專利名稱：一種防水藥真空蒸發鍍膜輔助裝置的制作方法
技術領域：
一種防水藥真空蒸發鍍膜輔助裝置
技術領域：
本實用新型涉及一種PVD(Physical Vapor Deposition)鍍膜裝置,特別指一種防水藥真空蒸發鍍膜輔助裝置。
背景技術：
PVD (Physical Vapor Deposition),指利用物理過程實現物質轉移,將原子或分子由源轉移到基材表面上的過程，具有廣泛的應用，如鏡片的防水膜層的鍍膜過程。目前，鏡片的防水膜是在基片上鍍防水膜形成的，其一般采用蒸發防水藥的方法，在真空鍍膜機內將防水藥均勻鍍制在基片上。具體是在真空環境中，把盛有防水藥的銅坩堝放置在薄片式鑰舟中，鑰舟兩端在通電后發熱升溫，防水藥受熱蒸發，使防水藥沉積到基片表面形成薄膜。用鑰作為加熱元件，主要由于鑰在真空環境中耐高溫，其熔點為2610°C，·而防水藥需在較高溫度才能蒸發。但這種鍍膜技術操作不方便，加熱蒸發不均勻，且存在蒸發發散角度難以控制的關鍵性問題。一般的，防水藥會盛放在一個直徑18*7mm的銅坩堝內，銅坩堝需要平放于鑰舟上方，容易滑落操作危險，并且由于銅坩堝只有底部與鑰舟接觸，熱量局限于底部向上傳遞，導致防水藥蒸發速率不均勻，影響了膜層均勻性，并且由于銅坩堝為簡單向上開口設計，直接導致蒸發發散角度無法控制。又由于防水藥及銅坩堝尺寸設計都為統一規格，對于不同型號真空鍍膜機，真空腔體體積差距較大，基片與坩堝放置距離各不相同，而防水藥蒸發發散角度無法控制，不僅導致大量的浪費了價格昂貴的防水藥，而且防水膜的均勻性也會受到影響。綜上所述，目前這種采用鑰舟作為鍍膜輔助裝置存在如下缺點I、操作不方便需把銅坩堝平放于鑰舟上，操作危險；2、加熱蒸發不均勻銅坩堝只有底面與鑰舟接觸導致蒸發速率不均勻；3、蒸發發散角度難以控制銅坩堝、防水藥規格已統一化，其簡單向上開口設計，使得蒸發角度難以控制；4、鑰舟使用壽命低下，需要經常更換。

實用新型內容本實用新型要解決的技術問題，在于提供一種防水藥真空蒸發鍍膜輔助裝置，采用組合半封閉式鑰鉗鍋代替現有技術中的鑰舟，可以很好地解決操作不便，加熱不均勻，蒸發發散角度難以控制的問題。本實用新型是這樣實現的一種防水藥真空蒸發鍍膜輔助裝置，包括第一鑰配件和第二鑰配件；所述第一鑰配件包括第一內腔組合壁、蓋板以及電源連接柄，所述第一內腔組合壁連接在蓋板的底部，蓋板上設有蒸發孔，電源連接柄連接在蓋板或第一內腔組合壁的一側；所述第二鑰配件包括底座和第二內腔組合壁，第二內腔組合壁連接于底座的上方；且所述第一內腔組合壁和第二內腔組合壁相互卡合定位組合形成一用于容置銅鉗鍋的內腔，并使蓋板上的蒸發孔位于內腔的上方。[0011]所述第一鑰配件的第一內腔組合壁設有第一卡槽和第一卡片，所述第二內腔組合壁設有第二卡槽和第二卡片，且所述第一卡槽與第二卡片的數量相等、第一卡片和第二卡槽的數量相等，所述第一卡片伸入第二卡槽卡合，所述第二卡片伸入第一卡槽卡合。所述第一卡槽、第一卡片、第二卡槽、第二卡片的數量為一，所述第一卡槽位于第二卡槽的上方。所述第一內腔組合壁、蓋板以及電源連接柄一體成型，所述第二鑰配件的底座和
第二內腔組合壁一體成型。本實用新型的優點在于通過第一鑰配件和第二鑰配件組合形成用于容置銅鉗鍋的內腔，形成組合半封閉式鑰鉗鍋，銅鉗鍋內盛有防水藥；在第一鑰配件接上加熱電源電極，置于真空鍍膜機中，此時通電加熱本實用新型的輔助裝置，輔助裝置通過底座及側面的第一內腔組合壁和第二內腔組合壁與銅坩堝的接觸，將熱量均勻傳遞給銅坩堝，使銅坩堝內防水藥蒸發鍍到工件(如鏡片)表面上，形成防水膜。由于蒸發出的防水藥受到蒸發孔 的約束，從而控制了蒸發角；銅坩堝置于內腔中，各個方位都會受到加熱，加熱變得均勻后使防水藥整體蒸發速率變得均勻；鍍膜結束后只需取下第二鑰配件就可以帶出置于底座上的銅坩堝，操作方便安全。

下面參照附圖結合實施例對本實用新型作進一步的說明。圖I是本實用新型輔助裝置的組合狀態結構示意圖。圖2是本實用新型輔助裝置的分解結構示意圖。圖3是本實用新型輔助裝置的第一鑰配件的反面結構示意圖。圖4是第一鑰配件的剖視示意圖。圖5是第二鑰配件的剖視示意圖。圖6是本實用新型輔助裝置的使用狀態的剖視示意圖。
具體實施方式請參閱圖I至圖6所示，顯示本實用新型的防水藥真空蒸發鍍膜輔助裝置10的一較佳實施例，包括第一鑰配件I和第二鑰配件2 ;所述第一鑰配件I包括第一內腔組合壁11、蓋板12以及電源連接柄13，所述第一內腔組合壁11連接在蓋板12的底部，蓋板12上設有蒸發孔122，電源連接柄13連接在蓋板12或第一內腔組合壁11的一側；所述第二鑰配件2包括底座21和第二內腔組合壁22，第二內腔組合壁22連接于底座21的上方；且所述第一內腔組合壁11和第二內腔組合壁22相互卡合定位組合形成一用于容置銅鉗鍋的內腔3，并使蓋板12上的蒸發孔122位于內腔3的上方。其中，蒸發孔122的大小可根據工件(如鏡片)上的防水膜的大小來設計，底座21的高度也可根據蒸發角度的需求來設計，因為底座21高度起到調整防水藥容器到蒸發孔122之間距離的作用，從而輔助調整蒸發角度。所述第一鑰配件I的第一內腔組合壁11設有第一卡槽111和第一卡片112，所述第二內腔組合壁22設有第二卡槽221和第二卡片222，且所述第一卡槽111與第二卡片222的數量相等、第一卡片112和第二卡槽221的數量相等，所述第一卡片112伸入第二卡槽221卡合，所述第二卡片222伸入第一卡槽111卡合。本實施例中，所述第一卡槽111、第一卡片112、第二卡槽221、第二卡片222的數量為一，所述第一卡槽111位于第二卡槽221的上方。所述第一鑰配件I的第一內腔組合壁11、蓋板12以及電源連接柄12 —體成型，所述第二鑰配件2的底座21和第二內腔組合壁22 —體成型。重點如圖6所示，本實用操作過程為把裝有防水藥30的銅坩堝20放在第二鑰配件2的底座21上，將第一鑰配件I與第二鑰配件2通過第一卡槽11 I、第二卡槽221分別與第二卡片222、第一卡片112卡合，使銅鉗鍋置于第一鑰配件I與第二鑰配件2組合形成的內腔3中，在第一鑰配件I接上加熱電源電極，裝配好后，置于真空鍍膜機中，此時通電加熱本實用新型的輔助裝置10，輔助裝置10通過底座21及側面的第一內腔組合壁11和第二內腔組合壁22與銅坩堝20的接觸，將熱量均勻傳遞給銅坩堝20，使銅坩堝20內防水藥蒸發通過蓋板12上的蒸發孔122鍍到工件(如鏡片)表面上，形成防水膜。由于蒸發出的防水藥受到蒸發孔122的約束，從而控制了蒸發角度；銅坩堝20置于內腔3中，各個方位都會 受到加熱，加熱變得均勻后使防水藥整體蒸發速率變得均勻；鍍膜結束后只需取下第二鑰配件2就可以帶出置于底座21上的銅坩堝20，操作方便安全。鍍膜完畢后，先后取下第一鑰配件I和第二鑰配件2，在取出第二鑰配件2同時能帶出盛防水藥的銅坩堝20，操作方便安全。綜上所述，本實用新型的優點在于結構簡單實用，操作方便，壽命長，加熱快，且蒸發角度和防水膜的大小可以控制，從而有效提高鍍膜質量。雖然以上描述了本實用新型的具體實施方式
，但是熟悉本技術領域的技術人員應當理解，我們所描述的具體的實施例只是說明性的，而不是用于對本實用新型的范圍的限定，熟悉本領域的技術人員在依照本實用新型的精神所作的等效的修飾以及變化，都應當涵蓋在本實用新型的權利要求所保護的范圍內。
權利要求1.一種防水藥真空蒸發鍍膜輔助裝置，其特征在于包括第一鑰配件和第二鑰配件；所述第一鑰配件包括第一內腔組合壁、蓋板以及電源連接柄，所述第一內腔組合壁連接在蓋板的底部，蓋板上設有蒸發孔，電源連接柄連接在蓋板或第一內腔組合壁的一側；所述第二鑰配件包括底座和第二內腔組合壁，第二內腔組合壁連接于底座的上方；且所述第一內腔組合壁和第二內腔組合壁相互卡合定位組合形成一用于容置銅鉗鍋的內腔，并使蓋板上的蒸發孔位于內腔的上方。
2.如權利要求I所述的一種防水藥真空蒸發鍍膜輔助裝置，其特征在于所述第一鑰配件的第一內腔組合壁設有第一卡槽和第一卡片，所述第二內腔組合壁設有第二卡槽和第二卡片，且所述第一卡槽與第二卡片的數量相等、第一卡片和第二卡槽的數量相等，所述第—^片伸入第二卡槽卡合，所述第二卡片伸入第—^槽卡合。
3.如權利要求2所述的一種防水藥真空蒸發鍍膜輔助裝置，其特征在于所述第一卡槽、第一卡片、第二卡槽、第二卡片的數量為一，所述第一卡槽位于第二卡槽的上方。
4.如權利要求I所述的一種防水藥真空蒸發鍍膜輔助裝置，其特征在于所述第一內腔組合壁、蓋板以及電源連接柄一體成型，所述第二鑰配件的底座和第二內腔組合壁一體成型。
專利摘要本實用新型提供了一種防水藥真空蒸發鍍膜輔助裝置，包括第一鉬配件和第二鉬配件；所述第一鉬配件包括第一內腔組合壁、蓋板以及電源連接柄，所述第一內腔組合壁連接在蓋板的底部，蓋板上設有蒸發孔，電源連接柄連接在蓋板或第一內腔組合壁的一側；所述第二鉬配件包括底座和第二內腔組合壁，第二內腔組合壁連接于底座的上方；且所述第一內腔組合壁和第二內腔組合壁相互卡合定位組合形成一用于容置銅鉗鍋的內腔，并使蓋板上的蒸發孔位于內腔的上方。采用組合半封閉式鉬鉗鍋代替現有技術中的鉬舟，可以很好地解決操作不便，加熱不均勻，蒸發發散角度難以控制的問題。
文檔編號C23C14/24GK202610312SQ20122015286
公開日2012年12月19日 申請日期2012年4月12日 優先權日2012年4月12日
發明者陳欽忠, 張科, 伊仁杰 申請人:福州阿石創光電子材料有限公司