技術(shù)特征：
1.一種用于反應(yīng)腔的屏蔽結(jié)構(gòu)，所述反應(yīng)腔包括介質(zhì)窗，其特征在于，所述屏蔽結(jié)構(gòu)包括遮擋件和遮擋層，所述遮擋層設(shè)置在所述介質(zhì)窗的內(nèi)壁上，且所述遮擋層包括至少一個缺口，以使所述遮擋層在周向上不連續(xù)，所述遮擋件設(shè)置在所述介質(zhì)窗的內(nèi)壁上并位于所述缺口中，且所述遮擋件凸出于所述介質(zhì)窗的內(nèi)壁，所述遮擋件與所述遮擋層之間形成有間隙以作為射頻能量傳送通道；所述遮擋層和所述遮擋件的材質(zhì)為金屬良導(dǎo)體。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的屏蔽結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述遮擋件覆蓋所述缺口。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的屏蔽結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述遮擋件包括遮擋部和連接部，所述遮擋部與所述連接部固定連接，所述連接部固定設(shè)置在所述介質(zhì)窗的內(nèi)壁上并位于所述缺口中，所述遮擋部延伸至覆蓋所述...