用于電子束熱蒸發系統的防濺射外罩的制作方法
【技術領域】
[0001]本實用新型涉及電子束熱蒸發設備領域，具體涉及用于電子束熱蒸發系統的防濺射外罩。
【背景技術】
[0002]目前，在通過電子束加熱坩禍底部來蒸發物質的電子束熱蒸發系統中，由于坩禍底部過熱，融化的蒸鍍材料液滴落到底部后運動趨于緩慢，容易過熱出現液滴濺射的情況，為了防止液滴濺射，若降低溫度，蒸發效率則會受很大影響。例如，電子束加熱鎢坩禍底部蒸發銀，在用于卷對卷帶材鍍銀系統時，液滴濺射會對所鍍的膜造成嚴重的破壞，另外液滴飛濺冷卻為固態落在帶材背面，則會隨帶材運動至導輪下對帶材造成周期性的尖刺狀壓痕破壞。因此，在不影響蒸發效率的情況下，怎樣防止濺射是電子束熱蒸發系統函待解決的問題。

【發明內容】

[0003]本實用新型的目的在于克服現有技術存在的以上問題，提供一種用于電子束熱蒸發系統的防濺射外罩，本實用新型的外罩套設在坩禍頂部，蒸鍍材料在外罩上融化，沿著外罩往下滑落，在滑落的過程中發生濺射的概率很低。其原因有兩個，一是由于外罩及坩禍側壁溫度低于被電子束直接加熱的坩禍底部;二是由于滑落過程中液滴一直處于運動而非靜止狀態，從熱傳遞的角度講難以過熱，最終液滴落到坩禍底部，運動逐漸緩慢，溫度逐步上升直至過熱發生濺射，因此發生濺射的最大概率位置為坩禍底部，在外罩的阻擋下，濺射的液滴無法飛出，從而起到阻斷液滴濺射的作用
[0004]為實現上述技術目的，達到上述技術效果，本實用新型通過以下技術方案實現:
[0005]用于電子束熱蒸發系統的防濺射外罩，其包括:
[0006]外罩支撐體，所述外罩支撐體與坩禍接觸且受所述坩禍的頂端邊緣支撐，所述外罩支撐體為圓環形結構；
[0007]導流環，所述導流環設置在所述外罩支撐體的內圓上，所述導流環頂部端面為斜面，在所述斜面上設有若干導流氣孔，所述坩禍內部的蒸汽通過所述導流氣孔；
[0008]導流腔，所述導流腔為漏斗形結構，所述導流腔的上部邊緣連接至所述導流環的下部邊緣，融化狀態的蒸鍍材料流入所述導流腔；
[0009]導流通道，所述導流通道為圓柱體，所述導流通道的上端連接至所述導流腔的底部，所述導流通道深入至所述坩禍中，所述導流通道頂部端面設有第一圓孔，所述第一圓孔與所述導流腔貫通，所述導流通道的側壁上設有五個斜方向圓孔，融化的蒸鍍材料液滴由所述第一圓孔滴入，順著所述斜方向圓孔滴入至所述坩禍中，最終滴落至所述坩禍底部。
[0010]在本實用新型的一個較佳實施例中，進一步包括，所述導流通道的底部端面為平面。
[0011]在本實用新型的一個較佳實施例中，進一步包括，所述導流通道底部端面阻擋來自所述坩禍底部飛濺的液滴。
[0012]在本實用新型的一個較佳實施例中，進一步包括，所述導流腔的外部漏斗面阻擋來自所述坩禍底部飛濺的液滴。
[0013]在本實用新型的一個較佳實施例中，進一步包括，所述導流氣孔等間距的設置在所述導流環上。
[0014]在本實用新型的一個較佳實施例中，進一步包括，所述外罩支撐體、導流環、導流腔一體成型。
[0015]本實用新型的有益效果是:
[0016]其一、本實用新型的防濺射外罩，其罩在坩禍的頂端的開口處，蒸鍍材料在防濺射外罩上融化，沿著外罩向坩禍滴落，由于外罩和坩禍側壁的溫度低于由電子束直接加熱的坩禍底部，并且在滴落過程中，液滴一直運動，難以過熱，最終液滴滴落到坩禍底部，在溫度最高的坩禍底部，即使液滴發生濺射，在上述防濺射外罩的阻擋下，濺射的液滴無法飛出去，從而起到阻斷液滴濺射的作用。
[0017]其二、本實用新型的防濺射外罩，結構簡單，設計合理，能夠有效的防止液滴濺射，避免濺射的顆粒對鍍膜造成損壞，提高了鍍膜品質。
[0018]上述說明僅是本實用新型技術方案的概述，為了能夠更清楚了解本實用新型的技術手段，并可依照說明書的內容予以實施，以下以本實用新型的較佳實施例并配合附圖詳細說明如后。本實用新型的【具體實施方式】由以下實施例及其附圖詳細給出。
【附圖說明】

[0019]為了更清楚地說明本實用新型實施例技術中的技術方案，下面將對實施例技術描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本實用新型的一些實施例，對于本領域普通技術人員來講，在不付出創造性勞動的前提下，還可以根據這些附圖獲得其他的附圖。
[0020]圖1是本實用新型的結構不意圖；
[0021]圖2是本實用新型仰視的結構不意圖；
[0022]圖3是本實用新型的剖視圖；
[0023]圖4是將本實用新型的結構應用于坩禍加熱系統的結構示意圖；
[0024]其中，1-外罩支撐體，2_導流環，3_導流腔，4_導流通道，5_i甘禍，6_蒸鏈材料，201-斜面，202-導流氣孔，401-第一圓孔，402-斜方向圓孔。
【具體實施方式】
[0025]下面將結合本實用新型實施例中的附圖，對本實用新型實施例中的技術方案進行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例僅僅是本實用新型一部分實施例，而不是全部的實施例。基于本實用新型中的實施例，本領域普通技術人員在沒有作出創造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例，都屬于本實用新型保護的范圍。
[0026]實施例
[0027]參照圖1-2所示，本實施例中公開了一種用于電子束熱蒸發系統的防濺射外罩，其主要包括:外罩支撐體1、導流環2、導流腔3以及導流通道4，上述外罩支撐體1、導流環2、導流腔3以及導流通道4之間依次固定連接，在本實施例中，上述外罩支撐體1、導流環2、導流腔3可以一體成型結構。
[0028]如圖3-4所示，上述外罩支撐體I為圓環形結構，實際上，上述外罩支撐體I與坩禍5接觸且受上述坩禍5的頂端邊緣支撐，為了配合上述坩禍5頂部的結構，上述外罩支撐體I與坩禍5頂端接觸的部分相配合。
[0029]上述導流環2設置在上述外罩支撐體I的內圓上，上述導流環2頂部端面為斜面201，在上述斜面201上設有若干導流氣孔202，上述導流氣孔202為通孔，且上述導流氣孔202等間距的設置在上述導流環2上，上述坩禍5內部的蒸汽通過上述導流氣孔202上流。
[0030]上述導流腔3為漏斗形結構，即上述導流腔3具有一定角度的漏斗面，使融化的蒸鍍材料順暢的下滑，上述導流腔3的上部邊緣連接至上述導流環2的下部邊緣，融化狀態的蒸鍍材料流入上述導流腔3，上述導流腔3漏斗狀的結構，一方面方便液滴下滑，另一方面使液滴具有聚攏下落。
[0031]導流通道4設置在上述導流腔3的底部，上述導流通道4為圓柱體，實際上在未開孔前上述導流通道4為實體圓柱結構，上述導流通道4的上端連接至上述導流腔3的底部，上述導流通道4深入至上述坩禍5中。
[0032]在本實施例中，為了使蒸鍍材料6液滴順利滴入到坩禍5中，又阻礙液滴濺射，在上述導流通道4頂部端面設有第一圓孔401，上述第一圓孔401與上述導流腔3貫通，由上述導流腔3落入的液滴能夠順利落入至上述第一圓孔401中，然后再在上述導流通道4的側壁上設有五個斜方向圓孔402，上述斜方向圓孔402實際是由上述導流通道4底部斜向上打孔，融化的蒸鍍材料液滴由上述第一圓孔401滴入，然后順著上述斜方向圓孔402滴入至上述坩禍5中，最終滴落至上述坩禍5底部，由上述第一圓孔401滴入到斜方向圓孔402時，是從五個斜方向圓孔402隨機流入只坩禍5中。
[0033]上述融化的液滴由上述導流通道4流入至坩禍5中，為了防止液滴從坩禍5底部濺射，因此，在本實施例中，將上述導流通道4的底部端面設計成為平面，上述導流通道4底部端面能夠有效地阻擋來自上述坩禍5底部飛濺的液滴。
[0034]同樣地，上述導流腔3的外部漏斗面也能夠阻擋來自上述坩禍5底部飛濺的液滴。
[0035]本實施例的工作原理如下:
[0036]防濺射外罩，其罩在坩禍的頂端的開口處，蒸鍍材料在防濺射外罩上融化，沿著外罩向坩禍滴落，由于外罩和坩禍側壁的溫度低于由電子束直接加熱的坩禍底部，并且在滴落過程中，液滴一直運動，難以過熱，最終液滴滴落到坩禍底部，在溫度最高的坩禍底部，即使液滴發生濺射，在上述防濺射外罩的阻擋下，濺射的液滴無法飛出去，從而起到阻斷液滴濺射的作用。
[0037]本實施例中防濺射外罩，結構簡單，設計合理，能夠有效的防止液滴濺射，避免濺射的顆粒對鍍膜造成損壞，提高了鍍膜品質。
[0038]對所公開的實施例的上述說明，使本領域專業技術人員能夠實現或使用本實用新型。對這些實施例的多種修改對本領域的專業技術人員來說將是顯而易見的，本文中所定義的一般原理可以在不脫離本實用新型的精神或范圍的情況下，在其它實施例中實現。因此，本實用新型將不會被限制于本文所示的這些實施例，而是要符合與本文所公開的原理和新穎特點相一致的最寬的范圍。
【主權項】
1.用于電子束熱蒸發系統的防濺射外罩，其特征在于，其包括: 外罩支撐體，所述外罩支撐體與坩禍接觸且受所述坩禍的頂端邊緣支撐，所述外罩支撐體為圓環形結構； 導流環，所述導流環設置在所述外罩支撐體的內圓上，所述導流環頂部端面為斜面，在所述斜面上設有若干導流氣孔，所述坩禍內部的蒸汽通過所述導流氣孔； 導流腔，所述導流腔為漏斗形結構，所述導流腔的上部邊緣連接至所述導流環的下部邊緣，融化狀態的蒸鍍材料流入所述導流腔； 導流通道，所述導流通道為圓柱體，所述導流通道的上端連接至所述導流腔的底部，所述導流通道深入至所述坩禍中，所述導流通道頂部端面設有第一圓孔，所述第一圓孔與所述導流腔貫通，所述導流通道的側壁上設有五個斜方向圓孔，融化的蒸鍍材料液滴由所述第一圓孔滴入，順著所述斜方向圓孔滴入至所述坩禍中，最終滴落至所述坩禍底部。2.根據權利要求1所述的用于電子束熱蒸發系統的防濺射外罩，其特征在于，所述導流通道的底部端面為平面。3.根據權利要求2所述的用于電子束熱蒸發系統的防濺射外罩，其特征在于，所述導流通道底部端面阻擋來自所述坩禍底部飛濺的液滴。4.根據權利要求1所述的用于電子束熱蒸發系統的防濺射外罩，其特征在于，所述導流腔的外部漏斗面阻擋來自所述坩禍底部飛濺的液滴。5.根據權利要求1所述的用于電子束熱蒸發系統的防濺射外罩，其特征在于，所述導流氣孔等間距的設置在所述導流環上。6.根據權利要求1所述的用于電子束熱蒸發系統的防濺射外罩，其特征在于，所述外罩支撐體、導流環、導流腔一體成型。
【專利摘要】本實用新型公開了用于電子束熱蒸發系統的防濺射外罩，其包括：外罩支撐體、導流環、導流腔和導流通道，外罩支撐體與坩堝接觸且受坩堝的頂端邊緣支撐；所述導流環設置在所述外罩支撐體的內圓上，導流環頂部端面為斜面，在所述斜面上設有若干導流氣孔；所述導流腔為漏斗形結構，融化狀態的蒸鍍材料流入導流腔；導流通道頂部端面設有第一圓孔，第一圓孔與導流腔貫通，導流通道的側壁上設有五個斜方向圓孔，融化的蒸鍍材料液滴由第一圓孔滴入，順著斜方向圓孔滴入至所述坩堝中，最終滴落至所述坩堝底部。本實用新型的防濺射外罩，結構簡單，設計合理，能夠有效的防止液滴濺射，避免濺射的顆粒對鍍膜造成損壞，提高了鍍膜品質。
【IPC分類】C23C14/30
【公開號】CN205387591
【申請號】CN201620228111
【發明人】喬唐
【申請人】蘇州新材料研究所有限公司
【公開日】2016年7月20日
【申請日】2016年3月23日