在后續(xù)鉑玻璃熔封時(shí)無(wú)色差、無(wú)氣泡，質(zhì)量性能高。
【專利說(shuō)明】一種杜美絲微波加熱生產(chǎn)系統(tǒng)
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種杜美絲制造系統(tǒng)，具體說(shuō)是一種利用微波加熱氧化、燒結(jié)使鐵鎳合金鍍銅層杜美絲快速生成Cu2O層面的杜美絲微波加熱生產(chǎn)系統(tǒng)。
【背景技術(shù)】
[0002]普通紅色、黃色、無(wú)硼杜美絲，在生成Cu2O過(guò)程時(shí)都是在H2或液化石油氣環(huán)境場(chǎng)合中采用普通工頻電爐加熱至800-1380°C度。這一慢加熱的時(shí)間過(guò)程，極易影響成品杜美絲的氣密性和保存條件以及表面色差。此后再經(jīng)涂硼后燒結(jié)成保護(hù)Cu2O層面，對(duì)半導(dǎo)體器件用杜美絲還存在鈉離子沾污，從而形成杜美絲產(chǎn)品供于光、電源市場(chǎng)。
[0003]現(xiàn)有專利號(hào)為00112365.3公開(kāi)的一種黃色杜美絲的制備方法及裝置，采用裸絲還原氣氛下加熱；復(fù)硼；加熱氧化；快速冷卻制備，其鐵鎳合金芯金屬鍍銅層慢速溫度氧化，里層生成Cu2O,最外層則生成CuO。紅色Cu2O能熔于玻璃，而黑色CuO不能熔于玻璃，生產(chǎn)杜美絲的過(guò)程中不能全部形成高純度、納米級(jí)的Cu2O層，則在與鉬組玻璃熔封過(guò)程中，殘留在絲表面的少量CuO就不能熔于玻璃中，而熔封時(shí)CuO在高溫下就會(huì)按下列方式:
[0004]
【權(quán)利要求】
1.一種杜美絲微波加熱生產(chǎn)系統(tǒng)，其特征在于:包括送絲裝置、微波氧化爐、微波燒結(jié)爐、過(guò)絲裝置和收絲裝置，送絲裝置依次送絲連接微波氧化爐和微波燒結(jié)爐，微波燒結(jié)爐收絲連接收絲裝置；所述微波燒結(jié)爐和微波氧化爐的微波發(fā)生器均由過(guò)絲裝置上過(guò)絲狀態(tài)控制呈啟閉狀態(tài)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種杜美絲微波加熱生產(chǎn)系統(tǒng)，其特征在于:所述送絲裝置包括一只以上的送絲盤(pán)、送絲控制器和送絲電源，送絲電源經(jīng)送絲控制器控制連接一只以上的送絲盤(pán)送絲連接微波氧化爐。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種杜美絲微波加熱生產(chǎn)系統(tǒng)，其特征在于:所述微波氧化爐包括氧化爐外殼、氧化爐金屬內(nèi)膽腔、氧化陶瓷管和氧化微波發(fā)生器，氧化爐金屬內(nèi)膽腔設(shè)置于氧化爐外殼內(nèi)，氧化陶瓷管穿接于氧化爐金屬內(nèi)膽腔內(nèi)，氧化微波發(fā)生器對(duì)應(yīng)氧化陶瓷管設(shè)置于氧化爐金屬內(nèi)膽腔內(nèi)，送絲裝置送絲穿過(guò)氧化陶瓷管連接至微波燒結(jié)裝置。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種杜美絲微波加熱生產(chǎn)系統(tǒng)，其特征在于:所述微波燒結(jié)爐包括燒結(jié)爐外殼、燒結(jié)爐金屬內(nèi)膽腔、陶瓷管和燒結(jié)微波發(fā)生器，燒結(jié)爐金屬內(nèi)膽腔設(shè)置于燒結(jié)爐外殼內(nèi)，燒結(jié)陶瓷管穿接于燒結(jié)爐金屬內(nèi)膽腔內(nèi)，燒結(jié)微波發(fā)生器對(duì)應(yīng)燒結(jié)陶瓷管設(shè)置于燒結(jié)爐金屬內(nèi)膽腔內(nèi)，微波氧化爐送絲穿過(guò)燒結(jié)陶瓷管連接至過(guò)絲裝置。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種杜美絲微波加熱生產(chǎn)系統(tǒng)，其特征在于:所述過(guò)絲裝置包括一壓絲輪、兩導(dǎo)向輪、活塞、缸套、彈簧和接近開(kāi)關(guān)，燒結(jié)陶瓷管依次經(jīng)一導(dǎo)向輪、壓絲輪和另一導(dǎo)向輪送絲連接收絲裝置，壓絲輪鉸接于活塞上，送絲經(jīng)壓絲輪兩側(cè)的導(dǎo)向輪壓合在壓絲輪上使活塞經(jīng)彈簧在缸套內(nèi)呈上下活動(dòng)狀態(tài)，彈簧上下活動(dòng)使彈簧底端的接近開(kāi)關(guān)呈接通啟動(dòng)或斷開(kāi)關(guān)閉微波燒結(jié)爐和微波氧化爐的微波發(fā)生器狀態(tài)。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種杜美絲微波加熱生產(chǎn)系統(tǒng)，其特征在于:所述收絲裝置包括一只以上的收絲盤(pán)和對(duì)應(yīng)收絲盤(pán)設(shè)置的定速輪，收絲盤(pán)連接收絲電機(jī)，定速輪連接定速電機(jī)。
7.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種杜美絲微波加熱生產(chǎn)系統(tǒng)，其特征在于:所述微波氧化爐內(nèi)設(shè)有對(duì)應(yīng)氧化陶瓷管內(nèi)送絲的氧化紅外溫度測(cè)量測(cè)控儀。
8.根據(jù)權(quán)利要求3或7所述的一種杜美絲微波加熱生產(chǎn)系統(tǒng)，其特征在于:所述微波氧化爐內(nèi)設(shè)有帶數(shù)字氣體流量控制閥的保護(hù)氣送氣管。
9.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種杜美絲微波加熱生產(chǎn)系統(tǒng)，其特征在于:所述微波燒結(jié)爐內(nèi)設(shè)有對(duì)應(yīng)燒結(jié)陶瓷管內(nèi)送絲的燒結(jié)紅外溫度測(cè)量測(cè)控儀。
【文檔編號(hào)】C23C8/10GK103572196SQ201210279237
【公開(kāi)日】2014年2月12日 申請(qǐng)日期:2012年8月8日 優(yōu)先權(quán)日:2012年8月8日
【發(fā)明者】樊偉, 常建艮, 陸余圣 申請(qǐng)人:樊偉