本發(fā)明涉及一種用于鋼水二次精煉的干式機械真空泵脫氣系統(tǒng)及脫氣方法，尤其涉及VD、VOD、RH、VAD、VAR干式機械泵鋼水真空脫氣系統(tǒng)。

背景技術(shù)：
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近幾年來，隨著市場對優(yōu)質(zhì)鋼需求的不斷提升，鋼液真空處理成為了鋼鐵冶煉中不可或缺的一個步驟。對鋼液進行真空處理有如下好處：

◆ 降低鋼液中的氣體成分（H，N）含量；

◆ 凈化提純鋼液；

◆ 降低碳含量。

鋼液真空處理所需的真空度根據(jù)真空處理形式的不同而各不相同，最常見的不外乎要求真空度達到67Pa的“深真空脫氣”或“深真空自動脫碳”，或是要求真空度控制在8KPa-15KPa之間的吹氧脫碳處理。

現(xiàn)階段廣為人知并且在鋼廠中廣泛應(yīng)用的傳統(tǒng)的抽真空方式是使用蒸汽噴射泵進行抽真空。但是，蒸汽噴射泵的耗能巨大，維護困難，并且在很多情況下難以進行自動化控制。

隨著市場上出現(xiàn)了抽氣能力可達到100000m³/h的機械真空泵，機械泵抽氣技術(shù)應(yīng)用在了鋼液真空脫氣處理當中。現(xiàn)在，在二次冶金流程中使用機械泵進行真空處理在鋼鐵行業(yè)中正漸漸成為一種潮流。相比于傳統(tǒng)的使用蒸汽噴射泵的技術(shù)來說，這一新技術(shù)的優(yōu)勢是毫無爭議的。除了大幅度降低能源消耗之外，其優(yōu)勢還包括：

◆ 靈活性——新型真空設(shè)備可以通過一鍵式的操作來進行啟動或停止；

◆ 減少對環(huán)境的影響——進行真空處理時幾乎不排放任何有害物質(zhì)；

◆ 占地面積更小，節(jié)約空間；

◆ 低維護，高穩(wěn)定性。

目前爐外精煉脫氣使用的干式泵系統(tǒng)，通常采用數(shù)十套模塊小氣量干式機械真空泵組并聯(lián)進行，每個模塊機械真空泵組依次串聯(lián)一級羅茨真空泵、二級羅茨真空泵和三級螺桿真空泵；三級螺桿真空泵為兩個并聯(lián)的結(jié)構(gòu)。

但是，這種結(jié)構(gòu)這種配置機械真空泵數(shù)量高達幾十臺，若一臺機械真空泵出現(xiàn)故障時，同一單元的其它機械真空泵也將無法運行，這就使整個干式機械泵抽真空系統(tǒng)的可靠性降低，使得系統(tǒng)備機數(shù)量增加。

進一步，采用各級真空泵組并聯(lián)，每一級泵組再串聯(lián)的方式，是目前比較先進的泵組布置形式，但這種布置形式的缺點是：設(shè)計安裝時采用3級或4級布置，生產(chǎn)成本比較高。

技術(shù)實現(xiàn)要素：
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本發(fā)明的目的在于提供一種節(jié)能降耗，泵組運行效率高的用于鋼水二次精煉的干式機械真空泵脫氣系統(tǒng)及脫氣方法。

技術(shù)解決方案：

用于鋼水二次精煉的干式機械真空泵脫氣系統(tǒng)，包括：真空主隔離閥、過濾器、4級串聯(lián)泵組，其特征在于，第三級泵與第四級泵通過管道連接，管道上設(shè)有蝶閥，用于將4級泵系統(tǒng)切換成3級泵系統(tǒng)，第三級泵組與第四級泵組并聯(lián)設(shè)置。

進一步：所述第一級泵組、第二級泵組、第三級采用羅茨機械真空泵，第四級泵組采用螺桿機械真空泵，第一級泵組至第四級泵組中，級與級之間采用串聯(lián)設(shè)置；每一級泵組中，泵與泵之間采用并聯(lián)設(shè)置，形成大串連、小并聯(lián)的真空泵系統(tǒng)。

進一步：所述真空主隔離閥安裝管路上設(shè)有旁路，旁路上安裝有旁路切斷閥，所述旁路切斷閥與真空主隔離閥并聯(lián)設(shè)置。

進一步：過濾器包括：殼體，殼體上部開有出風口，下部設(shè)有進風口，底部開有出灰口，殼體內(nèi)設(shè)布袋過濾器和旋風過濾器，所述旋風過濾器置于布袋過濾器下方，所述進風口設(shè)置在旋風過濾器頂部下方，所述出風口置于布袋過濾器頂部上方；布袋過濾器頂部與出風口之間的殼體安裝有氮氣脈沖吹掃系統(tǒng)，所述氮氣脈沖吹掃系統(tǒng)的氮氣管穿入殼體內(nèi)，置于殼體內(nèi)的氮氣管上安裝有噴嘴。

所述旋風過濾器形狀為錐形。

所述殼體頂設(shè)有帶有安全閥的蓋體。

用于鋼水二次精煉的干式機械真空泵脫氣系統(tǒng)脫氣方法，其特征在于，采用RH方法步驟如下：

（一）預真空狀態(tài)：

1）執(zhí)行步驟K1，真空脫氣系統(tǒng)處于停止狀態(tài)；

2）執(zhí)行步驟K2，接到預真空指令，預真空程序作出響應(yīng)，準備進入預真空狀態(tài)；

3）執(zhí)行步驟K3，機械真空泵系統(tǒng)啟動，第四級泵開啟，第四級泵轉(zhuǎn)速達到5Hz后，開啟第四級泵切斷閥門；

4）執(zhí)行步驟K4，過濾器進口切斷閥、出口切斷閥開啟；

5）執(zhí)行步驟K5，系統(tǒng)管道到達10Kpa后，進入預真空狀態(tài)，準備真空處理；

6）執(zhí)行步驟K6，真空開始程序響應(yīng)，開始真空脫氣處理狀態(tài)；

7）執(zhí)行步驟K7，真空處理結(jié)束后，處理停止，回到預真空狀態(tài)K5，等待下一個處理周期；

8）執(zhí)行步驟K8，全部真空處理完成后，系統(tǒng)停止程序響應(yīng)，預真空狀態(tài)停止，回到步驟K1，真空脫氣系統(tǒng)停止；

（二）真空脫氣處理狀態(tài)：

高真空運行模式：

1）執(zhí)行步驟L1，系統(tǒng)處于預真空狀態(tài)；

2）執(zhí)行步驟L2，真空脫氣處理開始，開啟主閥旁路閥門，系統(tǒng)壓力回升；

3）執(zhí)行步驟L3，當系統(tǒng)壓力降到20Kpa—35Kpa時，第三級泵組啟動，第三級泵組轉(zhuǎn)速達到5Hz后自動開啟第三級泵組切斷閥門，旁通閥門關(guān)閉；

4）執(zhí)行步驟L4，主閥前后壓力差小于5Kpa-8Kpa時，開啟主閥，關(guān)閉主閥旁路閥門（5）；

5）執(zhí)行步驟L5，系統(tǒng)壓力降到5Kpa-15Kpa，第二級泵組啟動，泵轉(zhuǎn)速達到5Hz后開啟第二級泵組切斷閥門，旁通閥門關(guān)閉；

6）執(zhí)行步驟L6，系統(tǒng)壓力降到2Kpa-5Kpa時，第一級泵組啟動，泵轉(zhuǎn)速達到5Hz后開啟第一級泵切斷閥門，旁通閥門關(guān)閉；

7）執(zhí)行步驟L7，此時的系統(tǒng)狀態(tài)為，第四級泵組、第三級泵組、第二級泵組、第一級泵組均處于正常工作狀態(tài)，機械泵真空脫氣系統(tǒng)處于完全啟動，進入深真空狀態(tài)，鋼水開始脫氣；

8）執(zhí)行步驟L8，吹氧模式：鋼水處理過程中，當程序選為吹氧模式時，普通過濾器進出口切斷閥關(guān)閉，耐高溫過濾器保持開啟狀態(tài)，第一、二級泵組旁通閥門打開，第一、二級泵組切斷閥關(guān)閉，第一、二級泵組停止運轉(zhuǎn)，第三、四級泵組處于工作狀態(tài)，吹氧開始。

9）執(zhí)行步驟L9，吹氧結(jié)束后，切換至高真空模式；收到信號后，普通過濾器進、出口切斷閥開啟，恢復高真空運行模式； 執(zhí)行步驟L5、6、7，繼續(xù)進行鋼水脫氣處理；

10）執(zhí)行步驟L10，鋼水脫氣處理停止后，第一級泵組、第二級泵組、第三級泵組順序停止工作，開啟相應(yīng)的旁路切斷閥；

11）執(zhí)行步驟L11，第四級泵組繼續(xù)運轉(zhuǎn)，系統(tǒng)從真空狀態(tài)回到預真空狀態(tài)。

本發(fā)明另一種實施方式：系統(tǒng)中的4級泵組切換為3級泵組時，

預真空狀態(tài)采用如下步驟：

1）執(zhí)行步驟M1，真空脫氣系統(tǒng)處于停止狀態(tài)；

2）執(zhí)行步驟M2，接到預真空指令，預真空程序作出響應(yīng)，準備進入預真空狀態(tài)；

3）執(zhí)行步驟M3，機械真空泵系統(tǒng)啟動，第四級泵開啟，第四級泵（3d）轉(zhuǎn)速達到5Hz后，開啟第四級泵切斷閥門；

旁通閥門（8c）開啟，第三級泵組啟動，第三級泵組轉(zhuǎn)速達到5Hz后自動開啟第三級泵組切斷閥門；

4）執(zhí)行步驟M4，過濾器進口切斷閥、出口切斷閥開啟；

5）執(zhí)行步驟M5，系統(tǒng)管道到達10Kpa后，進入預真空狀態(tài)，旁通閥門關(guān)閉，準備真空處理，真空處理方法與4級泵組相同。

本發(fā)明第三種實施方式：當采用VD時高真空運行模式：采用如下步驟

1）執(zhí)行步驟L1，系統(tǒng)處于預真空狀態(tài)；

2）執(zhí)行步驟L2，真空脫氣處理開始，開啟主閥旁路閥門，系統(tǒng)壓力回升；

3）執(zhí)行步驟L3，當系統(tǒng)壓力降到20Kpa—35Kpa時，第三級泵組啟動，第三級泵組轉(zhuǎn)速達到5Hz后自動開啟第三級泵組切斷閥門，旁通閥門關(guān)閉；

4）執(zhí)行步驟L4，主閥前后壓力差小于5Kpa-8Kpa時，開啟主閥，關(guān)閉主閥旁路閥門；

5）執(zhí)行步驟L5，系統(tǒng)壓力降到5Kpa-15Kpa，第二級泵組啟動，泵轉(zhuǎn)速達到5Hz后開啟第二級泵組切斷閥門，旁通閥門關(guān)閉；

6）執(zhí)行步驟L6，系統(tǒng)壓力降到2Kpa-5Kpa時，第一級泵組啟動，泵轉(zhuǎn)速達到5Hz后開啟第一級泵切斷閥門，旁通閥門關(guān)閉；

7）執(zhí)行步驟L7，此時的系統(tǒng)狀態(tài)為，第四級泵組、第三級泵組、第二級泵組、第一級泵組均處于正常工作狀態(tài)，機械泵真空脫氣系統(tǒng)處于完全啟動，進入深真空狀態(tài)，鋼水開始脫氣；

8）執(zhí)行步驟L10，鋼水脫氣處理停止后，第一級泵組、第二級泵組、第三級泵組順序停止工作，開啟相應(yīng)的旁路切斷閥；

9）執(zhí)行步驟L11，第四級泵組繼續(xù)運轉(zhuǎn)，系統(tǒng)從真空狀態(tài)回到預真空狀態(tài)。

本發(fā)明第四種實施方式：當采用VOD時高真空運行模式與RH相同，過濾器采用一個常溫過濾器，一個高溫過濾器即可。

本發(fā)明優(yōu)點：

本發(fā)明是在這種大串聯(lián)、小并聯(lián)結(jié)構(gòu)的基礎(chǔ)上，進一步優(yōu)化泵組結(jié)構(gòu)的布置形式，并發(fā)明了與之配套的旋風+布袋除塵過濾器，這樣大大提高了泵組的運行效率。

具體特點如下；

1. 正確配置的干式機械泵真空脫氣系統(tǒng)，在這種大串聯(lián)、小并聯(lián)結(jié)構(gòu)的基礎(chǔ)上如圖1所示為本發(fā)明干式機械泵真空脫氣系統(tǒng)結(jié)構(gòu)示意圖，所述系統(tǒng)包括液壓驅(qū)動的真空主隔離閥、一套高效的過濾系統(tǒng)、一套4級壓縮工藝的真空泵組。

2.干式機械真空泵組的每一級泵組的各個真空泵并聯(lián)，而第一級羅茨機械真空泵組、第二級羅茨機械真空泵組、第三級羅茨機械真空泵（組）及第四級螺桿機械真空泵組依次串聯(lián)。即大串連、小并聯(lián)的真空泵組的布置形式。

3. 第三級的真空泵組為帶預注氣體冷卻的羅茨真空泵，可以按照煉鋼工藝的需求，通過閥門切換，隨時將真空泵系統(tǒng)在3級及4級之間切換。在開始抽氣時可直連大氣，切換成3級泵系統(tǒng)，抽到一定壓力后，再切換至4級泵系統(tǒng)，均勻各級泵組的壓縮比，這樣可以縮短預真空時間，提高真空泵系統(tǒng)的運行效率，保證煉鋼生產(chǎn)的工作節(jié)奏；同時，減少了4級泵的配置數(shù)量，大大節(jié)約了投資成本。

4. 本系統(tǒng)還可以根據(jù)不同的工藝要求（如RH爐、VD爐、VOD爐等）、以及冶煉不同的鋼種，選擇不同的工作模式，本系統(tǒng)可以實現(xiàn)三種模式：第一種模式，啟用第一、二、三、四級泵構(gòu)成4級泵系統(tǒng)；第二種模式，啟用第一、二、三級泵；構(gòu)成3級泵系統(tǒng)；第三種模式，啟用第一、二、四級泵，構(gòu)成3級泵系統(tǒng)。這種根據(jù)生產(chǎn)實際情況，選擇不同的工作模式，可以大大節(jié)約生產(chǎn)運行成本，起到節(jié)能、降耗的作用。

5. 真空泵組每級并聯(lián)，每個泵獨立工作，設(shè)計時考慮一定量的冗余，即使一級泵中個別泵出現(xiàn)問題，其它泵仍可正常運行，保證生產(chǎn)的需要。

6. 在各級與各級泵組之間的真空管道上，設(shè)置真空氣體冷卻器，使進入下一級的氣體溫度降低，可以降低各級泵組的溫度。

7. 這種泵組布置形式可以保證系統(tǒng)每一級的溫度和真空度的平衡。即使在單一泵發(fā)生故障的情況下，并不影響其它泵的正常工作。這種形式真空泵的配置數(shù)量降低，設(shè)備投資低，系統(tǒng)運行可靠性顯著增加，系統(tǒng)故障率顯著降低。

8. 真空泵組布局靈活，還可以選擇平面式或高架式布局，以適應(yīng)使用現(xiàn)場場地緊張的情況。

9. 本發(fā)明的真空泵組使用4級泵系統(tǒng)，可以優(yōu)化每級泵之間的壓縮比，從而提高系統(tǒng)的效率并降低發(fā)熱量。

10. 本發(fā)明的真空泵組根據(jù)鋼水精煉具體工藝要求，配置泵組的種類及每一級泵的大小和數(shù)量。正確的配置可以顯著降低系統(tǒng)的經(jīng)濟投入成本、運行能耗成本及系統(tǒng)維護成本，提高泵的使用壽命。

11. 真空主隔離閥安裝在真空槽和過濾器之間。它是一個帶有自動密封清掃系統(tǒng)的液壓驅(qū)動杯閥。特殊設(shè)計的杯閥可以更好的保持真空泵系統(tǒng)的密閉性。

12. 真空主隔離閥可以實現(xiàn)過濾器，連接管道以及泵組在脫氣工藝開始前的預抽。而過濾器和真空泵組的預真空是真空處理的必要過程，不但會節(jié)省時間，還能防止因高溫金屬粉塵在過濾器中的反應(yīng)對布袋的損毀。

13. 為實現(xiàn)本發(fā)明的目的，本發(fā)明還提供了一種組合式過濾器，即旋風+布袋過濾器，這是一種結(jié)合了旋風分離設(shè)備以及反向脈沖噴射袋式過濾設(shè)備的新型過濾器。組合式過濾器安裝在真空主閥和泵組之間，具有高除塵率（除塵率達到99.8%），并能瞬時耐高溫(900℃，時間不超過1分鐘。這種過濾器可以允許壓差20Pa氣體通過。

14. 過濾器中安裝有能夠有效除塵的脈沖反吹清掃系統(tǒng)。當過濾器的通過率低于一定界限時，脈沖反吹系統(tǒng)在真空狀態(tài)下亦會對布袋進行吹掃。

15. 過濾器上安裝有溫度監(jiān)控設(shè)備和激光粉塵監(jiān)控設(shè)備以確保過濾器的功能。在布袋受到被破壞威脅時，激光粉塵監(jiān)控設(shè)備立刻預警，以避免大顆粒的粉塵接近并破換真空泵。通過過濾器的氣體粉塵含量可以控制在小于5 mg/m³，激光粉塵探測器在粉塵含量超過 10 mg/m³時報警。

本發(fā)明所述的干式機械真空泵脫氣系統(tǒng)與蒸汽泵的對比：

（1）干式機械泵的原理是體積的轉(zhuǎn)移，因此:

v其抽氣能力在所有真空度下恒定

v其抽氣能力在所有溫度下恒定

v其抽氣能力在所有濕度下恒定

蒸汽泵的原理是質(zhì)量的轉(zhuǎn)移，因此:

v不同溫度下抽氣能力不恒定

v抽氣能力受濕度影響

v抽氣能力受粉塵分離器影響。

（2）干式機械真空泵系統(tǒng)使用電力運行，因此:

v無需提前蓄能

v可依需要產(chǎn)生“一鍵式”的真空

v無需能源輸送

蒸汽噴射泵使用高溫高壓的蒸汽運行，因此:

v需要鍋爐進行蒸汽生產(chǎn)和貯存

v無法依據(jù)需要產(chǎn)生真空，需持續(xù)預熱

v需要為鍋爐運輸燃料和氣體，并通過蒸汽管道為泵運輸蒸汽。

（3）干式機械泵系統(tǒng)不接觸水，因此:

v無泵污染，維護少

v粉塵干燥易處理

v粉塵處理利于環(huán)境管理

蒸汽泵會將水和粉塵混合起來，因此:

v因為水和粉塵的結(jié)合因此需要大量的維護

v從水和粉塵的混合物中很難分離出粉塵

v不利于環(huán)境管理。

（4）環(huán)保方面：

干式機械泵

v無空轉(zhuǎn)損耗（按需產(chǎn)生真空）

v使用壽命長

v顯著節(jié)能

v維護量少

v比蒸汽泵噸鋼成本降低90%。

附圖說明

圖1為本發(fā)明真空脫氣系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2為本發(fā)明過濾器結(jié)構(gòu)示意圖；

圖3為圖2 剖視圖；

圖4為本發(fā)明4級泵組預真空狀態(tài)工藝流程圖；

圖5為本發(fā)明4級泵組切換成3級泵組預真空狀態(tài)工藝流程圖；

圖6為本發(fā)明真空處理狀態(tài)工藝流程圖；

圖7為100噸RH真空脫氣系統(tǒng)結(jié)構(gòu)示意圖；

圖8為100噸VD真空脫氣系統(tǒng)結(jié)構(gòu)示意圖；

圖9為100噸VOD真空脫氣系統(tǒng)結(jié)構(gòu)示意圖。

具體實施方式

本發(fā)明用于鋼水二次精煉的干式機械真空泵脫氣系統(tǒng)，包括，真空主隔離閥、過濾器，所述真空主隔離閥安裝管路上設(shè)有旁路，旁路上安裝有旁路切斷閥，所述旁路切斷閥與真空主隔離閥并聯(lián)設(shè)置；真空主隔離閥通過管路與過濾器連接，過濾器通過管路與泵組連接，泵組包括：第一級泵組、第二級泵組、第三級泵組、第四級泵組，所述第三級泵組與第四級泵組通過管道連接，管道上設(shè)有蝶閥，將4級泵組系統(tǒng)切換成3級泵組系統(tǒng)，第三級泵組與第四級泵組并聯(lián)設(shè)置。

所述第一級泵組、第二級泵組、第三級采用羅茨機械真空泵，第四級泵組采用螺桿機械真空泵，第一級泵組至第四級泵組中，級與級之間采用串聯(lián)設(shè)置；每一級泵組中，泵與泵之間采用并聯(lián)設(shè)置，形成大串連、小并聯(lián)的真空泵系統(tǒng)。

所述過濾器包括：殼體，殼體頂部有帶有安全閥的蓋體，殼體上部開有出風口，下部設(shè)有進風口，底部開有出灰口，殼體內(nèi)設(shè)布袋過濾器和錐形旋風過濾器，所述旋風過濾器置于布袋過濾器下方，所述進風口設(shè)置在旋風過濾器頂部下方，所述出風口置于布袋過濾器頂部上方；布袋過濾器頂部與出風口之間的殼體安裝有氮氣脈沖吹掃系統(tǒng)，所述氮氣脈沖吹掃系統(tǒng)的氮氣管穿入殼體內(nèi)，置于殼體內(nèi)的氮氣管上安裝有噴嘴。

實施例1

見圖7，以100噸RH干式機械泵真空脫氣系統(tǒng)為例：

當采用100噸RH方法進行真空冶煉時，第一級泵組采用7個羅茨泵、第二級泵采用7個羅茨泵、第三級泵采用5個帶預注氣體冷卻的羅茨泵、第四級泵采用5個螺桿泵；由于在RH真空脫氣裝置中加入頂槍吹氧,因此，真空處理狀態(tài)有高真空運行模式和吹氧模式兩種，同時，過濾器只采用兩個或三個常溫過濾器和一個在吹氧狀態(tài)下使用的高溫過濾器。具體方法步驟如下：

（一）預真空狀態(tài)：

1）執(zhí)行步驟K1，真空脫氣系統(tǒng)處于停止狀態(tài)；

2)執(zhí)行步驟K2，接到預真空指令，預真空程序作出響應(yīng)，準備進入預真空狀態(tài)；

3)執(zhí)行步驟K3，機械真空泵系統(tǒng)啟動，第四級泵（3d）開啟，第四級泵（3d）轉(zhuǎn)速達到5Hz后，開啟第四級泵切斷閥門（4d）；

4)執(zhí)行步驟K4，過濾器進口切斷閥（6）、出口切斷閥（7）開啟；

5)執(zhí)行步驟K5，系統(tǒng)管道到達10Kpa后，進入預真空狀態(tài)，準備真空處理；

6)執(zhí)行步驟K6，真空開始程序響應(yīng)，開始真空脫氣處理狀態(tài)；

7)執(zhí)行步驟K7，真空處理結(jié)束后，處理停止，回到預真空狀態(tài)K5，等待下一個處理周期；

8)執(zhí)行步驟K8，全部真空處理完成后，系統(tǒng)停止程序響應(yīng)，預真空狀態(tài)停止，回到步驟K1，真空脫氣系統(tǒng)停止；

（二）真空脫氣處理狀態(tài)：

高真空運行模式：

1)執(zhí)行步驟L1，系統(tǒng)處于預真空狀態(tài)；

2)執(zhí)行步驟L2，真空脫氣處理開始，開啟主閥旁路閥門（5），系統(tǒng)壓力回升；

3)執(zhí)行步驟L3，當系統(tǒng)壓力降到20Kpa—35Kpa時，第三級泵組（3c）啟動，第三級泵組（3c）轉(zhuǎn)速達到5Hz后自動開啟第三級泵組切斷閥門（4c），旁通閥門（8c）關(guān)閉；

4)執(zhí)行步驟L4，主閥前后壓力差小于5Kpa—8Kpa時，開啟主閥（1），關(guān)閉主閥旁路閥門（5）；

5)執(zhí)行步驟L5，系統(tǒng)壓力降到5Kpa-15Kpa，第二級泵組（3b）啟動，泵轉(zhuǎn)速達到5Hz后開啟第二級泵組切斷閥門（4b），旁通閥門（8b）關(guān)閉；

6)執(zhí)行步驟L6，系統(tǒng)壓力降到2Kpa-5Kpa時，第一級泵組（3a）啟動，泵轉(zhuǎn)速達到5Hz后開啟第一級泵切斷閥門（3a），旁通閥門（8a）關(guān)閉；

7)執(zhí)行步驟L7，此時的系統(tǒng)狀態(tài)為，第四級泵組（3d）、第三級泵組（3c）、第二級泵組（3b）、第一級泵組(3a)均處于正常工作狀態(tài)，機械泵真空脫氣系統(tǒng)處于完全啟動，進入深真空狀態(tài)，鋼水開始脫氣；

8)執(zhí)行步驟L8，吹氧模式：鋼水處理過程中，當程序選為吹氧模式時，普通過濾器進出口切斷閥關(guān)閉，耐高溫過濾器保持開啟狀態(tài)，第一、二級泵組旁通閥門打開，第一、二級泵組切斷閥關(guān)閉，第一、二級泵組停止運轉(zhuǎn)，第三、四級泵組處于工作狀態(tài)，吹氧開始。

9)執(zhí)行步驟L9，吹氧結(jié)束后，切換至高真空模式；收到信號后，普通過濾器進、出口切斷閥開啟，恢復高真空運行模式； 執(zhí)行步驟L5、6、7，繼續(xù)進行鋼水脫氣處理；

10)執(zhí)行步驟L10，鋼水脫氣處理停止后，第一級泵組（3a）、第二級泵組（3b）、第三級泵組（3c）順序停止工作，開啟相應(yīng)的旁路切斷閥（8a、8b、8c）；

11)執(zhí)行步驟L11，第四級泵組（3d）繼續(xù)運轉(zhuǎn)，系統(tǒng)從真空狀態(tài)回到預真空狀態(tài)。

實施例2

見圖8，以100噸VD干式機械泵真空脫氣系統(tǒng)為例：

當采用100噸VD方法進行真空冶煉時，第一級泵組采用5個羅茨泵、第二級泵采用5個羅茨泵、第三級泵采用3個帶預注氣體冷卻的羅茨泵、第四級泵采用3個螺桿泵；由于該方法沒有吹氧階段，過濾器只采用一個常溫過濾器，高真空運行模式與RH方法相同，沒有吹氧模式。具體方法步驟如下：

1）執(zhí)行步驟L1，系統(tǒng)處于預真空狀態(tài)；

2）執(zhí)行步驟L2，真空脫氣處理開始，開啟主閥旁路閥門（5），系統(tǒng)壓力回升；

3）執(zhí)行步驟L3，當系統(tǒng)壓力降到20Kpa—35Kpa時，第三級泵組（3c）啟動，第三級泵組（3c）轉(zhuǎn)速達到5Hz后自動開啟第三級泵組切斷閥門（4c），旁通閥門（8c）關(guān)閉；

4）執(zhí)行步驟L4，主閥前后壓力差小于5Kpa-8Kpa時，開啟主閥（1），關(guān)閉主閥旁路閥門（5）；

5）執(zhí)行步驟L5，系統(tǒng)壓力降到5Kpa-15Kpa，第二級泵組（3b）啟動，泵轉(zhuǎn)速達到5Hz后開啟第二級泵組切斷閥門（4b），旁通閥門（8b）關(guān)閉；

6）執(zhí)行步驟L6，系統(tǒng)壓力降到2Kpa-5Kpa時，第一級泵組（3a）啟動，泵轉(zhuǎn)速達到5Hz后開啟第一級泵切斷閥門（3a），旁通閥門（8a）關(guān)閉；

7）執(zhí)行步驟L7，此時的系統(tǒng)狀態(tài)為，第四級泵組（3d）、第三級泵組（3c）、第二級泵組（3b）、第一級泵組(3a)均處于正常工作狀態(tài)，機械泵真空脫氣系統(tǒng)處于完全啟動，進入深真空狀態(tài)，鋼水開始脫氣；

8）執(zhí)行步驟L10，鋼水脫氣處理停止后，第一級泵組（3a）、第二級泵組（3b）、第三級泵組（3c）順序停止工作，開啟相應(yīng)的旁路切斷閥（8a、8b、8c）；

9）執(zhí)行步驟L11，第四級泵組（3d）繼續(xù)運轉(zhuǎn)，系統(tǒng)從真空狀態(tài)回到預真空狀態(tài)。

實施例3

以100噸VOD干式機械泵真空脫氣系統(tǒng)為例：見圖9

當采用100噸VOD方法進行真空冶煉時，第一級泵組采用5個羅茨泵、第二級泵采用5個羅茨泵、第三級泵采用3個帶預注氣體冷卻的羅茨泵、第四級泵采用3個螺桿泵；高真空運行模式與RH相同，過濾器采用一個常溫過濾器，一個高溫過濾器即可。

（一）預真空狀態(tài)：

1)執(zhí)行步驟K1，真空脫氣系統(tǒng)處于停止狀態(tài)；

2)執(zhí)行步驟K2，接到預真空指令，預真空程序作出響應(yīng)，準備進入預真空狀態(tài)；

3)執(zhí)行步驟K3，機械真空泵系統(tǒng)啟動，第四級泵（3d）開啟，第四級泵（3d）轉(zhuǎn)速達到5Hz后，開啟第四級泵切斷閥門（4d）；

4)執(zhí)行步驟K4，過濾器進口切斷閥（6）、出口切斷閥（7）開啟；

5)執(zhí)行步驟K5，系統(tǒng)管道到達10Kpa后，進入預真空狀態(tài)，準備真空處理；

6)執(zhí)行步驟K6，真空開始程序響應(yīng)，開始真空脫氣處理狀態(tài)；

7)執(zhí)行步驟K7，真空處理結(jié)束后，處理停止，回到預真空狀態(tài)K5，等待下一個處理周期；

8)行步驟K8，全部真空處理完成后，系統(tǒng)停止程序響應(yīng)，預真空狀態(tài)停止，回到步驟K1，真空脫氣系統(tǒng)停止；

（二）真空脫氣處理狀態(tài)：

高真空運行模式：

1)執(zhí)行步驟L1，系統(tǒng)處于預真空狀態(tài)；

2)執(zhí)行步驟L2，真空脫氣處理開始，開啟主閥旁路閥門（5），系統(tǒng)壓力回升；

3)執(zhí)行步驟L3，當系統(tǒng)壓力降到20Kpa—35Kpa時，第三級泵組（3c）啟動，第三級泵組（3c）轉(zhuǎn)速達到5Hz后自動開啟第三級泵組切斷閥門（4c），旁通閥門（8c）關(guān)閉；

4)執(zhí)行步驟L4，主閥前后壓力差小于5Kpa-8Kpa時，開啟主閥（1），關(guān)閉主閥旁路閥門（5）；

5)執(zhí)行步驟L5，系統(tǒng)壓力降到5Kpa-15Kpa，第二級泵組（3b）啟動，泵轉(zhuǎn)速達到5Hz后開啟第二級泵組切斷閥門（4b），旁通閥門（8b）關(guān)閉；

6)執(zhí)行步驟L6，系統(tǒng)壓力降到2Kpa-5Kpa時，第一級泵組（3a）啟動，泵轉(zhuǎn)速達到5Hz后開啟第一級泵切斷閥門（3a），旁通閥門（8a）關(guān)閉；

7)執(zhí)行步驟L7，此時的系統(tǒng)狀態(tài)為，第四級泵組（3d）、第三級泵組（3c）、第二級泵組（3b）、第一級泵組(3a)均處于正常工作狀態(tài)，機械泵真空脫氣系統(tǒng)處于完全啟動，進入深真空狀態(tài)，鋼水開始脫氣；

8)執(zhí)行步驟L8，吹氧模式：鋼水處理過程中，當程序選為吹氧模式時，普通過濾器進出口切斷閥關(guān)閉，耐高溫過濾器保持開啟狀態(tài)，第一、二級泵組旁通閥門打開，第一、二級泵組切斷閥關(guān)閉，第一、二級泵組停止運轉(zhuǎn)，第三、四級泵組處于工作狀態(tài)，吹氧開始。

9)執(zhí)行步驟L9，吹氧結(jié)束后，切換至高真空模式；收到信號后，普通過濾器進、出口切斷閥開啟，恢復高真空運行模式； 執(zhí)行步驟L5、6、7，繼續(xù)進行鋼水脫氣處理；

10）執(zhí)行步驟L10，鋼水脫氣處理停止后，第一級泵組（3a）、第二級泵組（3b）、第三級泵組（3c）順序停止工作，開啟相應(yīng)的旁路切斷閥（8a、8b、8c）；

11）執(zhí)行步驟L11，第四級泵組（3d）繼續(xù)運轉(zhuǎn)，系統(tǒng)從真空狀態(tài)回到預真空狀態(tài)。