專利名稱：一種加熱臺恒溫系統的制作方法
技術領域：
本發明涉及溫度控制技術，具體是一種適用于碲化鎘(CdTe )薄膜太陽能電池生產線中使用的加熱臺恒溫系統。
背景技術：
當前，薄膜太陽能電池已成為光伏市場發展的新趨勢和熱點。CdTe薄膜太陽能電池因其材料的高效、穩定、廉價，已經成為國外諸多發達國家研究開發的主要對象，并已批量投產。目前我國CdTe薄膜太陽能電池處于實驗室基礎研究階段，尚未實現大規模的產業化，核心設備主要依賴進口。在CdTe薄膜太陽能電池生產線中加熱臺的功能是在襯底玻璃進入沉積室之前在真空環境下將導電玻璃加熱到沉積需要的襯底溫度，是實現連續沉積CdTe，保證電池質量的關鍵裝置。經分析，現有設備中加熱臺存在的主要問題是由于熱量損失造成溫度波動大，從而影響產品質量。通過分析系統中加熱環境的溫度波動的主要原因是加熱臺裝置中缺少有效的恒溫系統。目前的加熱臺的恒溫環境主要依靠加熱臺的內壁與外壁之間填充隔熱性能較好材料或者物質形成保溫層來減少加熱臺系統內部的熱量的散失。這種維持加熱環境恒溫的措施是被動得，不能及時地對加熱臺耗散到環境中的熱量進行補償，進而造成加熱系統中的溫度較大波動，最終影響到產品的質量。在申請人對恒溫系統以及保溫系統等相近關鍵字的進行檢索范圍內，檢索出的發明專利文獻是一種恒溫系統(申請號201010246215. 3)，其公開了一種用于溶液恒溫的帶有循環加熱裝置的恒溫系統，這一系統采用熱水作為熱介質，將熱水通過容器壁外的循環管道，來對容器中的溶液進行加熱與保溫；發明專利一種多晶硅錠爐保溫系統(申請號200910304187. 3)，公開了一種利用多晶硅鑄錠爐的保溫系統，這種系統主要在加熱爐體外部增加了莫來纖維板，利用這種材料的隔熱特性來實現爐體內部的保溫；發明專利一種井式爐的節能爐襯保溫系統(申請號201010542448. 8)，它公開了一種井式爐的節能爐襯保溫系統，設有爐體和設置在爐`體內的電阻絲，利用陶瓷纖維板和陶瓷纖維毯作為隔熱材料，通過填充物中的電阻絲通電發熱來保持爐體內的溫度；發明專利一種保溫系統(申請號201110140054. 4)所公開的保溫系統主要是針對膠的加熱與保溫的應用場合，采用的技術方案是利用夾層中的熱水來實現對熱膠的保溫；還有實用新型專利盤管式恒溫系統(申請號200920048365. 6)，它所述及的盤管式恒溫系統采用導熱性能好的材料制成盤狀導管，將地下水通入到導管中，用來構成較低溫度的恒溫系統，是構成地下水空調的核心部件。綜合上述分析，尚未發現薄膜太陽能電池生產加熱臺可應用的技術方案，如果沿用傳統的單純添加保溫材料隔熱層方法(如申請號200910304187. 3、申請號201010542448. 8專利所提供的方案)通過被動的方式維持恒溫很難實現保持加熱系統的溫度恒定，同時由于填充物隔熱層的引入會增大設備的外部尺寸，增大了整個設備的體積以及生產成本。而其余專利中所涉及的中間空腔通入熱介質的方法來補充系統熱損耗的主動恒溫方法，可以較好地減少系統的熱波動，但是現有技術和結構主要是利用熱水作為熱介質來傳遞熱量，這種技術方案無法滿足薄膜太陽能電池生產加熱臺600攝氏度正常工作范圍的要求。

發明內容
針對現有技術的不足，本發明擬解決的問題是，提出一種加熱臺恒溫系統，該恒溫系統采用在加熱裝置內壁使用太空絕熱瓷層，這種反射性絕熱涂料有效地減少了熱量損耗，且設置絕熱空腔，并根據需要可以在絕熱空腔內通入高溫SF6這種熱穩定好，無毒害，且熱效應高的溫室氣體對系統熱損耗進行補償，可以從根本上消除薄膜太陽能電池生產加熱階段由于熱量損耗造成的溫度波動，同時具備較高的自動化程度，較高的能量利用率，較低的制造成本，不會對環境造成污染，不會對使用者的人身安全造成危害等優點。本發明解決所述技術問題的技術方案是，設計一種加熱臺恒溫系統，其特征在于該系統包括兩大部分由隔熱裝置和溫室氣體伺服供給系統組成的機械裝置部分，及由電氣控制系統、電氣執行系統組成的電氣裝置部分；機械裝置部分的隔熱裝置與溫室氣體伺服供給系統通過氣路連接為一體；電氣裝置部分安裝在隔熱裝置的電氣元件柜中，通過電路連接機械裝置中的被控元件；所述隔熱裝置是垂直截面的上部為圓弧頂下部為矩形組合構成的雙層空腔體，包括隔熱層外壁、隔熱層內壁、溫室氣體充氣空腔和連接內外壁的上連接板和下連接板，所述上連接板和下連接板上都開有均勻分布的通孔，使整個隔熱層外壁和隔熱層內壁之間的充氣空腔具有連通性，且隔熱層外壁和隔熱層內壁的內壁分別覆蓋有太空絕熱瓷涂層；所述溫室氣體伺服供給系統包括儲氣裝置箱、通氣管道、儲氣瓶；出泵換向閥、抽氣泵、安全閥、入泵換向閥和單向閥；熱電偶感應開關、停機按鈕和啟動按鈕；以及高頻電加熱器和密封圈；所述儲氣裝置箱安裝在隔熱層外壁的外側壁上，儲氣裝置箱內分布有系列卡槽，系列卡槽中的每個卡槽與相應的溫室氣體伺服系統的元件相配合通氣管道從儲氣裝置箱伸出，通過隔熱層外壁上的配合孔通入到溫室氣體充氣空腔中，在隔熱層外壁的配合孔中安置軸向密封圈，所述儲氣瓶 通過通氣管道依次與入泵換向閥、抽氣泵、出泵換向閥、高頻電加熱器連通，構成溫室氣體充氣裝置的主通道，出泵換向閥通過通氣管道與單向閥形成的氣體回路，通入到儲氣瓶中，入泵換向閥通過通氣管道與安全閥構成的氣體回路，也通入到儲氣瓶中；所述停機按鈕及啟動按鈕分別布置在隔熱層外壁的外表面上；熱電偶感應開關布置于隔熱層內壁的內表面上；所述停機按鈕、啟動按鈕以及熱電偶感應開關構成溫室氣體的控制系統，用來對出泵換向閥、入泵換向閥、抽氣泵和高頻電加熱器的工作狀態進行控制；所述電氣控制系統由控制開關部分、控制繼電器開關部分及控制電源部分三部分構成；包括溫度耦合開關、常閉開關和啟動按鈕；充氣控制常開開關、充氣開關線圈、抽氣開關線圈、出泵換向閥的電磁線圈、入泵換向閥的電磁線圈、電路控制觸點線圈和線圈自鎖開關及控制電源；所述溫度耦合開關的左側觸點一端串聯充氣開關線圈，另一端連接控制電源負極，右側觸點一端串聯抽氣開關線圈，另一端連接控制電源負極，將充氣開關線圈及抽氣開關線圈未與溫度耦合開關相連的一端連接控制電源正極；充氣控制常開開關一端連接控制電源負極，另一端同時連接出泵換向閥的電磁線圈的一端和入泵換向閥的電磁線圈的一端，將出泵換向閥的電磁線圈、入泵換向閥的電磁線圈的未與充氣控制常開開關相連的一端連接控制電源正極；啟動按鈕與線圈自鎖開關并聯后，一端串聯控制電源負極，另一端串聯常閉開關，串聯常閉開關的另一端串聯電路控制觸點線圈的一端，另一端連接控制電源的正極；所述電氣執行系統由繼電器觸點開關部分、電氣執行器件部分、執行電源及保護裝置四部分構成，包括充氣開關常開觸點、抽氣開關常開觸點、電路控制觸點和充氣控制常閉開關；高頻加熱器的電加熱元件和抽氣泵電機，及交流電源和串聯在電氣執行系統電路中的熔斷絲；所述充氣開關常開觸點與抽氣開關常開觸點并聯后，一端連接交流電源，另一端串聯熔斷絲，熔斷絲再依次與抽氣泵電機和電加熱元件串聯，充氣控制常閉開關與電加熱元件并聯后，串聯電路控制觸點的一端，電路控制觸點的另一端連接交流電源，構成電氣執行系統電流回路。與現有技術相比，本發明加熱臺恒溫系統的有益效果為利用新型太空絕熱瓷層這種涂層材料替代原有的隔熱填充物，可以節約成本，由于材料較好的隔熱效果，可以將原有系統中的冷卻裝置去掉，減少設備系統的復雜性，這種涂層一般厚度僅為6_便可以滿足相應的隔熱需求，可以減小裝置體積，降低設備的制造成本。溫室氣體熱補償系統引入，從根本上解決了系統加熱器輸出變化引起的加熱系統溫度波動問題，提高了恒溫系統熱效率和加熱系統整體可靠性。除此還具有自動化程度高，能源利用率高，環境無污染，不會給使用者帶來安全隱患等優點。


圖1為本發明加熱臺恒溫系統一種實施例的整體主視結構示意圖。圖2為本發明加熱臺恒溫系統一種實施例的整體左視結構示意圖。圖3為本發明加熱臺恒溫系統一種實施例的電氣控制原理結構示意圖。圖4為本發明加熱臺恒溫系統一種實施例的電氣執行原理結構示意圖。圖5為本發明加熱 臺恒溫系統一種實施例的氣動原理結構不意圖。
具體實施例方式下面結合實施例及其附圖進一步敘述本發明。本發明設計的加熱臺恒溫系統(簡稱系統，參見圖1一5)，其特征在于該系統由兩大部分組成，包括由隔熱裝置I和溫室氣體伺服供給系統2組成的機械裝置部分，及由電氣控制系統3、電氣執行系統4組成的電氣裝置部分。隔熱裝置I與溫室氣體伺服供給系統2通過氣路連接為一體；電氣裝置部分安裝在隔熱裝置I的電氣元件柜1. 8中(參見圖1、2)。所述隔熱裝置I是垂直截面的上部為圓弧頂下部為矩形組合構成的雙層空腔體，包括由隔熱層外壁1.1、隔熱層內壁1. 4、溫室氣體充氣空腔1. 6組成的隔熱腔壁部分；由太空絕熱瓷層外涂層1. 3、太空絕熱瓷層內涂層1. 5組成的太空絕熱瓷層涂層部分；以及由內外壁上連接板1. 2、內外壁下連接板1. 7組成的連接板部分。隔熱裝置I中還包括為電氣控制系統3及電氣執行系統4中的電氣元件提供安裝空間的電氣元件柜1. 8。隔熱層外壁1.1與隔熱層內壁1. 4通過內外壁上、下連接板1. 2、1. 7連接，內外壁上、下連接板1. 2、1. 7通過隔熱層外壁1.1與隔熱層內壁1. 4上的板槽相互配合連接，實現隔熱層內壁1.4的支撐；隔熱層外壁1.1與隔熱層內壁1. 4之間的空隙形成溫室氣體充氣空腔1. 6 ;為保證溫室氣體充氣空腔1. 6整體的連通性，在內外壁上、下連接板1. 2、1. 7上都開有均勻分布的通孔，保證溫室氣體在隔熱層內外壁之間的整個充氣空腔的連通性。隔熱層外壁1.1的內表面涂抹太空絕熱瓷層涂料，實施例的涂抹或涂層厚度為5mm，形成太空絕熱瓷層外涂層1. 3，在隔熱層內壁1. 4的內表面涂抹太空絕熱瓷層涂料，實施例的涂抹或涂層厚度為7mm，形成太空絕熱瓷層內涂層1. 5 (參見圖1)。所述溫室氣體伺服供給系統2構成元件包括由儲氣裝置箱2. 2、通氣管道2. 4、儲氣瓶2. 9組成的溫室氣體氣路管道部分；由出泵換向閥2. 6、抽氣泵2. 7、安全閥2. 8、入泵換向閥2. 12和單向閥2. 13組成的氣路控制系統部分；由熱電偶感應開關2. 3、停機按鈕
2.10和啟動按鈕2. 11組成的伺服控制器部分；以及實現加熱的高頻電加熱器2. 5，保證通氣管道2. 4與隔熱裝置I連接密封性的密封圈2.1 (參見圖1、2)。所述儲氣裝置箱2. 2安裝在隔熱層外壁1.1的外側面，儲氣裝置箱2. 2內分布有系列卡槽，系列卡槽中的每個卡槽與相應的溫室氣體伺服系統的元件相配合儲氣瓶2. 9與儲氣瓶卡槽相配合，入泵換向閥2. 12與入泵換向閥卡槽相配合，抽氣泵2. 7與抽氣泵卡槽相配合，出泵換向閥2. 6與出泵換向閥卡槽相配合，高頻電加熱器2. 5與高頻電加熱器槽相配合。通氣管道2. 4從儲氣裝置箱2. 2伸出，通過隔熱層外壁1.1上的配合孔通入到溫室氣體充氣空腔1. 6中。為保證溫室氣體充氣空腔1. 6的密封性，在隔熱層外壁1.1的配合孔中安置軸向密封圈2. 1，有效防止了溫室氣體充氣空腔1. 6中的溫室氣體外泄。所述恒溫系統中的儲氣瓶2. 9通過通氣管道2. 4依次與入泵換向閥2. 12、抽氣泵2. 7、出泵換向閥
2.6、高頻電加熱器2. 5連通構成溫室氣體充氣裝置的主通道，出泵換向閥2. 6通過通氣管道2. 4與單向閥2. 13形成氣體回路通入到儲氣瓶2. 9中，入泵換向閥2. 12通過通氣管道
2.4與安全閥2. 8 構成氣體回路通入到儲氣瓶2. 9中。停機按鈕2. 10、啟動按鈕2. 11以及熱電偶感應開關2. 3構成溫室氣體的控制系統，用來對出泵換向閥2. 6、入泵換向閥2. 12、抽氣泵2. 7，高頻電加熱器2. 5的工作狀態進行控制。熱電偶感應開關2. 3布置于隔熱層內壁1. 3內側測量加熱臺的工作溫度。停機按鈕2. 10及啟動按鈕2. 11布置在隔熱層外壁
1.1上方便設備使用者操作(參見圖1、2)。所述電氣裝置部分中的電氣控制系統3由控制開關部分、控制繼電器開關部分及控制電源部分三部分構成。所述控制開關部分包括溫度耦合開關3.1、常閉開關3. 9和常開開關3. 11 ;控制繼電器開關部分包括充氣控制常開開關3. 3、充氣開關線圈3. 4、抽氣開關線圈3. 5、出泵換向閥2. 6的電磁線圈3. 6、入泵換向閥2. 12的電磁線圈3. 7、電路控制觸點線圈3. 8和線圈自鎖開關3. 10 ;控制電源部分包括控制電源3. 2。所述電氣控制系統3中的電路連接關系是溫度耦合開關3.1的左側觸點一端串聯充氣開關線圈3. 4，另一端連接控制電源3. 2負極，右側觸點一端串聯抽氣開關線圈3. 5，另一端連接控制電源3. 2負極，將充氣開關線圈3. 4及抽氣開關線圈3. 5未與溫度耦合開關3.1相連的一端連接控制電源
3.2正極；充氣控制常開開關3. 3 一端連接控制電源3. 2負極，另一端同時連接出泵換向閥
2.6的電磁線圈3. 6的一端和入泵換向閥2. 12的電磁線圈3. 7的一端，將出泵換向閥2. 6的電磁線圈3. 6、入泵換向閥2. 12的電磁線圈3. 7的未與充氣控制常開開關3. 3相連的一端連接控制電源3. 2正極；常開開關3. 11與線圈自鎖開關3. 10并聯后一端串聯控制電源
3.2負極另一端串聯常閉開關3. 9,串聯常閉開關3. 9的另一端串聯電路控制觸點線圈3. 8,電路控制觸點線圈3. 8未與常閉開關3. 9連接的一端連接控制電源3. 2正極(參見圖3)。
所述電氣裝置部分中的電氣執行系統4由繼電器觸點開關部分、電氣執行器件部分、執行電源及保護裝置四部分構成。所述繼電器觸點開關部分包括充氣開關常開觸點
4.1、抽氣開關常開觸點4. 2、電路控制觸點4. 5和充氣控制常閉開關4. 7 ;電氣執行器件部分包括高頻加熱器2. 5的電加熱元件4. 6和抽氣泵電機4. 8 ;執行電源包括交流電源4. 3，保護裝置指串聯在電氣執行系統電路中的熔斷絲4. 4。所述電氣執行系統4中的電路連接關系是充氣開關常開觸點4.1與抽氣開關常開觸點4. 2并聯后，一端連接交流電源4. 3，另一端串聯熔斷絲4. 4，熔斷絲4. 4再串聯抽氣泵電機4. 8，抽氣泵電機4. 8與電加熱元件
4.6串聯，充氣控制常閉開關4. 7與電加熱元件4. 6并聯后串聯電路控制觸點4. 5，電路控制觸點4. 5的另一端連接交流電源4. 3構成電氣執行系統電流回路(參見圖4)。本發明系統的使用方法及工作原理過程如下I高溫溫室氣體的熱量正補償過程。本發明系統的高溫溫室氣體的熱量正補償過程是使用者按下啟動按鈕2. 11，常開開關3. 11閉合，電路控制觸點線圈3. 8通電，線圈自鎖開關3. 10閉合形成自鎖。電氣執行過程是(參見圖4):電路控制觸點4. 5閉合，溫室氣體充氣系統進入待機狀態。電熱偶開關2. 3可以檢測隔熱腔內壁的溫度，如果溫度值低于系統的設定值，需要充入熱的溫室氣體進行熱量補償，則溫度耦合開關3.1左側閉合，右側斷開，則充氣開關線圈3. 4通電，充氣開關常開觸點4.1閉合抽氣泵電機4. 8接通，抽氣泵2. 7開始工作。充氣控制常閉開關4. 7斷開，高頻加熱器2. 5的電加熱元件4. 6通電并正常工作。充氣控制常開開關3. 3閉合，出泵換向閥2. 6的電磁線圈3. 6、入泵換向閥2. 12的電磁線圈3. 7通電，閥芯移動。本發明系統的高溫溫室氣體的氣動原理過程是(參見圖5):在抽氣泵2. 7的作用下，溫室氣體(SF6)自儲氣瓶2. 9，經入泵換向閥2. 12，依次經出泵換向閥2. 6和高頻電加熱器2. 5加熱，通入到充氣空腔1. 6中。隨著高溫溫室氣體(SF6)的通入，熱量不斷的補充會令隔熱層內腔中溫度升高，直到回升到正常工作溫 度。當充氣空腔1. 6中的高溫溫室氣體(SF6)的壓力達到安全閥2. 8的設定氣壓值后，充氣空腔1. 6中的高溫溫室氣體(SF6)會通過安全閥2. 8溢出回流到儲氣瓶2. 9中，但高溫溫室氣體(SF6)充氣過程仍可以實現熱補償，直到充氣空腔1. 6中的溫度回升至正常。為保證整個充氣過程的安全，氣路中設置安全閥2. 8，但氣腔中壓力達到預設值后過量的SF6氣體會經安全閥2. 8后流回到儲氣瓶2. 9中。除此，整個系統設置停機按鈕
2.10，按下停機按鈕2. 10后，常閉開關3. 9斷開，電路控制觸點線圈3. 8斷電，線圈自鎖開關3. 10及電路控制觸點4. 5斷開，抽氣泵電機4. 8斷開，抽氣泵2. 7停止工作。高頻電加熱器2. 5的電加熱元件4. 6斷電，并停止工作。為防止電氣執行系統回路短路后發生危險，在電氣執行系統回路中串聯有熔斷絲4. 4。2高溫溫室氣體的熱量逆補償過程。高溫溫室氣體的熱量逆補償過程的電氣控制實現過程是(參見圖3):如果溫度值高于電熱偶開關2. 3的設定值，需要進行高溫溫室氣體的熱量逆補償過程，則溫度耦合開關3.1左側斷開，右側閉合，則充氣開關線圈3. 4斷電，抽氣開關線圈3. 5通電。本發明系統的熱量逆補償過程的電氣執行過程(參見圖4)是充氣開關常開觸點4.1斷開，抽氣開關常開觸點4. 2閉合，抽氣泵電機4. 8接通，抽氣泵2. 7開始工作。充氣控制常閉開關3. 10閉合，高頻電加熱器2. 5的電加熱元件4. 6被短接而停止工作。充氣控制常開開關3. 3斷開，出泵換向閥2. 6電磁線圈3. 6、入泵換向閥2. 12電磁線圈3. 7斷電，閥芯復位。本發明系統的熱量逆補償過程的氣動原理過程(參見圖5)是在抽氣泵2. 7的作用下，溫室氣體(SF6)自充氣空腔1. 6，依次經入泵換向閥2. 12、出泵換向閥2. 6和單向閥2. 13，通入到儲氣瓶2. 9中。隨著充氣空腔1. 6中的高溫溫室氣體(SF6)的濃度的減少，氣腔中熱量不斷的減少，隨著系統向環境中熱量的耗散，會令隔熱層內腔溫度降低，直到降至到正常工作溫度。本發明所述的恒溫系統通過兩層太空絕熱瓷層的隔熱作用以及高溫溫室氣體(SF6)的熱量正、逆補償過程來實現其有益效果。本發明未述及之 處適用于現有技術。
權利要求
1.一種加熱臺恒溫系統，其特征在于該系統包括兩大部分由隔熱裝置和溫室氣體伺服供給系統組成的機械裝置部分，及由電氣控制系統、電氣執行系統組成的電氣裝置部分；機械裝置部分的隔熱裝置與溫室氣體伺服供給系統通過氣路連接為一體；電氣裝置部分安裝在機械裝置部分的電氣元件柜中，通過電路連接機械裝置中的被控元件； 所述隔熱裝置是垂直截面的上部為圓弧頂下部為矩形組合構成的雙層空腔體，包括隔熱層外壁、隔熱層內壁、溫室氣體充氣空腔和連接內外壁的上連接板和下連接板，所述上連接板和下連接板上都開有均勻分布的通孔，使整個隔熱層外壁和隔熱層內壁之間的充氣空腔具有連通性，且隔熱層外壁和隔熱層內壁的內壁分別覆蓋有太空絕熱瓷涂層； 所述溫室氣體伺服供給系統包括儲氣裝置箱、通氣管道、儲氣瓶；出泵換向閥、抽氣泵、安全閥、入泵換向閥和單向閥；熱電偶感應開關、停機按鈕和啟動按鈕；以及高頻電加熱器和密封圈；所述儲氣裝置箱安裝在隔熱層外壁的外側壁上，儲氣裝置箱內分布有系列卡槽，系列卡槽中的每個卡槽與相應的溫室氣體伺服系統的元件相配合通氣管道從儲氣裝置箱伸出，通過隔熱層外壁上的配合孔通入到溫室氣體充氣空腔中，在隔熱層外壁的配合孔中安置軸向密封圈，所述儲氣瓶通過通氣管道依次與入泵換向閥、抽氣泵、出泵換向閥、高頻電加熱器連通，構成溫室氣體充氣裝置的主通道，出泵換向閥通過通氣管道與單向閥形成的氣體回路，通入到儲氣瓶中，入泵換向閥通過通氣管道與安全閥構成的氣體回路，也通入到儲氣瓶中；所述停機按鈕及啟動按鈕分別布置在隔熱層外壁的外表面上；熱電偶感應開關布置于隔熱層內壁的內表面上；所述停機按鈕、啟動按鈕以及熱電偶感應開關構成溫室氣體的控制系統，用來對出泵換向閥、入泵換向閥、抽氣泵和高頻電加熱器的工作狀態進行控制； 所述電氣控制系統由控制開關部分、控制繼電器開關部分及控制電源部分三部分構成；包括溫度耦合開關、常閉開關和啟動按鈕；充氣控制常開開關、充氣開關線圈、抽氣開關線圈、出泵換向閥的電磁線圈、入泵換向閥的電磁線圈、電路控制觸點線圈和線圈自鎖開關及控制電源；所述溫度耦合開關的左側觸點一端串聯充氣開關線圈，另一端連接控制電源負極，右側觸點一端串聯抽氣開關線圈，另一端連接控制電源負極，將充氣開關線圈及抽氣開關線圈未與溫度耦合開關相連的一端連接控制電源正極；充氣控制常開開關一端連接控制電源負極，另一端同時連接出泵換向閥的電磁線圈的一端和入泵換向閥的電磁線圈的一端，將出泵換向閥的電磁線圈、入泵換向閥的電磁線圈的未與充氣控制常開開關相連的一端連接控制電源正極；啟動按鈕與線圈自鎖開關并聯后，一端串聯控制電源負極，另一端串聯常閉開關，串聯常閉開關的另一端串聯電路控制觸點線圈的一端，另一端連接控制電源的正極； 所述電氣執行系統由繼電器觸點開關部分、電氣執行器件部分、執行電源及保護裝置四部分構成，包括充氣開關常開觸點、抽氣開關常開觸點、電路控制觸點和充氣控制常閉開關；高頻加熱器的電加熱元件和抽氣泵電機，及交流電源和串聯在電氣執行系統電路中的熔斷絲；所述充氣開關常開觸點與抽氣開關常開觸點并聯后，一端連接交流電源，另一端串聯熔斷絲，熔斷絲再依次與抽氣泵電機和電加熱元件串聯，充氣控制常閉開關與電加熱元件并聯后，串聯電路控制觸點的一端，電路控制觸點的另一端連接交流電源，構成電氣執行系統電流回路。
2.根據權利要求1所述的加熱臺恒溫系統，其特征在于所述隔熱層外壁內表面的太空絕熱瓷 層的涂層厚度為5mm，在隔熱層內壁內表面的太空絕熱瓷層的涂層厚度為7mm。
全文摘要
本發明公開一種加熱臺恒溫系統，其特征在于該系統包括由隔熱裝置和溫室氣體伺服供給系統組成的機械裝置部分，及由電氣控制系統、電氣執行系統組成的電氣裝置部分；機械裝置部分的隔熱裝置與供給系統通過氣路連接；電氣裝置部分安裝在隔熱裝置的電氣元件柜中，通過電路連接被控元件；隔熱裝置是垂直截面的上部為圓弧頂下部為矩形組合構成的雙層空腔體，包括隔熱層外壁、內壁、充氣空腔和連接內外壁的上、下連接板，整個充氣空腔具有連通性，且隔熱層外、內壁的內壁分別覆蓋有太空絕熱瓷涂層；電氣控制系統由控制開關、控制繼電器開關及控制電源三部分構成；電氣執行系統由繼電器觸點開關、電氣執行器件、執行電源及保護裝置四部分構成。
文檔編號C23C16/46GK103060776SQ201210583178
公開日2013年4月24日 申請日期2012年12月27日 優先權日2012年12月27日
發明者曹國忠, 劉偉, 郭海霞, 檀潤華 申請人:河北工業大學