選擇性線性蒸發設備的制作方法
【專利摘要】所公開的是一種選擇性線性蒸發設備，該設備包括多個線性蒸發器、角度限制板、遮擋構件以及驅動器。所述多個線性蒸發器分別朝向基片蒸發不同的原材料，并且沿著基片的傳輸方向間隔開。該角度限制板朝向線性蒸發器的上側以預定高度安裝在線性蒸發器的相對側處并且限制了從線性蒸發器蒸發的原材料的擴散角度。該遮擋構件安裝在線性蒸發器的上方以及角度限制板之間，并且包括使線性蒸發器向外側打開的打開部以及使線性蒸發器從外側關閉的關閉部。該驅動器驅動遮擋構件以在原材料從線性蒸發器蒸發時將打開部定位在線性蒸發器的上方，并在原材料未從線性蒸發器蒸發時將關閉部定位在線性蒸發器的上方。
【專利說明】選擇性線性蒸發設備
【技術領域】
[0001]本發明涉及一種選擇性線性蒸發設備，并且更特別地涉及一種使用多個線性蒸發器來分別蒸發不同的原材料并在基片上形成所需薄膜的選擇性線性蒸發設備。
【背景技術】
[0002]一種能夠通過自身發光的有機發光顯示設備包括以矩陣的形式連接在掃描線與數據線之間以形成像素的有機發光裝置。該有機發光裝置包括陽極電極、陰極電極、以及有機薄膜層，該有機薄膜層形成在陽極電極與陰極電極之間并且包括孔傳輸層、有機發光層以及電子傳輸層。
[0003]與無機材料不同，在沉淀有機薄膜層的過程中使用的有機材料不需要較高的蒸汽氣壓，但是在較高的溫度下容易分解與退化。由于這種材料的特性，通過將有機材料填充至由鎢、鈦、SUS等制成的容器并加熱該容器以蒸發有機材料，有機薄膜沉淀在基片上。
[0004]被蒸發以沉淀有機薄膜層的原材料被均勻地噴射到基片上。為此，將噴霧嘴聯接至容置蒸發的原材料的容器的外壁上，并且容器中的原材料穿過噴霧嘴并因而被蒸發在基片上。
[0005]圖1為示出了常規線性蒸發設備的示例的視圖。參照圖1，常規線性蒸發設備包括多個線性蒸發器IlaUlb和11c，并且以分別從線性蒸發器IlaUlb和Ilc蒸發的不同的原材料A、B和C在基片10上形成所需的薄膜。
[0006]例如，在不同的原材料A、B和C容置在連接至左側線性蒸發器11a、中間線性蒸發器Ilb以及右側線性蒸發器Ilc的室13中的狀態下，原材料A和B通過左側線性蒸發器Ila和中間線性蒸發器Ilb來蒸發以形成一層薄膜；原材料A和C通過左側線性蒸發器Ila和中間線性蒸發器Ilc來蒸發以形成另一層薄膜；并且原材料B和C通過左側線性蒸發器IIb和中間線性蒸發器Ilc來蒸發以形成又一層薄膜。
[0007]因而，僅選自所述多個線性蒸發器11的某些線性蒸發器用于形成所需的薄膜。如圖1中所示，如果原材料A和B通過左側線性蒸發器Ila和中間線性蒸發器Ilb來蒸發，則未沉淀卻殘留在基片10中的原材料A和B可能落在未用來蒸發原材料C的右側線性蒸發器Ilc上并因而污染了右側線性蒸發器11c。
[0008]因此，落在右側線性蒸發器Ilc上的原材料可能與右側線性蒸發器周圍的原材料C反應，從而在不希望的位置形成薄膜。此外，從右側線性蒸發器Ilc蒸發的原材料C可能包含外來材料A和B，從而使形成在基片10上的薄膜的質量惡化。

【發明內容】

[0009]因此，本發明被構思為解決前述問題，并且本發明的一個方面提供了一種選擇性線性蒸發設備，在該選擇性線性蒸發設備中，線性蒸發器在原材料從線性蒸發器蒸發時向外側打開，而在原材料未從線性蒸發器蒸發時從外側關閉，因而防止了未用來蒸發原材料的線性蒸發器受到除相關原材料以外的其他外來材料的污染。[0010]根據本發明的方面，提供了一種選擇性線性蒸發設備，該設備包括多個線性蒸發器、角度限制板、遮擋構件以及驅動器，其中，所述多個線性蒸發器分別朝向基片蒸發不同的原材料，并且所述多個線性蒸發器沿著基片的傳輸方向間隔開；該角度限制板朝向線性蒸發器的上側以預定高度安裝在線性蒸發器的相對側處并且限制從線性蒸發器蒸發的原材料的擴散角度；該遮擋構件安裝在線性蒸發器的上方以及角度限制板之間，并且包括使線性蒸發器向外側打開的打開部以及使線性蒸發器從外側關閉的關閉部；該驅動器驅動遮擋構件以在原材料從線性蒸發器蒸發時將打開部定位在線性蒸發器的上方，并在原材料未從線性蒸發器蒸發時將關閉部定位在線性蒸發器的上方。
[0011]該遮擋構件的打開部與關閉部可以成排地連接并且沿著橫向于基片的傳輸方向的方向設置。
[0012]該驅動器可以包括第一滑輪、第一馬達、第二滑輪以及第二馬達，其中，該第一滑輪安裝在線性蒸發器的一側處并且打開部的一端纏繞在該第一滑輪上；該第一馬達使第一滑輪旋轉；該第二滑輪安裝在線性蒸發器的另一側處并且關閉部的一端纏繞在該第二滑輪上；該第二馬達使第二滑輪旋轉；以及打開部或關閉部可以通過第一馬達與第二馬達之間的一者的旋轉而選擇性地定位在線性蒸發器的上方。 [0013]關閉部可以通過將在橫向于基片的傳輸方向的方向上具有一定寬度的多個板進行連接來形成。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0014]通過結合附圖對示例性實施方式的以下描述，本發明的以上和/或其他方面將變得明顯并且更加容易理解，在附圖中:
[0015]圖1為示出了常規線性蒸發設備的示例的視圖；
[0016]圖2為示出了根據本發明的實施方式的選擇性線性蒸發設備的視圖；
[0017]圖3為圖2的選擇性線性蒸發設備的遮擋構件的平面圖；
[0018]圖4為用于解解圖2的選擇性線性蒸發設備的遮擋構件的操作的視圖；以及
[0019]圖5為示出了圖2的選擇性線性蒸發設備的遮擋構件的替代性示例的視圖。
【具體實施方式】
[0020]下文中，將參照附圖對根據本發明的選擇性線性蒸發設備的實施方式進行描述。
[0021]圖2為示出了根據本發明的實施方式的選擇性線性蒸發設備的視圖；圖3為圖2的選擇性線性蒸發設備的遮擋構件的平面圖；并且圖4為用于解解圖2的選擇性線性蒸發設備的遮擋構件的操作的視圖。
[0022]參照圖2至圖4，根據本實施方式的選擇性線性蒸發設備100包括多個線性蒸發器110、角度限制板120、遮擋件130以及驅動器，該選擇性線性蒸發設備100使用多個線性蒸發器以分別蒸發不同的原材料并在基片上形成所需的薄膜。
[0023]多個線性蒸發器110沿著傳輸方向Tl間隔開以朝向基片10分別蒸發不同的原材料A、B和C。相應的線性蒸發器110a、110b、IIOc聯接至其中容置有蒸發的原材料A、B和C的室13。
[0024]線性蒸發器110在內部形成有豎直穿透并且使原材料A、B和C從其中經過的蒸發孔(未圖示)，使得容置在室13中的蒸發的原材料A、B和C能夠穿過蒸發孔并朝向基片10蒸發。
[0025]限制從線性蒸發器110蒸發的原材料A、B和C的擴散角度的角度限制板120朝向線性蒸發器110的上側以預定高度安裝在線性蒸發器110的相對側處。
[0026]如果角度限制板120被相對較高地安裝以使基片10與角度限制板120之間的距離變得更窄，那么從線性蒸發器110蒸發的原材料的擴散角度減小。另一方面，如果角度限制板120被相對較低地安裝以使基片10與角度限制板120之間的距離變得更寬，那么從線性蒸發器110蒸發的原材料的擴散角度增大。
[0027]角度限制板120相對于線性蒸發器110分別安裝在線性蒸發器110的相對側處。
[0028]遮擋構件130在原材料A、B、C從線性蒸發器110蒸發時使線性蒸發器110向外側打開，并在原材料A、B、C未從線性蒸發器110蒸發時使線性蒸發器110從外側關閉。
[0029]例如，如圖2所示，如果原材料A和B分別從左側線性蒸發器IlOa與中間線性蒸發器IlOb蒸發，而原材料C卻沒有從右側蒸發器IlOc蒸發，則遮擋構件130中的各個遮擋構件就會使左側線性蒸發器IlOa與中間線性蒸發器IlOb向外側打開，而使右側線性蒸發器IlOc從外側關閉。
[0030]參照圖2和圖3，多個遮擋構件130分別安裝在線性蒸發器110a、IIOb和IlOc中，并且布置在線性蒸發器110上方并位于角度限制板120之間。遮擋構件130包括使線性蒸發器110向外側打開的打開部132、以及使線性蒸發器110從外側關閉的關閉部133。
[0031]遮擋構件的打開部132與關閉部133成排地連接并沿著橫向于基片的傳輸方向的方向T2設置。隨著遮擋構件130沿著橫向于基片的傳輸方向的方向T2直線地往復運動，當打開部132定位在線性蒸發器110的上方時，外側一即，基片10存在的空間一與線性蒸發器110連通，并且當關閉部133`定位在線性蒸發器110的上方時，外側一即，基片10存在的空間一與線性蒸發器110隔開。
[0032]驅動器驅動遮擋構件130以在原材料從線性蒸發器110蒸發時將打開部132定位在線性蒸發器110上方，而在原材料未從線性蒸發器Iio蒸發時將關閉部133定位在線性蒸發器110上方。
[0033]在本實施方式中，該驅動器包括第一滑輪141、第一馬達(未圖示)、第二滑輪142以及第二馬達(未圖示)，以選擇性地纏繞遮擋構件130的兩個端部之間的一者，使得打開部132與關閉部133中的一者能夠選擇性地定位在線性蒸發器110的上方。在此，打開部132與關閉部133可以由能夠纏繞在滑輪上的柔性材料制成。
[0034]參照圖4，第一滑輪141安裝在線性蒸發器110的一側處，使得打開部132的一端能夠纏繞在第一滑輪141上。此外，第二滑輪142安裝在線性蒸發器110的另一側處，使得關閉部133的一端能夠纏繞在第二滑輪142上。第一馬達使第一滑輪141旋轉，并且第二馬達使第二滑輪142旋轉。
[0035]如圖4中(a)所示，當第二馬達用于使第二滑輪142沿順時針方向Cl旋轉時，關閉部133纏繞在第二滑輪142上并且打開部132從第一滑輪141展開，從而打開部132能夠定位在線性蒸發器110的上方。此時，基片110存在的空間與線性蒸發器110連通，使得從線性蒸發器110蒸發的原材料能夠沉淀在基片10上。
[0036]另外，如圖4中(b)所示，當第一馬達用于使第一滑輪141沿逆時針方向C2旋轉時，打開部132纏繞在第一滑輪141上并且關閉部133從第二滑輪142展開，從而關閉部133能夠定位在線性蒸發器110的上方。此時，基片110存在的空間與線性蒸發器110隔開，使得從不同的線性蒸發器110蒸發的原材料不能落在線性蒸發器110上，從而保護了未用來蒸發原材料的線性蒸發器110。
[0037]因而，選擇性地纏繞遮擋構件130的兩個端部之間的一者的前述方法僅需要用于將滑輪安裝在線性蒸發器110的相對側處的空間，從而極大地減小了其中基片10傳輸的室的寬度。
[0038]如上所述，根據本發明的實施方式的選擇性線性蒸發設備在原材料從線性蒸發器蒸發時使線性蒸發器向外側打開，而在原材料未從線性蒸發器蒸發時使線性蒸發器從外側關閉，從而對防止未用來蒸發原材料的線性蒸發器受到除相關原材料以外的其他外來材料的污染產生作用。
[0039]另外，根據本發明的實施方式的前述選擇性線性蒸發設備采用纏繞遮擋構件的兩端來操作遮擋構件的方法，從而對減小原材料在其中蒸發的室的寬度產生作用，并且因而減小了薄膜沉淀設備的尺寸。
[0040]在圖3中示出的實施方式中，遮擋構件130的關閉部133可以以薄布塊的形式制造，但卻不限于此。替代性地，如圖5中所示，遮擋構件130’的關閉部133’可以通過將在橫向于基片的傳輸方向的方向T2上具有一定寬度的多個板136進行連接來制造。
[0041]根據本發明，提供了一種如下選擇性線性蒸發設備，該設備能夠防止未用來蒸發原材料的線性蒸發器受到除相關原材料以外的其他外來材料的污染。
[0042]另外，根據本發明，提供了一種如下選擇性線性蒸發設備，該設備能夠減小原材料在其中蒸發的室的寬度，從而減小薄膜沉淀設備的尺寸。
[0043]盡管已經示出并描述了本發明的幾個示例性實施方式，但本領域的技術人員將會理解的是，在不背離本發明的原理和精神的情況下可以對這些實施方式做出改變，本發明的范圍限定在所附權利要求及其等同替代中。
【權利要求】
1.一種選擇性線性蒸發設備，包括: 多個線性蒸發器，所述多個線性蒸發器分別朝向基片蒸發不同的原材料，并且所述多個線性蒸發器沿著所述基片的傳輸方向間隔開； 角度限制板，所述角度限制板朝向所述線性蒸發器的上側以預定高度安裝在所述線性蒸發器的相對側處，并且限制從所述線性蒸發器蒸發的原材料的擴散角度； 遮擋構件，所述遮擋構件安裝在所述線性蒸發器的上方并位于所述角度限制板之間，并且所述遮擋構件包括使所述線性蒸發器向外側打開的打開部以及使所述線性蒸發器從外側關閉的關閉部；以及 驅動器，所述驅動器驅動所述遮擋構件，以在所述原材料從所述線性蒸發器蒸發時將所述打開部定位在所述線性蒸發器的上方，并在所述原材料未從所述線性蒸發器蒸發時將所述關閉部定位在所述線性蒸發器的上方。
2.根據權利要求1所述的選擇性線性蒸發設備，其中，所述遮擋構件的所述打開部與所述關閉部成排地連接并且沿著橫向于所述基片的所述傳輸方向的方向設置。
3.根據權利要求2所述的選擇性線性蒸發設備，其中，所述驅動器包括第一滑輪、第一馬達、第二滑輪以及第二馬達，其中，所述第一滑輪安裝在所述線性蒸發器的一側處并且所述打開部的一端纏繞在所述第一滑輪上；所述第一馬達使所述第一滑輪旋轉；所述第二滑輪安裝在所述線性蒸發器的另一側處并且所述關閉部的一端纏繞在所述第二滑輪上；所述第二馬達使所述第二滑輪旋轉； 以及 所述打開部或所述關閉部通過所述第一馬達與所述第二馬達之間的一者的旋轉而選擇性地定位在所述線性蒸發器的上方。
4.根據權利要求1所述的選擇性線性蒸發設備，其中，所述關閉部通過將在橫向于所述基片的所述傳輸方向的方向上具有一定寬度的多個板進行連接而形成。
【文檔編號】C23C14/56GK103628029SQ201310369910
【公開日】2014年3月12日 申請日期:2013年8月22日 優先權日:2012年8月22日
【發明者】崔虎重, 鄭基澤, 姜明成, 宋旭 申請人:Snu精密股份有限公司