用于真空處理設備的旋轉臺滑架的制作方法
【專利摘要】本發明涉及一個真空處理設備，具有旋轉臺滑架，其中旋轉臺驅動裝置設置在那個壁體上，該壁體位于真空處理設備的門對面。由此保證沒有其它機構地連接旋轉臺滑架的旋轉臺到旋轉臺驅動裝置上。
【專利說明】用于真空處理設備的旋轉臺滑架
【技術領域】
[0001]本發明涉及一個真空處理設備，具有工件支架，其中該工件支架設計成這樣的旋轉臺，使要被處理的工件在處理過程期間在處理源旁邊經過，通過使旋轉臺圍繞其軸線旋轉。在此將工件這樣裝配在旋轉臺上，使它們在旋轉臺旋轉時執行一次旋轉或多次旋轉、即例如兩次或三次旋轉。按照現有技術旋轉臺一般通過其中心軸驅動。
【背景技術】
[0002]在真空處理設備中處理工件之前必需使工件支架配有工件。在處理之后必需從工件支架中取出工件。這可以直接在真空處理設備上進行。但是為了簡化工件的安裝和取出已知，使旋轉臺這樣裝配在真空室里面，為了安裝工件和取出處理的工件可以從真空室中整體取出旋轉臺。這例如通過裝卸機實現。
[0003]按照另一專業人員公知的方案，使旋轉臺定位在具有輪子的底座上，可以由一個移動靠近真空處理設備的移動車將旋轉臺推到真空處理設備里面。下面將這種配有輪子的旋轉臺稱為旋轉臺滑架。在真空處理設備里面固定旋轉臺滑架的底座并且使中心驅動裝置連接在旋轉臺的軸上。在此缺陷是，為此需要復雜的連接機構，因為一方面為了將旋轉臺推入到真空處理設備里面驅動裝置不能位于路徑上，另一方面為了驅動旋轉臺必需將驅動裝置嵌入到旋轉臺的中心軸里面。要考慮的是，整個機構必需以適合于真空的形式構成。
【發明內容】
[0004]因此期望提供一個裝置供使用，通過它能夠簡單地連接旋轉臺到旋轉臺驅動裝置上。這是本發明的目的。
[0005]按照本發明這·個目的由此實現，對于旋轉臺不選擇中心的驅動裝置，而是選擇通過其周邊或者說通過旋轉臺圓周的驅動裝置。按照本發明在面對真空處理設備開孔的對面一側上設有驅動裝置，并且包括例如一齒輪，在旋轉臺滑架完全插入到真空處理設備里面以后，該齒輪嚙合到位于旋轉臺圓周上的齒環里面，由此所述齒輪能夠通過齒環驅動旋轉臺。
【專利附圖】
【附圖說明】
[0006]下面借助于示例和附圖詳細解釋本發明。
[0007]圖1示出按照本發明裝置的俯視圖，具有插入的旋轉臺滑架和封閉的門，
圖2示出以旋轉臺滑架加載的移動車的俯視圖，
圖3示出在圖2中所示的移動車，它移動靠近敞開的真空室，
圖4示出移動到真空室一半路徑上的旋轉臺滑架。
【具體實施方式】
[0008]按照本發明的優選實施例在真空室里面設有軌道，在其上可以滾動地導引車輪。[0009]在圖2中示出移動車203上的旋轉臺滑架201。旋轉臺滑架201包括旋轉臺205和底座207。旋轉臺205包括具有外齒環211的轉臺209，通過齒環可以驅動旋轉臺205。按照本實施例旋轉臺205還包括齒輪系統213，在其上裝配用于加載工件的工件支架(未示出)。底座207包括輪子215，它們由適合于真空的材料成形。最好由陶瓷材料成形輪子，其結果是，即使它們有時在覆層過程期間處于材料覆蓋，也能長時間無維護地滿足其功能。
[0010]在移動車203上設有兩個軌道217，在其上可以移動旋轉臺滑架的輪子215。兩個軌道分別通過合頁219中斷，由此使它們可以向上翻起。在這樣產生的翻起上最好設有用于操縱翻起的把手221。在軌道217的另一端上設有移動車止擋225。在移動車上此外設有輪子223，使這個移動車203以簡單的方式和方法可以移動到真空室。這在圖3中示出。為了更清晰，省去一些移動車201和旋轉臺滑架203的附圖標記。在圖3中所示的真空室303以敞開的門305示出。移動車201這樣推到真空室303附近，在向下翻時使軌道端部連接在位于真空室里面的對應體、即真空室軌道307上，由此使旋轉臺滑架201可以移動到真空室303里面。在圖4中示出相應的“駛入”。在真空室軌道上設有后端的止擋309和前端的止擋311。前端的止擋311可擺動地構成，它們在移動車203移動靠近敞開的真空室303時并且在旋轉臺滑架201進入到真空室303里面時不會閉鎖路徑。如果旋轉臺滑架201完全移動到真空室303里面，則旋轉臺滑架的外部齒環211嚙合在位于門305對面的壁體里面的旋轉臺驅動裝置101的齒環103里面。止擋309負責，使旋轉臺滑架102的齒環103與旋轉臺205的齒環211不太多地相互嚙合。為了關閉真空室303現在使前端的止擋311旋轉并且關閉門305。在門305關閉時門在前端止擋311上的壓力負責，使前端止擋頂壓旋轉臺滑架，由此使旋轉臺驅動裝置101的齒環103與旋轉臺205的齒環211足夠多地相互嚙合。即，按照這個實施例門305、前端止擋311、旋轉臺滑架201、后端止擋309的交互作用負責旋轉臺驅動裝置101的齒環103與旋轉臺205的齒環211的最佳功能連接，用于可以驅動旋轉臺。
[0011]現在可以抽吸真空處理設備的真空室303，接通旋轉臺驅動裝置101并且執行真空處理步驟。
[0012]該真空處理設備例如 可以是覆層設備。這例如可以是物理和/或化學的氣相淀積設備(PVD和/或CVD)。但是也可以(可能附加地)是腐蝕設備，例如用于清潔和/或激活表面。通過本發明與現有技術相比明顯簡化在處理過程之前和之后的裝載和卸載。特別有利的實施例是，使旋轉臺和旋轉臺驅動裝置以簡單的方式并且沒有附加機構地相互連接。
【權利要求】
1.一種真空處理設備，具有真空室(303)和帶有旋轉臺(205)的旋轉臺滑架(201)，其中所述真空室(303)具有門(305)和旋轉臺驅動裝置(101)，其特征在于，所述旋轉臺驅動裝置(101)是圓周驅動，它在門(305)對面的真空室(303)的壁體上和/或壁體附近位于壁體里面。
2.如權利要求1所述的真空處理設備，其特征在于，在真空室里面設有至少一后端止擋(309)和至少一前端止擋(311)，它們負責，在旋轉臺滑架(201)完全插入到真空室(303)里面和門(305)關閉時使旋轉臺驅動裝置(101)與旋轉臺(205)準備驅動地功能連接。
3.如權利要求2所述的真空處理設備，其特征在于，所述旋轉臺驅動裝置(101)包括齒環(103)，并且所述旋轉臺(205)包括外部的齒環(207)，在旋轉臺滑架(201)完全插入到真空室(303)里面和門(305)關閉時使旋轉臺驅動裝置的齒環(103)嚙合到旋轉臺(205)的外部齒環(207)里面。
4.如權利要求2或3所述的真空處理設備，其特征在于，至少一前端止擋(311)活動地、最好可擺動地構成，它在旋轉臺滑架(201)導入時可以從路徑中轉出來并且在關閉門(305)時至少一前端止擋(311)可以定位在門(305)與旋轉臺滑架(201)之間，由此使旋轉臺滑架(201)固定在真空室(303)里面。
5.一種用于在真空處理設備里面處理工件的方法，具有步驟: -使配有工件支架的旋轉臺滑架(201)安裝要處理的工件， -定位配有工件支架的旋轉臺滑架(201)在移動車(203)的軌道上， -使以旋轉臺滑架(201)和要處理的工件加載的移動車(203)移動靠近敞開了的門(305)的真空處理設備， -將旋轉臺滑架(201)插入到真空處理`設備里面， -關閉真空處理設備，泵浦真空室并執行真空處理步驟， 其特征在于，在關閉真空處理設備時利用位于真空處理設備里面的止擋(309，311)固定旋轉臺滑架(201)，使旋轉臺滑架(201)的旋轉臺(205)與在真空處理設備中位于門(305)對面壁體上和/或壁體附近的旋轉臺驅動裝置(101)功能連接。
【文檔編號】C23C14/50GK103797154SQ201280045556
【公開日】2014年5月14日 申請日期:2012年8月29日 優先權日:2011年9月19日
【發明者】J.格韋亨貝格爾 申請人:歐瑞康貿易股份公司(特呂巴赫)