一種升降式蒸發機臺對中快速測試機構及其測試方法
【專利摘要】本發明公開了一種升降式蒸發機臺對中快速測試機構及其測試方法，屬于蒸發機臺測試領域。一種升降式蒸發機臺對中快速測試機構，包括測厚蓋子、鐘罩、三角架、固定三角架座、電子槍、透明膠版和發射點光源調節裝置，測厚蓋子位于鐘罩頂部，測厚蓋子內置有測試厚度的傳感器探頭，鐘罩中部安裝有固定三角架座，鐘罩外部側面設置有導向桿，導向桿底部與鐘罩底部連接，導向桿上設置有定位夾；發射點光源調節裝置設置于電子槍坩堝位置，發射點光源調節裝置由點光源器和固定夾套組成；透明膠版設置于三角架上方或測厚蓋子上方，透明膠版上設置有測厚蓋子定位點標記和三角架定位點。它可以直觀發現設備使用過程中產生的誤差，避免測試點偏離中心線、準確性高、方便快捷。
【專利說明】一種升降式蒸發機臺對中快速測試機構及其測試方法

【技術領域】
[0001] 本發明涉及蒸發機臺測試領域，更具體地說，涉及一種升降式蒸發機臺對中快速 測試機構及其測試方法。

【背景技術】
[0002] 隨著蒸發機臺在微電子行業的應用，和日益迅速發展的微電子技術的要求越來越 高，蒸發鍍膜的缺點也在影響著產品的品質。蒸發鍍膜在制膜速度快，純度高等優點的同 時，工藝的重復性不夠好，膜厚不易控制的缺點也越來越制約著該工藝的發展。消除工藝過 程中設備自身設計的缺陷引起對工藝的影響是解決和改進蒸發技術的一種比較切實可行 的途徑。
[0003] 在真空下金屬原子運動基本是直線，蒸發源的蒸發特性是具有方向性的，若原子 運行方向與垂直方向為Θ，測試面垂直點與原子運行方向為φ，貝Ij在Θ角方向蒸發材料 的質量與COS Θ成正比。dm = m/31 XCOS Θ Xdco。在測試面上形成的厚度為t = (m/ π P ) X (C0S Θ COSc^/r2) = (mh2)/[ π p (h2+x2)2]。h為蒸發源到測試面的垂直距離，X為 測試面偏離垂直基線的距離。測試最大厚度h = πιΛ π p h2)，實際測試厚度t = h/Tl+U/ h)2]。按照計算公式，偏離中心越大，實際厚度會越薄，在進行工藝過程中會影響實際的蒸 發鍍膜的厚度。
[0004] 蒸發制膜的缺點在升降式蒸發機臺中體現比較明顯，因每次需要提升鐘罩，經常 下落的位置可能會發生偏移，但不會及時的發現，只有發生品質事故時，才有可能發現膜厚 測試監控點已經偏離中心。
[0005] 目前在這種升降蒸發臺是借助于導竿目測方法確定三點是否在同一條直線上，這 種方法是需要腔體提升一端距離，目的內部需要光線。由于腔是升起的，會存在一定的角 度，與實際工作時的位置不一樣。測試點容易偏離中心線，使用過程中容易產生誤差，準確 性差。


【發明內容】

[0006] 1.要解決的技術問題
[0007] 針對現有技術中存在的需要經常提升腔體，測試點容易偏離中心線、誤差高、準確 性差、操作不便的問題，本發明提供了一種升降式蒸發機臺對中快速測試機構及其測試方 法。它可以直觀發現設備使用過程中產生的誤差，避免測試點偏離中心線、準確性高、方便 快捷。
[0008] 2.技術方案
[0009] -種升降式蒸發機臺對中快速測試機構，包括測厚蓋子、鐘罩、三角架、固定三角 架座、電子槍、透明膠版和發射點光源調節裝置，所述的測厚蓋子位于鐘罩頂部，測厚蓋子 內置有測試厚度的傳感器探頭，所述的鐘罩中部安裝有固定三角架座，所述的三角架安裝 于固定三角架座頂部，三角架中央有孔，鐘罩底部設置有電子槍，電子槍內放置有坩堝；鐘 罩外部側面設置有導向桿，導向桿底部與鐘罩底部連接，導向桿上設置有定位夾，定位夾連 接于鐘罩的側面。
[0010] 所述的發射點光源調節裝置設置于電子槍坩堝位置，發射點光源調節裝置由點光 源器和固定夾套組成；固定夾套位于發射點光源調節裝置中部，點光源器固定在固定夾套 的上方，固定夾套底部設置有三只均勻分布的地腳，其中兩只為固定地腳，一只為調節地 腳；所述的透明膠版設置于三角架上方或測厚蓋子上方，透明膠版上設置有測厚蓋子定位 點標記和三角架定位點。
[0011] 更進一步的，所述的調節地腳為螺紋式旋鈕，通過正反旋轉旋鈕可上下進行高度 調節。
[0012] 更進一步的，所述的固定三角架座底部為圓環，圓環通過支架與三角架相連。
[0013] 更進一步的，所述的測厚蓋子內置的傳感器探頭、三角架的中央孔和電子槍內部 坩堝中央心自上到下呈一條直線，保證生產工藝的重復性。
[0014] 更進一步的，所述的透明膠版以中心點為圓心，有兩個分別以測厚蓋子直徑和三 角架上的中央孔孔徑為直徑的同心圓，測厚蓋子所對應的同心圓直徑大于三角架孔所對應 的同心圓直徑，測厚蓋子定位點標記在測厚蓋子所對應的同心圓上，三角架定位點在三角 架中央孔所對應的同心圓上。
[0015] 一種采用所述的升降式蒸發機臺對中快速測試機構的測試方法，其步驟如下：
[0016] (a)將發射點光源調節裝置放置在電子槍的坩堝內，發射點光源調節裝置要求在 坩堝的中心垂直位置上，打開點光源器；
[0017] (b)將透明膠版水平放置在三角架上，三角架定位點與三角架中央孔的孔邊緣位 置對應，觀察點光源在透明膠版上的投影，通過調節發射點光源調節裝置底部的調節地腳 讓點光源投影落在透明膠版的中心上，此位置即為三角架中央孔的中心；
[0018] (C)、取出透明膠版，放下鐘罩，打開鐘罩頂部放置測厚裝置的測厚蓋子，將透明膠 版置于測厚蓋子上方，將測厚蓋子定位點標記與測厚蓋子邊緣對應，透明膠版的中心位置 是測試裝置最終需要接收到位的確認點位置；
[0019] (d)、通過確定點光源在透明膠版上的位置，調節鐘罩側面的導向桿，每調整一次， 需要鐘罩重新上升下降一次，保證調整的有效性，直到點光源位于透明膠版中心位置，鎖緊 定位夾；
[0020] (e)、升降鐘罩3-5次，測試觀察是否每次點光源的位置都在中心位置上，若都落 在中心位置上則進行下一步，不在中心位置上需要重新進行（a)-(d)步驟，直到成功；
[0021] (f)、安裝好測厚裝置的測厚蓋子，取出的發射點光源調節裝置，完成此次調節測 試。
[0022] 3.有益效果
[0023] 相比于現有技術，本發明的優點在于：
[0024] (1)本實驗裝置使用，使用對中測試機構能夠通過玻璃罩直觀觀察測試蒸發源位 置，調整具有直觀性，更加迅速便捷；
[0025] (2)本實驗裝置使用可調式三角定位光源發射裝置校準機臺坩堝、三角架和膜厚 測試點在同一條直線，實現減少設備日常運動產生的位移誤差，使產品的工藝的重復性變 好，方便定期的設備性能的檢查的目的；
[0026] (3)鐘罩外部側面設置有導向桿和定位夾，導向桿底部與鐘罩底部連接，通過導向 桿和定位夾可以快速調整鐘罩角度，多次進行調整，可以保證調整的有效性，保證作為定期 校驗設備的重復性；
[0027] (4)使用發射點光源調節裝置，可進行移動調整，方便快捷，可在多個測試機構上 進行使用，成本降低；
[0028] (5)發射點光源調節裝置上使用螺紋式旋鈕的調節地腳，通過正反旋轉旋鈕可上 下進行高度調節，操作簡單、快速，提高效率，使得測試更加便捷；
[0029] (6)使用帶有測厚蓋子定位點標記和三角架定位點的透明膠版，可以準確的對裝 置定位點進行確認，可移動性強，可以直觀觀察裝置調節到位，準確快捷。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0030] 圖1 一種升降式蒸發機臺對中快速測試機構整體結構示意圖；
[0031] 圖2發射點光源調節裝置放大示意圖；
[0032] 圖3透明膠版放大示意圖；
[0033] 圖中標號說明：
[0034] 1、測厚蓋子；2、鐘罩；3、三角架；4、固定三角架座；5、電子槍；6、定位夾；7、導向 桿；8、點光源器；9、固定夾套；10、固定地腳；11、調節地腳；12、測厚蓋子定位點標記；13、 三角架定位點；14、透明膠版。

【具體實施方式】
[0035] 下面結合說明書附圖和具體的實施例，對本發明作詳細描述。
[0036] 實施例1
[0037] -種升降式蒸發機臺對中快速測試機構，如圖1，包括測厚蓋子1、鐘罩2、三角架 3、固定三角架座4、電子槍5、透明膠版14和發射點光源調節裝置。鐘罩2為透明玻璃制 成，測厚蓋子1位于鐘罩2頂部，測厚蓋子1內置有測試厚度的傳感器探頭。鐘罩2中部安 裝有固定三角架座4,所述的三角架3安裝于固定三角架座4頂部，固定三角架座4底部為 圓環，圓環通過支架與三角架3相連，三角架3中央有孔，鐘罩2底部設置有電子槍5,電子 槍5內放置有坩堝。鐘罩2外部側面設置有導向桿7,所述的導向桿7底部與鐘罩2底部連 接，導向桿7上設置有定位夾6,定位夾6連接于鐘罩2側面。測厚蓋子1內置的傳感器探 頭、三角架3的中央孔和電子槍5內部坩堝中央心自上到下呈一條直線，這種設置方式實現 減少設備日常運動產生的位移誤差，使產品的工藝的重復性變好，方便定期的設備性能的 檢查的目的。
[0038] 使用發射點光源調節裝置優點在于可進行移動調整，方便快捷，可在多個測試機 構上進行使用，成本降低，如圖2,發射點光源調節裝置設置于電子槍5坩堝位置，發射點光 源調節裝置由點光源器8和固定夾套9組成；固定夾套9位于發射點光源調節裝置中部。通 過導向桿7和定位夾6可以快速調整鐘罩2角度，多次進行調整，可以保證調整的有效性， 保證作為定期校驗設備的重復性。點光源器8固定在固定夾套9的上方，固定夾套9底部 設置有三只均勻分布的地腳，其中兩只為固定地腳10, 一只為調節地腳11，調節地腳11為 螺紋式旋鈕，通過正反旋轉旋鈕可上下進行高度調節，操作簡單、快速，提高效率，使得測試 更加便捷。
[0039] 如圖3,透明膠版14設置于三角架3上方或測厚蓋子1上方，透明膠版14上設置 有測厚蓋子定位點標記12和三角架定位點13。透明膠版14以中心點為圓心，有兩個分別 以測厚蓋子1直徑和三角架3上的中央孔孔徑為直徑的同心圓，測厚蓋子1所對應的同心 圓直徑大于三角架3孔所對應的同心圓直徑，測厚蓋子定位點標記12在測厚蓋子1所對應 的同心圓上，三角架定位點13在三角架3中央孔所對應的同心圓上。可以準確的對裝置定 位點進行確認，可移動性強，可以直觀觀察裝置調節到位，準確快捷。本實驗裝置使用，使用 對中測試機構能夠通過玻璃鐘罩2直觀觀察測試蒸發源位置，調整具有直觀性，更加迅速 便捷。
[0040] 使用上述一種升降式蒸發機臺對中快速測試機構的測試方法，其步驟如下：
[0041] (a)將發射點光源調節裝置放置在電子槍5的坩堝內，發射點光源調節裝置要求 在坩堝的中心垂直位置上，打開點光源器8。
[0042] (b)將透明膠版14水平放置在三角架3上，三角架定位點13與三角架3中央孔的 孔邊緣位置對應，觀察點光源在透明膠版14上的投影，調節發射點光源調節裝置底部的調 節地腳11，點光源投影落在透明膠版14的中心上，此位置即為三角架3中央孔的中心。
[0043] (c)、取出透明膠版14,放下鐘罩2,打開鐘罩2頂部放置測厚裝置的測厚蓋子1，將 透明膠版14置于測厚蓋子1上方，將測厚蓋子定位點標記12與測厚蓋子1邊緣對應，透明 膠版14的中心位置是測試裝置最終需要接收到位的確認點位置。
[0044] (d)、通過確定點光源在透明膠版14上的位置，調節鐘罩2側面的導向桿7,每調 整一次，鐘罩2重新上升下降一次，保證調整的有效性，直到點光源位于透明膠版14中心位 置，鎖緊定位夾6。
[0045] (e)、鐘罩2升降5次，測試觀察是否每次點光源的位置都在中心位置上，點光源的 位置都落在中心位置上。
[0046] (f)、安裝好測厚裝置的測厚蓋子1，取出的發射點光源調節裝置，完成此次調節測 試。
[0047] 實施例2
[0048] 實施例2與實施例1基本相同，不同之處在于，一種升降式蒸發機臺對中快速測試 機構的測試方法步驟e中鐘罩2升降3次測試觀察是否每次點光源的位置都在中心位置 上，點光源的位置未都落在中心位置上，重復進行（a)-(d)步驟，成功使得點光源的位置始 終落在中心位置上。
[0049] 以上示意性地對本發明創造及其實施方式進行了描述，該描述沒有限制性，附圖 中所示的也只是本發明創造的實施方式之一，實際的結構并不局限于此。所以，如果本領域 的普通技術人員受其啟示，在不脫離本創造宗旨的情況下，不經創造性的設計出與該技術 方案相似的結構方式及實施例，均應屬于本專利的保護范圍。
【權利要求】
1. 一種升降式蒸發機臺對中快速測試機構，包括測厚蓋子（I)、鐘罩（2)，其特征在于： 還包括三角架（3)、固定三角架座（4)、電子槍（5)、透明膠版（14)和發射點光源調節裝置， 所述的測厚蓋子（1)位于鐘罩（2)頂部，測厚蓋子（1)內置有測試厚度的傳感器探頭，所述 的鐘罩（2)中部安裝有固定三角架座（4)，所述的三角架（3)安裝于固定三角架座（4)頂 部，三角架（3)中央有孔，鐘罩（2)底部設置有電子槍（5)，電子槍（5)內放置有坩堝；所述 的鐘罩（2)外部側面設置有導向桿（7)，所述的導向桿（7)底部與鐘罩（2)底部連接，導向 桿（7)上設置有定位夾（6)，定位夾（6)連接于鐘罩（2)側面； 所述的發射點光源調節裝置設置于電子槍（5)坩堝位置，發射點光源調節裝置由點光 源器（8)和固定夾套（9)組成；固定夾套（9)位于發射點光源調節裝置中部，點光源器（8) 固定在固定夾套（9)的上方，固定夾套（9)底部設置有三只均勻分布的地腳，其中兩只為固 定地腳（10)，一只為調節地腳（11);所述的透明膠版（14)設置于三角架（3)上方或測厚蓋 子（1)上方，透明膠版（14)上設置有測厚蓋子定位點標記（12)和三角架定位點（13)。
2. 根據權利要求1所述的一種升降式蒸發機臺對中快速測試機構，其特征在于：所述 的調節地腳（11)為螺紋式旋鈕，通過正反旋轉旋鈕可上下進行高度調節。
3. 根據權利要求1所述的一種升降式蒸發機臺對中快速測試機構，其特征在于：所述 的固定三角架座（4)底部為圓環，圓環通過支架與三角架（3)相連。
4. 根據權利要求1或2所述的一種升降式蒸發機臺對中快速測試機構，其特征在于： 所述的測厚蓋子（1)內置的傳感器探頭、三角架（3)的中央孔和電子槍（5)內部坩堝中央 心自上到下呈一條直線。
5. 根據權利要求2或3所述的一種升降式蒸發機臺對中快速測試機構，其特征在于： 所述的透明膠版（14)以中心點為圓心，有兩個分別以測厚蓋子（1)直徑和三角架（3)上的 中央孔孔徑為直徑的同心圓，測厚蓋子（1)所對應的同心圓直徑大于三角架（3)孔所對應 的同心圓直徑，測厚蓋子定位點標記（12)在測厚蓋子（1)所對應的同心圓上，三角架定位 點（13)在三角架（3)中央孔所對應的同心圓上。
6. -種采用權利要求1所述的升降式蒸發機臺對中快速測試機構的測試方法，其步驟 如下： (a) 將發射點光源調節裝置放置在電子槍（5)的坩堝內，發射點光源調節裝置要求在 坩堝的中心垂直位置上，打開點光源器（8); (b) 將透明膠版（14)水平放置在三角架（3)上，三角架定位點（13)與三角架（3)中央 孔的孔邊緣位置對應，觀察點光源在透明膠版（14)上的投影，通過調節發射點光源調節裝 置底部的調節地腳（11)讓點光源投影落在透明膠版（14)的中心上，此位置即為三角架中 央孔的中心； (c) 、取出透明膠版（14)，放下鐘罩（2)，打開鐘罩（2)頂部放置測厚裝置的測厚蓋子 (1)，將透明膠版（14)置于測厚蓋子（1)上方，將測厚蓋子定位點標記（12)與測厚蓋子（1) 邊緣對應，透明膠版（14)的中心位置是測試裝置最終需要接收到位的確認點位置； (d) 、通過確定點光源在透明膠版（14)上的位置，調節鐘罩（2)側面的導向桿（7)，每 調整一次，需要鐘罩（2)重新上升下降一次，保證調整的有效性，直到點光源位于透明膠版 (14)中心位置，鎖緊定位夾（6); (e) 、升降鐘罩（2) 3-5次，測試觀察是否每次點光源的位置都在中心位置上，若都落在 中心位置上則進行下一步，不在中心位置上需要重新進行（a)-(d)步驟，直到成功； (f)、安裝好測厚裝置的測厚蓋子（1)，取出的發射點光源調節裝置，完成此次調節測 試。
【文檔編號】C23C14/24GK104215208SQ201410506296
【公開日】2014年12月17日 申請日期:2014年9月26日 優先權日:2014年9月26日
【發明者】談步亮, 劉韻吉, 楊敏紅, 何慧強, 陳道友 申請人:桑德斯微電子器件（南京）有限公司